ФОТОЛИТОГРАФИЯ

УФ_осветитель

ОСВЕТИТЕЛИ СИСТЕМЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА (ЗАМЕНА ЛАМП «ДРШ», «ДРКС», «HBO»)

НАЗНАЧЕНИЕОсветители системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода разработаны и выпущены ООО «СОРЭНЖ» на замену ртутных ламп «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500», «HBO». Новые осветители уже используются на установках контактной фотолитографии: «ЭМ-576» и «ЭМ-576A»«ЭМ-5006» и «ЭМ-5006A»«ЭМ-5026» и «ЭМ-5026A»«ЭМ-586»«MJB-3» и «MJB-4»«АМК2104-02», «АМК2104-03», «АМК2104-06», «АМК2104-08», «АМК2104-16»В новых установках произведенных ООО «СОРЭНЖ» […]

"УСЭ-004"

УСТАНОВКА СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ «УСЭ-004»

Установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» предназначена для переноса изображения фотошаблона на подложку экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов. Для работы установки необходимо подключить ее к однофазной питающей сети 220В, 50Гц (потребляема мощность не более 1.5кВт) Для работы установки […]

УЭС-003

УСТАНОВКА ЭКСПОНИРОВАНИЯ «УЭС-003»

Установка экспонирования «УЭС-003» предназначена для переноса изображения фотошаблона на подложку (без совмещения изображений шаблона и подложки) экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС. Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

УЗР-002

УСТАНОВКА ЗАСВЕТКИ РЕЗИСТА «УЗР-002»

Установка засветки «УЗР-002» предназначена для засветки фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС. Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

БПЛ-350

«БПЛ-350» — Блок питания ламп ДРШ-350

Блок питания «БПЛ-350» предназначен для питания ламп ДРШ-350 различных модификаций. В последнее время достать хорошие лампы «ДРШ-350» стало проблемой. Старые запасы заканчиваюся… На новые лампы часто поступают жалобы о сильном разбросе параметров и коротким сроком службы…. ООО «СОРЭНЖ» попыталось исправить […]