ОСВЕТИТЕЛИ СИСТЕМЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА (ЗАМЕНА ЛАМП «ДРШ», «ДРКС», «HBO»)

Осветитель-на-ЭМ-576А

Осветитель-на-ЭМ-5006

Осветитель-на-АМК.2104

Осветитель-на-AER

Осветитель-на-ЭМ-584А

Осветитель-на-УЭС-003

Осветитель-на-УЗР-002

20180510_100118-240×150

Светодиодный осветитель на ЭМ-5026

НАЗНАЧЕНИЕ
Осветители системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода разработаны и выпущены ООО «СОРЭНЖ» на замену ртутных ламп «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500», «HBO». Новые осветители уже используются на установках контактной фотолитографии:

«ЭМ-576» и «ЭМ-576A»
«ЭМ-5006» и «ЭМ-5006A»
«ЭМ-5026» и «ЭМ-5026A»
«ЭМ-586»
«MJB-3» и «MJB-4»
«АМК2104-02», «АМК2104-03», «АМК2104-06», «АМК2104-08», «АМК2104-16»
В новых установках произведенных ООО «СОРЭНЖ» «УЗР-002», «УЭС-003»
Успешно работают на установках изготовления шаблонов «AER» с объективом 5х
Опробована работа на установках проекционной фотолитографии «ЭМ-584А»

Основные технические характеристики осветителя:

Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
Плавная регулировка мощности излучения.
Стабилизация по мощности светодиода.
Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой.
Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

МЫ ГОТОВЫ ПРЕДОСТАВИТЬ ОСВЕТИТЕЛЬ НА ДВЕ НЕДЕЛИ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИСПЫТАНИЙ. МЫ ПРИЕДЕМ И УСТАНОВИМ ОСВЕТИТЕЛЬ БЕЗВОЗМЕЗДНО. ЧЕРЕЗ ДВЕ НЕДЕЛИ ИЛИ ОПЛАТИТЕ ИЛИ ВЕРНЕТЕ.

Рассмотрим монтаж нового осветителя системы экспонирования на примере установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А».
1. Из состава установки удаляем фонарь. Целиком, вместе с лампой, параболическим зеркалом, «горячим» зеркалом, высоковольтным блоком поджига, трубками охлаждения, кабелем идущим к нему и т.д.
2. Так как светодиод не горит постоянно, а лишь зажигается на время экспонирования, то мы удалям затвор системы экспонирования (за ненадобностью).
3. Устанавливаем основание с закрепленным на нем новым источником ультрафиолетового излучения в сборе. Основание входит в комплект поставки. Крепление основания производиться в «родные» отверстия, так что ничего сверлить и переделывать не надо.
4. Устанавливаем блок управления и соединяем его с источником ультрафиолетового излучения. Подключаем БУ к питающей сети (85…250В , 50..60Гц).
5. Подключаем разъем, ранее идущий к затвору установки, в блок управления осветителем. Таким образом, вместо открытия/закрытия затвора будет происходить включение/выключение светодиода.
6. Все. На этом монтаж закончен. Можно приступать к отсъемам.

Вверх

РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ, ПОЛУЧЕННЫЕ НА РАЗНЫХ УСТАНОВКАХ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ С ПОМОЩЬЮ ОСВЕТИТЕЛЯ НА УФ СВЕТОДИОДАХ С ДЛИНАМИ ВОЛН 400нм и 365нм