Архивы

Янв112020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «УВН-71», «УВН-73», «УВН-74», «УВН-75»

ООО «Сорэнж» проводит модернизации установок вакуумного напыления «УВН-71», «УВН-73«, «УВН-74«, «УВН-75» и их модификаций:

Цель модернизации — это получить работоспособную установку за короткое время и с минимальными финансовыми затратами.

«Глубина» модернизации возможна разная, и в большей степени зависит от Ваших потребностей и возможностей.

Процесс ремонта или модернизации установок вакуумного напыления можно разбить на несколько этапов:

1. Изготовление новой системы управления

Этот этап включает в себя закупку, разработку и изготовление составных частей новой системы управления.

Конструктивно новая система управления располагается в 19” стойке. Ориентировочный размер (Ширина*Глубина*Высота) 800*1000*2000. (Фото для примера и может отличаться составом блоков, размером, компоновкой и т.д.)

В стойке расположены следующие блоки и системы:

Промышленный компьютер с сенсорным или обычным монитором. На экране отображается необходимая информация о прохождении технологического процесса, заданное и фактическое состояние устройств, состояние вакуумной системы и т.д. В фоновом режиме строятся графики давления, температуры, мощности и т.д. с сохранением в архив для последующего анализа.

Блок управления вакуумной системой. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок позволяет собирать информацию с датчиков вакуума (на низкий вакуум – ARG100-XM NM16, на высокий — WRG-S, и управлять всеми пневмоклапанами вакуумной системы. По согласованию с Заказчиком возможно подключение к любым датчикам вакуума и исполнительным механизмам. Под функциями ручного управления подразумевается возможность включить тот или иной клапан в наладочном режиме.
Блок управление системой нагрева подложек. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Предназначен для управления галогеновыми элементами с переменным напряжением 220В и мощностью до 4 кВт. Обеспечивает измерение и стабилизацию температуры в диапазоне температур 50…400 гр.С.

Блок управления процессом. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок предназначен для:

Управления вращением карусели. Обеспечивается контроль и регулирование скорости вращения.
Управления заслонкой. Обеспечивается автоматическое открытие заслонок по мере прохождения соответствующего интервала и автоматическое закрытие либо по времени, либо по командам от блока измерения толщины. Предусматривается возможность ручного управления.
Измерение толщины(скорости) напыления SQM160, или по сопротивлению. Также возможно окончание процесса по времени.

Управление мощностью электронного(ых) испарителя(ей) (1 или 2 независимых канала) – автоматическое, ручное. При ручном управлении требуемое значение мощности задается в цифровом виде на блоке управления (БУ). БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение.
Управление мощностью резистивного испарителя (1 канал) – автоматическое, ручное.
При ручном управлении требуемое значение мощности задается в цифровом виде на блоке управления (БУ). БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение.

Силовые трансформаторы от электронных испарителей (накальные и высоковольтные) и резистивного испарителя оставляем Ваши или устанавливаем свои.

Вся работа по этому этапу производится нашими силами и на нашей территории.

2. Монтаж новой системы управления и наладка

Непосредственно на самой установке будут удалены штатные кабели и жгуты, которые по прошествии времени, пришли в негодность и установлены новые кабели, идущие непосредственно от исполнительного устройства до блока управления.

В новую стойку встраиваем Ваши силовые трансформаторы и т.д.

После монтажа производится наладка всей системы управления в комплексе с установкой.

Работа по этому этапу производится на Вашей территории. Для упрощения технического обслуживания установки в будущем, процесс наладки может происходить совместно с Вашими специалистами.

3. Обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний

Во время этого этапа производится совместная работа с Вашими специалистами с целью обучения последних.

Вверх

Скачать краткий рекламный листок по модернизации установок вакуумного напыления «УВН-71», «УВН-73«, «УВН-74«, «УВН-75» и их модификаций, Вы можете по ссылке:

Модерн.УВН_2020 Скачать

Вверх

Янв102020

МОДЕРНИЗАЦИЯ ТРЕКА «CONVAC VS6583»

Convac VS6583 — это хорошая установка с большими возможностями. Единственный минус, это устаревшая электроника, ремонт которой достаточно сложная задача. А если учесть возможность утери данных в памяти (хранение происходит за счет батарейки), то иногда и не возможная.

Нами была разработана и внедрена новая система управления на базе IBM-совместимого персонального компьютера и модулей управления.

