НОВОЕ ОБОРУДОВАНИЕ:
ООО «СОРЭНЖ» ведет работу по созданию нового оборудования для процессов фотолитографии, скрайбирования пластин, резки, различного зондового оборудования …
Нами разработано и производится:
- бюджетная установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» (точность совмещения до 5мкм)
- установка экспонирования «УЭС-003» (без совмещения)
- установка засветки резиста «УЗР-002»
- полуавтомат скрайбирования «АЛМАЗ-С». Эта установка скрайбирования пластин выпущена на замену скрайбера пластин «Алмаз-М» и скрайбера «СКЦИ.442142.001»
- Мы изготавливаем блоки питания для ламп «ДРШ-350» и «ДРКС-500»
- Разработали и производим осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода. На эту разработку имеется патент.
- Мы изготавливаем блоки подготовки воздуха для различного технологического оборудования
КАПИТАЛЬНЫЙ РЕМОНТ И МОДЕРНИЗАЦИЯ ОБОРУДОВАНИЯ:
ООО «СОРЭНЖ» ведет работу по модернизации различного оборудования: для фотолитографии, скрайбирования пластин и резки, термического оборудования, установок вакуумного напыления и травления, различного зондового оборудования …
Нами выполнена модернизация следующих установок:
- Установки контактной фотолитографии «ЭМ-5006» / «ЭМ-5006А» , «ЭМ-576» / «ЭМ-576А», «ЭМ-5026», «ЭМ-5026А», «ЭМ-586», «AL-06», «AMK-2104.16», «AMK-2104.01», «AMK-2104.02», «MJB-3», «MJB-4»
- Установки проекционной фотолитографии «ЭМ-584А», «ЭМ-584Б»
- Изготовление фотошаблонов: «AER», «ЭМ-5009»
- Из термического оборудования мы многократно проводили модернизацию установок: «ASM», «СД.ОМ-3/100», «ОКСИД», «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4», «ОКТАВА», «ИЗОПЛАЗ», «HCVD-52», «HCVD-55»
- Из установок напыления: «УВН-71», «УВН-73», «УВН-74», «УВН-75» в разных модификациях; «МАГНА-2М» и «ОРАТОРИЯ-29»; «ВУП-5» и «ВУП-5М»; установки фирмы «BALZERS»…. Нами разработано и производиться большое количество различных блоков для модернизации технологического оборудования. Так же возможно изменение технологических параметров установок, алгоритмов работы непосредственно под Ваши требования…
- установки плазмохимического травления «УТП.3-150/1-003» и «08-ПХО-100/10-006»
- Из установок скрайбирования: «ЭМ-225», «АЛМАЗ-М»
- Из установок зондового контроля: «ЗОНД-А3», «ЗОНД-А5», «ЭМ-6010»
АРЕНДА ОБОРУДОВАНИЯ:
ООО «СОРЭНЖ» предоставляет в аренду различное технологическое оборудование для микроэлектронного производства.
Более подробно можно посмотреть здесь