fotolit

Новое оборудование для фотолитографии

Апр182021

«БП-400» — Блок питания ламп «ДРШ-250» и «ДРШ-350»

Блок питания «БП-400» выпущен на замену блока питания «БПл-350» и предназначен для питания ламп «ДРШ-250» и «ДРШ-350» различных модификаций.

БП-400БП-400
Основные отличия «БП-400» от предыдущих версий это:

  1. Улучшение показателей надежности .
  2. Улучшенный момент поджига лампы и выход на режим, теперь лампа поджигается стабильней.
  3. Улучшена схемотехника блока, что отразилось на более качественном управлении и соответственно на стабилизации режима горения лампы.

Основные технические параметры блока питания «БП-400»:

  1. Выходная мощность – не более 400Вт. Задается в цифровом виде с шагом 1Вт.
  2. Точность поддержания – не хуже 2%.
  3. Максимальный ток – не более 10А
  4. Регулировка «холодного» тока лампы в диапазоне 0…9А
  5. Регулировка напряжения «поджига» лампы
  6. Защита по току, перенапряжению, мощности.
  7. Питание 220В, 50Гц.
  8. Габаритные размеры (Д/Ш/В) мм. : 510 /  265 / 180

В последнее время достать хорошие лампы «ДРШ-350» стало проблемой. Старые запасы заканчиваюся… На новые лампы часто поступают жалобы о сильном разбросе параметров и коротким сроком службы…. ООО «СОРЭНЖ» попыталось исправить ситуацию — снабдив блок питания «БП-400» возможностью ограничить «холодный» ток лампы и возможность регулировки напряжения «поджига» лампы. 

Момент поджига лампы очень важный параметр – он сказывается на долговечности лампы. Благодаря этому, блок можно подстроить под любую лампу или пожелания оператора.

Скачать техническое описание Вы можете по ссылке: 

ПРЕДЛАГАЕМ ЗАМЕНУ ЛАМП «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500» НА ОСВЕТИТЕЛЬ НА ОСНОВЕ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО СВЕТОДИОДА !!! посмотреть здесь

Вверх

spacer
УФ_осветитель
Дек222019

ОСВЕТИТЕЛИ СИСТЕМЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА (ЗАМЕНА ЛАМП «ДРШ», «ДРКС», «HBO»)

Осветитель-на-ЭМ-576АОсветитель-на-ЭМ-576А
Осветитель-на-ЭМ-5006Осветитель-на-ЭМ-5006
Осветитель-на-АМК.2104Осветитель-на-АМК.2104
Осветитель-на-AERОсветитель-на-AER
Осветитель-на-ЭМ-584АОсветитель-на-ЭМ-584А
Осветитель-на-УЭС-003Осветитель-на-УЭС-003
Осветитель-на-УЗР-002Осветитель-на-УЗР-002
20180510_100118-240×15020180510_100118-240×150
Светодиодный осветитель на ЭМ-5026Светодиодный осветитель на ЭМ-5026

НАЗНАЧЕНИЕ
Осветители системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода разработаны и выпущены ООО «СОРЭНЖ» на замену ртутных ламп «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500», «HBO». Новые осветители уже используются на установках контактной фотолитографии:

  • «ЭМ-576» и «ЭМ-576A»
  • «ЭМ-5006» и «ЭМ-5006A»
  • «ЭМ-5026» и «ЭМ-5026A»
  • «ЭМ-586»
  • «MJB-3» и «MJB-4»
  • «АМК2104-02», «АМК2104-03», «АМК2104-06», «АМК2104-08», «АМК2104-16»
  • В новых установках произведенных ООО «СОРЭНЖ» «УЗР-002», «УЭС-003»
  • Успешно работают на установках изготовления шаблонов «AER» с объективом 5х
  • Опробована работа на установках проекционной фотолитографии «ЭМ-584А»
Основные технические характеристики осветителя:
  • Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
  • Плавная регулировка мощности излучения.
  • Стабилизация по мощности светодиода.
  • Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В,  <15мА) или кнопкой.
  • Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
  • Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
  • Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
  • Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
  • Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

МЫ ГОТОВЫ ПРЕДОСТАВИТЬ ОСВЕТИТЕЛЬ НА ДВЕ НЕДЕЛИ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИСПЫТАНИЙ. МЫ ПРИЕДЕМ И УСТАНОВИМ ОСВЕТИТЕЛЬ БЕЗВОЗМЕЗДНО. ЧЕРЕЗ ДВЕ НЕДЕЛИ ИЛИ ОПЛАТИТЕ ИЛИ ВЕРНЕТЕ.

Рассмотрим монтаж нового осветителя системы экспонирования на примере установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А». 
1. Из состава установки удаляем фонарь. Целиком, вместе с лампой, параболическим зеркалом, «горячим» зеркалом, высоковольтным блоком поджига, трубками охлаждения, кабелем идущим к нему и т.д. 
2. Так как светодиод не горит постоянно, а лишь зажигается на время экспонирования, то мы удалям затвор системы экспонирования (за ненадобностью). 
3. Устанавливаем основание с закрепленным на нем новым источником ультрафиолетового излучения в сборе. Основание входит в комплект поставки. Крепление основания производиться в «родные» отверстия, так что ничего сверлить и переделывать не надо. 
4. Устанавливаем блок управления и соединяем его с источником ультрафиолетового излучения. Подключаем БУ к питающей сети (85…250В , 50..60Гц).
5. Подключаем разъем, ранее идущий к затвору установки, в блок управления осветителем. Таким образом, вместо открытия/закрытия затвора будет происходить включение/выключение светодиода. 
6. Все. На этом монтаж закончен. Можно приступать к отсъемам.