На мониторе персонального компьютера отображается заданная и фактическая температура по каждой горячей плите,термостату с резистом и т.д., заданные и фактические скорости вращения центрифуг, состояние кассет, клапанов, датчиков и т.д.

Помимо этого, отображаются графики по каждому нагревателю или охладителю. Это очень удобно, так как всегда видно, как менялась температура во время процесса. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению.

Все события, заданная и фактическая температура, расходы газов, аварии и реакции оператора сохраняются в архив для последующего анализа.

Вверх

Янв102020

МОДЕРНИЗАЦИЯ ТРЕКОВ «ЛАДА-125» и «РЕЛЬЕФ-Р»

ООО «СОРЭНЖ» готово предложить произвести модернизацию установок нанесения фоторезиста, проявление фоторезиста, задубливания и любых им подобных.

Для выполнения этой работы доставка установки на нашу территорию не требуется. После подписания договора мы начинаем изготавливать новую систему управления и по готовности приезжаем к Вам.

Поставка включает в себя блок управления Установкой и персональный или планшетный компьютер с собственным программным обеспечением. Если используется планшетный компьютер, то как правило он вешается на стену в непосредственной близости от треков.

Возможно соединение блоков управления в технологическую линию и управление от одного компьютера.

Программное обеспечение позволяет хранить практически не ограниченное число технологических программ (рецептов). В фоновом режиме строятся необходимые графики (например- температура горячей плиты). Информация о прохождении технологического процесса фиксируется и архивируется для последующего анализа.

Новый блок управления представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это залог надежной работы и простота обслуживания.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 2 до 4 месяцев. Гарантия на поделанную работу — 1 год.

Вверх

Янв072020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ЭМ-576» и «ЭМ-576А»

Возможна поставка установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А» с проведенным капитальным ремонтом и модернизацией.

МЫ ГОТОВЫ ПРЕДЛОЖИТЬ НЕСКОЛЬКО ВАРИАНТОВ МОДЕРНИЗАЦИИ И РЕМОНТА УСТАНОВОК СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ «ЭМ-576» и «ЭМ-576А» :

1. Капитальный ремонт установки с модернизацией системы управления, экспонирования, пневмовакуумной системы

Для этого установка транспортируется к нам (на месте эту работу не сделать). Установка полностью разбирается, производится покраска элементов конструкции. Производится полный ремонт всех механических узлов, шлифовка или замена изношенных деталей. Производится замена панели клапанов на новую, собранную на основе импортных комплектующих. Все пневмовакуумные трубки меняются. Происходит замена блока подготовки воздуха на новый. По желанию заказчика осуществляем замену осветителя системы экспонирования на основе лампы ДРШ-350 на систему на основе ультрафиолетового светодиода или устанавливаем новый блок питания лампы ДРШ-350. Всю старую электронику (корзина с платами под установкой и пульт управления, справа на установке) выкидываем и устанавливаем современную систему управления.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 2 до 4 месяцев.

Гарантия на проделанную работу — 1 год.

2. Модернизация системы управления (поставка)

Поставка включает в себя блок управления Установкой и персональный компьютер с тестово-наладочным программным обеспечением. Производится демонтаж старой системы управления, монтаж и наладка новой системы управления.

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-576А представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это не только надежная работа и простота обслуживания, но и возможность быстрой перестройки оборудования под изменившиеся задачи Вашего производства. Именно возможность быстрой (и как следствие не дорогой) перенастройки Вашего оборудования дает Вам возможность легко адаптироваться под реалии современного рынка. Так, например: Ваше оборудование было подготовлено для работы на круглых, кремниевых пластинах и Вам поступает крупный заказ, но в качестве подложек выступают увы, прямоугольные пластины 60*48… Наше микропрограммное обеспечение позволит переделать все алгоритмы загрузки, выгрузки, калибровки, экспонирования и т.д. в течение нескольких дней (в зависимости от поставленных Вами задач). При этом Вы не потеряете возможность в любой момент самостоятельно вернуться к старому варианту. Если быть точнее, то у Вас будет выбор режима работы как «раньше» или «по новому», или например «еще новее» и т.д.

Схемотехническое решение блока управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-576А таково, что все входные и выходные цепи имеют гальваническую развязку. А все источники внутреннего электропитания, если не защищены активно то, как минимум, имеют в своей выходной цепи самовосстанавливающиеся предохранители. Как правило, любое внештатное внешнее воздействие, не приводит к трагическим (для блока управления) результатам. И даже в самом крайнем случае, ремонт сводится к замене какой-либо оптопары, что может выполнить и наладчик с небольшим опытом или квалификацией.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 1 до 3 месяцев.

