fotolit

Новое оборудование для фотолитографии

УФ_осветитель

ОСВЕТИТЕЛИ СИСТЕМЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА (ЗАМЕНА ЛАМП «ДРШ», «ДРКС», «HBO»)

НАЗНАЧЕНИЕ
Осветители системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода разработаны и выпущены ООО «СОРЭНЖ» на замену ртутных ламп «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500», «HBO». Новые осветители уже используются на установках контактной фотолитографии:

  • «ЭМ-576» и «ЭМ-576A»
  • «ЭМ-5006» и «ЭМ-5006A»
  • «ЭМ-5026» и «ЭМ-5026A»
  • «ЭМ-586»
  • «MJB-3» и «MJB-4»
  • «АМК2104-02», «АМК2104-03», «АМК2104-06», «АМК2104-08», «АМК2104-16»
  • В новых установках произведенных ООО «СОРЭНЖ» «УЗР-002», «УЭС-003»
  • Успешно работают на установках изготовления шаблонов «AER» с объективом 5х
  • Опробована работа на установках проекционной фотолитографии «ЭМ-584А»
Основные технические характеристики осветителя:
  • Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
  • Плавная регулировка мощности излучения.
  • Стабилизация по мощности светодиода.
  • Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В,  <15мА) или кнопкой.
  • Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
  • Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
  • Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
  • Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
  • Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

МЫ ГОТОВЫ ПРЕДОСТАВИТЬ ОСВЕТИТЕЛЬ НА ДВЕ НЕДЕЛИ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИСПЫТАНИЙ. МЫ ПРИЕДЕМ И УСТАНОВИМ ОСВЕТИТЕЛЬ БЕЗВОЗМЕЗДНО. ЧЕРЕЗ ДВЕ НЕДЕЛИ ИЛИ ОПЛАТИТЕ ИЛИ ВЕРНЕТЕ.

Рассмотрим монтаж нового осветителя системы экспонирования на примере установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А». 
1. Из состава установки удаляем фонарь. Целиком, вместе с лампой, параболическим зеркалом, «горячим» зеркалом, высоковольтным блоком поджига, трубками охлаждения, кабелем идущим к нему и т.д. 
2. Так как светодиод не горит постоянно, а лишь зажигается на время экспонирования, то мы удалям затвор системы экспонирования (за ненадобностью). 
3. Устанавливаем основание с закрепленным на нем новым источником ультрафиолетового излучения в сборе. Основание входит в комплект поставки. Крепление основания производиться в «родные» отверстия, так что ничего сверлить и переделывать не надо. 
4. Устанавливаем блок управления и соединяем его с источником ультрафиолетового излучения. Подключаем БУ к питающей сети (85…250В , 50..60Гц).
5. Подключаем разъем, ранее идущий к затвору установки, в блок управления осветителем. Таким образом, вместо открытия/закрытия затвора будет происходить включение/выключение светодиода. 
6. Все. На этом монтаж закончен. Можно приступать к отсъемам.

РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ, ПОЛУЧЕННЫЕ НА РАЗНЫХ УСТАНОВКАХ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ С ПОМОЩЬЮ ОСВЕТИТЕЛЯ НА УФ СВЕТОДИОДАХ С ДЛИНАМИ ВОЛН 400нм и 365нм

НЕМНОГО ВИДЕО О РАБОТЕ ОСВЕТИТЕЛЕЙ…

spacer
"УСЭ-004"

УСТАНОВКА СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ «УСЭ-004»

Установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» предназначена для переноса изображения фотошаблона на подложку экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов.

Основные технические параметры установки совмещения и экспонирования «УСЭ-004»:

Габариты (Ш*Г*В) 
Вес
400x850x650 мм 
не более 60 кг.
Питание180 … 220В, 50 … 60Гц
Режим работы осветителя  С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…60 сек. с шагом 0.1сек. 
Размер станции охлаждения (Ш*Г*В) 
неболее 270х500х350мм
Рабочее поле засветкиС оптическим конденсором. 
Диаметр поля 100 мм.


Возможны варианты:
С оптическим конденсором. Диаметр поля 60 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 76 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 150 мм. 
Без оптического конденсора.
Рабочий столС рабочим столиком диаметром 100мм. С вакуумной фиксацией пластины (диаметр максимальной канавки 90мм). 

Возможны варианты: 
С рабочим столиком под подложки произвольной фомы.
С рабочим столиком диаметром 60мм.
С рабочим столиком диаметром 76мм. 
С рабочим столиком диаметром 150мм. 
Толщина подложки0.5 … 1мм

Возможны варианты: 
0.5 … 1.3мм
0.8 … 1.6мм
1.0 … 1.8мм
1.5 … 2.3мм
Контактирование подложки с шаблономВакуумный контакт подложки с шаблоном.
Длина волны источника УФ излучения365нм.

Возможны варианты: 
400нм.
430нм.
Система совмещения  Основание шаблонодержателя с вакуумной фиксацией. Шаблонодержатель под шаблон 127*127мм. С вакуумной фиксацией шаблона. С возможностью ручного перемещения шаблона с помощью по осям X и Y в пределах 5мм и поворота в пределах 6 градусов. Ручная настройка рабочего столика по высоте в пределах 8мм. 

Возможны варианты: 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 76мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 102мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 127мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 152мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя по чертежам заказчика.
Система визуального   контроляМонокулярный микроскоп с панкратической системой – 2шт. Поворотный штати с возможностью регулировки по фокусу — 2шт. Цифровая камера – 2шт. Внутренняя светодиодная подсветка с источником питания – 2шт. Монитор для отображения видеоинформации с сумматором видеосигналов с двух камер – 1шт. 

