МОДЕРНИЗАЦИЯ «ASM»
«ASM» — термические установки для различных процессов (термодиффузии, пирогенного окисления, осаждения и т.д.) на подложках диаметром до 200мм. Двух и четырех канальные… ООО «СОРЭНЖ» выполняет модернизацию термических установок «ASM». В предложенном документе один из вариантов выполненной модернизации. Так как мы […]
МОДЕРНИЗАЦИЯ СД.ОМ-3/100
«СД.ОМ-3/100» — система диффузионная однозонная многотрубная. Предназначена для различных процессов термодиффузии на подложках диаметром до 100 мм. Целью модернизации установки «СДОМ» является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных […]
МОДЕРНИЗАЦИЯ «ИЗОТРОН-3» и «ИЗОТРОН-4»
Целью модернизации установок осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150» является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена старых, исчерпавших свой ресурс […]
Модернизация «ОКСИД-3Д» и «ОКСИД-3ПО»
Целью модернизации установок «ОКСИД-3Д» (для процессов термодиффузии) и «ОКСИД-3ПО» (для процессов окисления с пирогенным формированием пара) является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена […]
Модернизация «HCVD-55» / «HCVD-52»
«HCVD-55» предназначена для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении. Целью модернизации установки «HCVD-55» является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена старых, […]
МОДЕРНИЗАЦИЯ «ОКТАВА»
Целью модернизации установки пирогенного окисления «ОКТАВА» является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков. Улучшение показателей помехоустойчивости и […]