Гарантия на проделанную работу — 1 год.

3. Поставка осветителя системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода®

Для выполнения этой работы доставка установки на нашу территорию также не требуется. После подписания договора мы начинаем изготавливать новый осветитель и по готовности приезжаем к Вам.

В комплект поставки входит: Осветитель системы экспонирования, Блок управления осветителем, Станция водяного охлаждения.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
Плавная регулировка мощности излучения.
Стабилизация по мощности светодиода.
Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой.
Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

Мы готовы предоставить Вам на две недели осветитель системы экспонирования на основе УФ светодиодов для испытаний — БЕЗ ОПЛАТЫ! По истечении двух недель Вы или оплачиваете или возвращаете!

Узнать более подробно про осветитель и посмотреть примеры можно пройдя по этой ссылке

Возможны и другие варианты, обращайтесь ….

Вверх

Скачать рекламный листок по модернизации установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А» в формате .pdf Вы можете по ссылке:

Модерн.ЭМ-576А_2020 Скачать

Вверх

Янв072020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ЭМ-5026»

МЫ ГОТОВЫ ПРЕДЛОЖИТЬ НЕСКОЛЬКО ВАРИАНТОВ МОДЕРНИЗАЦИИ И РЕМОНТА УСТАНОВОК СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ «ЭМ-5026»:

Для этого установка транспортируется на наше производство. Установка полностью разбирается, производится покраска элементов конструкции. Производится полный ремонт всех механических узлов, шлифовка или замена изношенных деталей. Производится замена панели клапанов на новую, собранную на основе импортных комплектующих. Все пневмовакуумные трубки меняются. Происходит замена блока подготовки воздуха на новый. По желанию заказчика осуществляем замену осветителя системы экспонирования на основе лампы ДРКС-500 на систему на основе ультрафиолетового светодиода или устанавливаем новый блок питания лампы. Всю старую электронику (корзина с платами под установкой и пульт управления, справа на установке) выкидываем и устанавливаем современную систему управления.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 2 до 4 месяцев.

Гарантия на проделанную работу — 1 год.

2. Модернизация системы управления (поставка)

Поставка включает в себя блок управления Установкой и пульт управления со встроенным планшетным компьютером.

На Вашей территории производится демонтаж старой системы управления, монтаж и наладка новой системы управления.

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5026 представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это гарантия надежной работа и простота обслуживания.

Схемотехническое решение блока управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5026 таково, что все входные и выходные цепи имеют гальваническую развязку. А все источники внутреннего электропитания, если не защищены активно то, как минимум, имеют в своей выходной цепи самовосстанавливающиеся предохранители. Как правило, любое внештатное внешнее воздействие, не приводит к трагическим (для блока управления) результатам. И даже в самом крайнем случае, ремонт сводится к замене какой-либо оптопары, что может выполнить и наладчик с небольшим опытом или квалификацией.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 1 до 3 месяцев.

Гарантия на проделанную работу — 1 год.

3. Поставка осветителя системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода®

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
Плавная регулировка мощности излучения.
Стабилизация по мощности светодиода.
Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой.
Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

Узнать более подробно про осветитель и посмотреть примеры можно пройдя по этой ссылке

Возможны и другие варианты, обращайтесь ….

Вверх

Скачать краткий рекламный листок по модернизации установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5026«, Вы можете по ссылке:

Модерн.ЭМ-5026_2020 Скачать

Вверх

Янв072020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ASM»

«ASM» — термические установки для различных процессов (термодиффузии, пирогенного окисления, осаждения и т.д.) на подложках диаметром до 200мм. Двух и четырех канальные…

ООО «СОРЭНЖ» выполняет модернизацию термических установок «ASM». В предложенном документе один из вариантов выполненной модернизации. Так как мы являемся и разработчиками и производителями, то готовы внести любые изменения в состав новой системы управления и адаптировать ее под Ваш технологический процесс.

СТОЙКА УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВОК ASM

Новая стойка управления включает в себя четыре компьютера с сенсорными мониторами для независимого управления каждым каналом.

Каждый компьютер (контроллер) канала обеспечивает автоматическое управление процессом в соответствии с загруженным рецептом, а также обеспечивает сбор данных и передачу их в супервизор, для последующего просмотра.

Контроллер канала обеспечивает автоматическое и ручное управление всеми имеющимися регуляторами расходов газов, вакуумом, температурой, генератором (при наличии), загрузчиком.