  Возможны варианты: 
С одним микроскопом и внутренней или внешней подсветкой.

Для работы установки необходимо подключить ее к однофазной питающей сети 220В, 50Гц (потребляема мощность не более 1.5кВт)

Для работы установки необходимо подключить ее к вакуумной магистрали с остаточным давлением не более 0.2кгс/см2

Установку следуют эксплуатировать в помещениях со следующими параметрами технологического микроклимата:

  • Температура воздуха в помещении 20 – 25 °С
  • Относительная влажность воздуха 45 ±5%
  • Относительная влажность воздуха 45 ±5%
  • Допустимая концентрация аэрозолей размером не более 0.5мкм в рабочем объеме не более 5 част./л.
  • Наличие агрессивных газов и паров кислот и щелочей в помещении не допускается.

Допустимые амплитуды виброперемещений основания под установкой не должны превышать :  5мкм при частоте до 5 Гц и 0.3 мкм при частоте от 5 до 20Гц.

Скачать краткое техническое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

Рекламный листок с техническими параметрами установки совмещения и экспонирования«УСЭ-004»:

spacer
УЭС-003

УСТАНОВКА ЭКСПОНИРОВАНИЯ «УЭС-003»

Установка экспонирования «УЭС-003» предназначена для переноса изображения фотошаблона на
подложку (без совмещения изображений шаблона и подложки) экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС.

Основные технические характеристики установки экспонирования «УЭС-003»:

Габариты (Ш*Г*В)
Вес
400x550x650 мм
не более 30 кг.
Питание 180 … 220В, 50 … 60Гц
Режим работы осветителя   По выбору:
С воздушным охлаждением: 0…19,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
Рабочее поле засветки По выбору:
С оптическим конденсором. Диаметр поля 60 мм.
С оптическим конденсором. Диаметр поля 76 мм.
С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм.
С оптическим конденсором. Диаметр поля 150 мм.
Без оптическим конденсора.
Рабочий стол По выбору:
Без рабочего столика.
С рабочим столиком под подложки произвольной фомы.
С рабочим столиком диаметром 60мм.
С рабочим столиком диаметром 76мм.
С рабочим столиком диаметром 100мм.
С рабочим столиком диаметром 150мм.
Шаблонодержатель По выбору:
Без шаблонодержателя.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 76мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 102мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 127мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 152мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя по чертежам заказчика.
Механизм контактирования подложки с шаблоном По выбору:
Без механизма контактирования.
С механизмом контактирования.
Длина волны источника УФ излученияПо выбору:
365нм.
400нм.
435нм

Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

spacer
УЗР-002

УСТАНОВКА ЗАСВЕТКИ РЕЗИСТА «УЗР-002»

Установка засветки «УЗР-002» предназначена для засветки фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС.

Основные технические параметры установки засветки «УЗР-002»:

Габариты (Ш*Г*В)
Вес
400x550x650 мм
не более 30 кг.
Питание 220В, 50Гц
Режим работы осветителя   По выбору:
С воздушным охлаждением: 0…19,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
Рабочее поле засветки По выбору:
Диаметр поля 60 мм.
Диаметр поля 76 мм.
Диаметр поля 100 мм.
Диаметр поля 150 мм.
Рабочий стол По выбору:
Без рабочего столика.
С рабочим столиком под подложки произвольной фомы.
С рабочим столиком диаметром 60мм.
С рабочим столиком диаметром 76мм.
С рабочим столиком диаметром 100мм.
С рабочим столиком диаметром 150мм.
Длина волны источника УФ излучения По выбору:
365нм.
400нм.
435нм

Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

spacer
БПЛ-350

«БПЛ-350» — Блок питания ламп ДРШ-350

Блок питания «БПЛ-350» предназначен для питания ламп ДРШ-350 различных модификаций.

Основные технические параметры блока питания «БПЛ-350»:

  1. Выходная мощность – не более 350Вт. Задается в цифровом виде с шагом 1Вт.
  2. Точность поддержания – не хуже 2%.
  3. Напряжение холостого хода – не менее 70В
  4. Максимальный ток – не более 10А
  5. Регулировка «холодного» тока лампы в диапазоне 0…9А
  6. Регулировка напряжения «поджига» лампы
  7. Защита по току, перенапряжению, мощности.
  8. Питание 220В, 50Гц.
  9. Габаритные размеры (Д/Ш/В) мм. : 510 /  265 / 180

В последнее время достать хорошие лампы «ДРШ-350» стало проблемой. Старые запасы заканчиваюся… На новые лампы часто поступают жалобы о сильном разбросе параметров и коротким сроком службы…. ООО «СОРЭНЖ» попыталось исправить ситуацию — доработав блок питания лампы «»ДРШ-350». Основное отличие от предыдущих версий — улучшенный момент поджига лампы.

Момент поджига лампы очень важный параметр – он сказывается на долговечности лампы. Начиная с шестой версии микропрограммного обеспечения предусмотрена возможность изменения напряжение поджига лампы. Благодаря этому, блок можно подстроить под любую лампу или пожелания оператора.

Скачать техническое описание Вы можете по ссылке: 

ПРЕДЛАГАЕМ ЗАМЕНУ ЛАМП «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500» НА ОСВЕТИТЕЛЬ НА ОСНОВЕ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО СВЕТОДИОДА !!! посмотреть здесь

spacer