ТЕРМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ASM»

«ASM» — термические установки для различных процессов (термодиффузии, пирогенного окисления, осаждения и т.д.) на подложках диаметром до 200мм. Двух и четырех канальные… ООО «СОРЭНЖ» выполняет модернизацию термических установок «ASM». В предложенном документе один из вариантов выполненной модернизации. Так как мы […]

СДОМ

МОДЕРНИЗАЦИЯ СД.ОМ-3/100

«СД.ОМ-3/100» —  система диффузионная однозонная многотрубная. Предназначена для различных процессов термодиффузии на подложках диаметром до 100 мм. Целью модернизации установки «СДОМ» является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных […]

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ИЗОТРОН-3» и «ИЗОТРОН-4»

Целью модернизации установок осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150»  является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена старых, исчерпавших свой ресурс […]

Модернизация «ОКСИД-3Д» и «ОКСИД-3ПО»

Целью модернизации установок «ОКСИД-3Д» (для процессов термодиффузии) и «ОКСИД-3ПО» (для процессов окисления с пирогенным формированием пара) является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена […]

Модернизация «HCVD-55»

«HCVD-55» предназначена для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении. Целью модернизации установки «HCVD-55» является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена старых, […]

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ОКТАВА»

Целью модернизации установки пирогенного окисления «ОКТАВА» является: Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков. Улучшение показателей помехоустойчивости и […]

Извините, страница еще оформляется… Если Вы что-то не нашли, то посмотрите на другом нашем сайте www.сорэнж.рф