Контроллер канала обеспечивает автоматическую блокировку опасных состояний.

СИСТЕМА НАГРЕВА УСТАНОВОК ASM

Система нагрева обеспечивает работу с 5-ти точечной термопарой в реакторе и пятью термопарами в нагревателе.

Система нагрева обеспечивает регулирование подаваемой на нагреватель мощности в пяти зонах.

Система нагрева обеспечивает многоуровневый контроль состояния термопар, нагревателей, модулей управления и связи между ними.

Предусмотрена независимая блокировка по превышению заранее выбранной температуры по трем независимым термопарам с отключением питания нагревателей. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ ГАЗОВАКУУМНЫМ ОБОРУДОВАНИЕМ УСТАНОВОК ASM

СУ газовакуумным оборудованием установок «ASM» располагается на месте старых блоков управления и обеспечивает сбор данных с датчиков и управление всеми РРГ, насосами, затворами, клапанами и т.д. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ ЗАГРУЗЧИКОМ УСТАНОВОК ASM

СУ загрузчиками установок «ASM» располагается на месте старых блоков управления и обеспечивает управление дверью и загрузчиком по трем координатам: X — загрузка/выгрузка, Z — вверх/вниз и Ph — наклон (компенсация пустой или загруженный) больше/меньше. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.

ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ УСТАНОВОК ASM

Язык интерфейса – Русский (при необходимости может быть другой).

На контроллере канала разделяется уровень доступа. Программное обеспечение контроллера канала обеспечивает оператору возможность выбора требуемого рецепта из списка рецептов, его запуска и контроль выполнения.

На дисплее отображаются заданные и текущие параметры технологического процесса, время и шаг рецепта. Отображаются графики всех основных параметров: температура, расходы газов, давление и т.д.

Более высокий уровень доступа разрешает изменять заданные значения параметров тех.процесса, управлять в ручном режиме различными устройствами.

Все заданные и текущие параметры тех.процесса, события и реакция оператора фиксируются и сохраняются для последующего анализа.

СУПЕРВИЗОР

Супервизор обеспечивает подготовку, редактирование и хранение рецептов процессов, сбор и хранение данных о ходе выполнения рецепта и их отображение. Супервизор обеспечивает ограничение доступа к редактированию рецепта и другим функциям посредством паролей.

Связь супервизора с контроллерами каналов осуществляется с помощью компьютерной сети ТСР/IР.

Срок выполнения работы — от 3 месяцев. Первые 2 — 2.5 месяца мы изготавливаем новую систему управления. Этот этап проходит нашими силами и на нашей территории. В это время Вы можете дорабатывать на установке. Далее около месяца занимает монтаж, наладка, обучение и сдача. Этот этап проходит на Вашей территории и совместно с Вашими специалистами

Предоставляется техническая документация (схемы, тех.описания и т.д.) на русском языке.

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установки «ASM», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

Вверх

Скачать краткий рекламный листок по модернизации термических установок ASM, Вы можете по ссылке:

Модерн.ASM_2020 Скачать

Скачать более подробный рекламный листок по модернизации термических установок ASM, Вы можете по ссылке:

Модернизация-ASM Скачать

Вверх

Янв062020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ЭМ-5006» И «ЭМ-5006А»

Возможна поставка установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» с проведенным капитальным ремонтом и модернизацией.

Мы готовы предложить несколько вариантов модернизации и ремонта установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» и «ЭМ-5006А»:

2. Модернизация системы управления (поставка)

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006 представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это не только надежная работа и простота обслуживания, но и возможность быстрой перестройки оборудования под изменившиеся задачи Вашего производства. Именно возможность быстрой (и как следствие не дорогой) перенастройки Вашего оборудования дает Вам возможность легко адаптироваться под реалии современного рынка. Так, например: Ваше оборудование было подготовлено для работы на круглых, кремниевых пластинах и Вам поступает крупный заказ, но в качестве подложек выступают увы, прямоугольные пластины 60*48… Наше микропрограммное обеспечение позволит переделать все алгоритмы загрузки, выгрузки, калибровки, экспонирования и т.д. в течение нескольких дней (в зависимости от поставленных Вами задач). При этом Вы не потеряете возможность в любой момент самостоятельно вернуться к старому варианту. Если быть точнее, то у Вас будет выбор режима работы как «раньше» или «по новому», или например «еще новее» и т.д.

Схемотехническое решение блока управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006 таково, что все входные и выходные цепи имеют гальваническую развязку. А все источники внутреннего электропитания, если не защищены активно то, как минимум, имеют в своей выходной цепи самовосстанавливающиеся предохранители. Как правило, любое внештатное внешнее воздействие, не приводит к трагическим (для блока управления) результатам. И даже в самом крайнем случае, ремонт сводится к замене какой-либо оптопары, что может выполнить и наладчик с небольшим опытом или квалификацией.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 1 до 3 месяцев.

Гарантия на проделанную работу — 1 год.

3. Поставка осветителя системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода®

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
Плавная регулировка мощности излучения.
Стабилизация по мощности светодиода.
Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой.
Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

Узнать более подробно про осветитель и посмотреть примеры можно пройдя по этой ссылке

...

Возможны и другие варианты, обращайтесь ….

Вверх

Скачать краткий рекламный листок по модернизации установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5006», Вы можете по ссылке:

Модерн.ЭМ-5006_2020 Скачать

Вверх

На этом видео показаны комментарии блока управления по ходу выполнения процесса (это видео одного из первых блоков…)

А здесь наглядно показан процесс выгрузки прямоугольной подложки в обратную сторону:

Вверх

Янв062020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»

«УТП.3-150/1-003» — установка индивидуального плазмохимического травления. «УТП.3-150/1-003» предназначена для процессов травления тонких диэлектрических и полупроводниковых слоев при поштучной обработке пластин диаметром до 150мм при изделий электронной промышленности производстве.

«08ПХО-125/50-008» — установка индивидуальной плазмохимической и реактивно-ионной обработки. «08ПХО-125/50-008» предназначена для использования в составе технологического оборудования при производстве изделий электронной промышленности в процессах травления тонких диэлектрических и полупроводниковых слоев при поштучной обработке пластин диаметром 76мм, 100мм и 125мм.

С целью модернизации системы управления установок плазмохимической обработки «УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008» , ООО «СОРЭНЖ» разработало и изготовило новую систему управления на замену использующихся блоков «ОРИОН-3» и «ОРИОН-4».

Новая система управления состоит из блока управления производства ООО «СОРЭНЖ», управляющего компьютера и собственного программного обеспечения.

БУ предназначен для замены управляющего комплекса «ОРИОН-3» / «ОРИОН-4» «разъем-в-разъем» и обеспечивает управление установкой плазмохимического травления «УТП.3-150/1-003» и установкой индивидуальной плазмохимической и реактивно-ионной обработки «08ПХО-125/50-008» во всех необходимых технологических режимах.

Новый БУ позволяет:

По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает выдачу заданного значения в виде аналогового сигнала с диапазоном 0…5В или 0…10В по 8-и независимым каналам.
По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает получение значений в виде аналогового сигнала с диапазоном 0…10В по 16-ти независимым каналам.
По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает управление 5*16 дискретными выходами с оптронной развязкой.
По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает получение значений по 5*16 дискретным входам с оптронной развязкой.

На экране управляющего компьютера отображается текущее состояние всех необходимых устройств, заданный и фактический расход РРГ (в литр./час), показания вакуумметров (в Па), температура (в гр.Ц). В фоновом режиме пишуться графики по всем аналоговым сигналам. Графики и другая оперативная информация сохраняются в архив для последующего анализа…

Возможно формирование и хранение практически не ограниченного числа технологических процессов (рецептов)

Возможна разная глубина модернизации… Обращайтесь и мы постараемся ответить на Ваши вопросы.

Вверх

Дек282019

МОДЕРНИЗАЦИЯ СД.ОМ-3/100

«СД.ОМ-3/100» — система диффузионная однозонная многотрубная. Предназначена для различных процессов термодиффузии на подложках диаметром до 100 мм.

Целью модернизации установки «СДОМ» является:

Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
Сокращения времени восстановления и ремонта.
Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Как правило, модернизация установок СД.ОМ-3/100 проходит в два этапа:

1 – этап: Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 1 недели до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.

2 – этап: Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.

ЭЛЕКТРОПЕЧЬ

Было: БПРТ-3. Старые блоки с аналоговым управлением, в которых из-за старости высыхают электролиты и как следствие постоянно «уплывает» температура, нет повторяемости результатов. Для ремонта требуется специалисты.

Стало: Современные блоки с цифровым управлением. Поддержание температуры с точностью до 0.3 градусов Цельсии. БУН имеет самотестирование, контролирует наличие связи с персональным компьютером и модулем ввода с термопары – безопасно остановит работу в случае зависания компьютера или выхода из строя модуля ввода с термопар. Распознает обрыв термопары и контролирует перегрев по внутренней уставке.

Вид современных блоков управления нагревом термических установок (производство ООО «Сорэнж»)….

Графики температуры — время представлено в формате ЧЧ.ММ.СС, температура в градусах. На первой фотографии 0.5 градуса в клетке, на остальных 0.1 градус в клетке…

ГАЗОВЫЙ ШКАФ

Было: Управление газовым шкафом осуществлялось с помощью программаторов ПВК.

Стало: Программаторы «ПВК» и «ИПП» — выкидываются вместе со стойкой. Источники питания, блок реле, блок вентиляторов и т.д. удаляются. Устанавливаются новые модули управления и необходимые источники питания. Модули располагаются в закрытом корпусе в газовом шкафу, там, где раньше находились источники питания. Модули имеют связь с персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485. Подключение к имеющимся РРГ, клапанам, ТХЭ и т.д. провидится с помощью новых кабелей.

Вид современных блоков управления газовым оборудованием установок «СДОМ-3/100» (производство ООО «Сорэнж»)….

Возможна замена газовых панелей под Ваш технологический процесс. Вы можете выбрать тип и количество РРГ, клапанов и т.д. Нарисовать желаемую схему… Возможна замена газового шкафа целиком.

ЗАГРУЗЧИК

Как и в случае с системой нагрева — удаляем родные блоки управления загрузкой.

Новый БУЗ работает в режимах:

автоматическом режиме т.е. по командам от компьютера.
полуавтоматическом — по командам оператора выполняет полный цикл операций «Загрузка», «Выгрузка».

Состояние всех датчиков, двигателей, режимов и функций индицируется на экране компьютера.

Одной из отличительных характеристик нового БУЗ-а является возможность изменения алгоритмов загрузки, выгрузки и осцилляции по желанию заказчика. Например, некоторые заказчики предпочитают однократное шевеление лодочки раз в минуту мотивируя это тем, что грязи меньше, другие предпочитают постоянное. Кто-то вообще не хочет шевелить лодочку во время процесса, но при выгрузке просит сначала чуть двинуться в сторону загрузки, а уж потом выгружать и т.д., и т.п.

УПРАВЛЯЮЩАЯ ПРОГРАММА

Программа имеет разделение доступа: «Технолог», «Наладчик», «Оператор».

На мониторе персонального компьютера отображается заданная и фактическая температура по каждой из зон нагревателя, заданные и фактические расходы газов в л./час, состояние клапанов, датчиков и т.д. Щелкая мышкой на клапан или РРГ возможно изменение состояние устройства (при условии наличия доступа).

Помимо этого, отображаются графики по каждой из зон нагревателя. Это очень удобно, так как всегда видно, как менялась температура во время процесса. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению.

Так же отображаются графики по каждому РРГ — всегда видно, как менялся расход во время процесса.

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установки «СД.ОМ-3/100», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

Скачать рекламный листок по модернизации СД.ОМ-3/100 Вы можете по ссылке:

Модерн.СДОМ_2020 Скачать

Вверх

Дек272019

Архив документации по установкам резки и скрайбирования

Установка получения пластин «Алмаз-4» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации В1М3.104.001ТО, 1975г.
Открыть 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Алмаз-4-ТО-л.1-4
Скачать 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Алмаз-4-ТО-л.1-4
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Полуавтомат резки полупроводниковых пластин «ЭМ-225» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации М2.143.013ТО.
Открыть 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-225-ТО-л.1-6
Скачать 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-225-ТО-л.1-6
Полное описание доступно по ссылкам:

Я2М2.143.013 ТО Лист1- 7 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист8-13а Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист14-20 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист21-27 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист28-35 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист36-42 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист43-46 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист47-54 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист55-62 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист63-70 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист71-79 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист80-87 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист88-94 Скачать

Я2М2.143.013 ТО Лист95-97 Скачать

Полуавтомат скрайбирования пластин «Алмаз-М» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации 3.104.003
Открыть 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Алмаз-М-ТО-л.1-4
Скачать 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Алмаз-М-ТО-л.1-4
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Полуавтомат скрайбирования пластин «СКЦИ.442142.001» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации СКЦИ.442142.001 1985г.
Открыть 1,6-8 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: СКЦИ.442142.001-ТО_л1,6-8
Скачать 1,6-8 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: СКЦИ.442142.001-ТО_л1,6-8
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)