Вверх

РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ, ПОЛУЧЕННЫЕ НА РАЗНЫХ УСТАНОВКАХ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ С ПОМОЩЬЮ ОСВЕТИТЕЛЯ НА УФ СВЕТОДИОДАХ С ДЛИНАМИ ВОЛН 400нм и 365нм

Осветитель 365нм, кремнийОсветитель 365нм, кремний
Осветитель 365нм, кремнийОсветитель 365нм, кремний
Осветитель 365нм, кремнийОсветитель 365нм, кремний
Осветитель 365нм, кремнийОсветитель 365нм, кремний
Осветитель 365нм, кремнийОсветитель 365нм, кремний
Осветитель 365нм, резистОсветитель 365нм, резист
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Осветитель 400нмОсветитель 400нм
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Толстый резистТолстый резист
Вверх

НЕМНОГО ВИДЕО О РАБОТЕ ОСВЕТИТЕЛЕЙ…

Вверх
spacer
"УСЭ-004"
Дек222019

УСТАНОВКА СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ «УСЭ-004»

УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004
УСЭ-004УСЭ-004

Установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» предназначена для переноса изображения фотошаблона на подложку экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов.

Основные технические параметры установки совмещения и экспонирования «УСЭ-004»:

Габариты (Ш*Г*В) 
Вес		400x850x650 мм 
не более 60 кг.
Питание180 … 220В, 50 … 60Гц
Режим работы осветителя  С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…60 сек. с шагом 0.1сек. 
Размер станции охлаждения (Ш*Г*В) 
неболее 270х500х350мм
Рабочее поле засветкиС оптическим конденсором. 
Диаметр поля 100 мм.

Возможны варианты:
С оптическим конденсором. Диаметр поля 60 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 76 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 150 мм. 
Без оптического конденсора.
Рабочий столС рабочим столиком диаметром 100мм. С вакуумной фиксацией пластины (диаметр максимальной канавки 90мм). 

Возможны варианты: 
С рабочим столиком под подложки произвольной фомы.
С рабочим столиком диаметром 60мм.
С рабочим столиком диаметром 76мм. 
С рабочим столиком диаметром 150мм. 
Толщина подложки0.5 … 1мм

Возможны варианты: 
0.5 … 1.3мм
0.8 … 1.6мм
1.0 … 1.8мм
1.5 … 2.3мм
Контактирование подложки с шаблономВакуумный контакт подложки с шаблоном.
Длина волны источника УФ излучения365нм.

Возможны варианты: 
400нм.
430нм.
Система совмещения  Основание шаблонодержателя с вакуумной фиксацией. Шаблонодержатель под шаблон 127*127мм. С вакуумной фиксацией шаблона. С возможностью ручного перемещения шаблона с помощью по осям X и Y в пределах 5мм и поворота в пределах 6 градусов. Ручная настройка рабочего столика по высоте в пределах 8мм. 

Возможны варианты: 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 76мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 102мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 127мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 152мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя по чертежам заказчика.
Система визуального   контроляМонокулярный микроскоп с панкратической системой – 2шт. Поворотный штати с возможностью регулировки по фокусу — 2шт. Цифровая камера – 2шт. Внутренняя светодиодная подсветка с источником питания – 2шт. Монитор для отображения видеоинформации с сумматором видеосигналов с двух камер – 1шт. 

  Возможны варианты: 
С одним микроскопом и внутренней или внешней подсветкой.

Для работы установки необходимо подключить ее к однофазной питающей сети 220В, 50Гц (потребляема мощность не более 1.5кВт)

Для работы установки необходимо подключить ее к вакуумной магистрали с остаточным давлением не более 0.2кгс/см2

Установку следуют эксплуатировать в помещениях со следующими параметрами технологического микроклимата:

  • Температура воздуха в помещении 20 – 25 °С
  • Относительная влажность воздуха 45 ±5%
  • Относительная влажность воздуха 45 ±5%
  • Допустимая концентрация аэрозолей размером не более 0.5мкм в рабочем объеме не более 5 част./л.
  • Наличие агрессивных газов и паров кислот и щелочей в помещении не допускается.

Допустимые амплитуды виброперемещений основания под установкой не должны превышать :  5мкм при частоте до 5 Гц и 0.3 мкм при частоте от 5 до 20Гц.

Вверх

Скачать краткое техническое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

УСЭ-004-ТОСкачать

Рекламный листок с техническими параметрами установки совмещения и экспонирования«УСЭ-004»:

УЭС-003_2020-1Скачать
Вверх
spacer
УЭС-003
Дек222019

УСТАНОВКА ЭКСПОНИРОВАНИЯ «УЭС-003»

УЭС-003УЭС-003
УЭС-003УЭС-003
УЭС-003УЭС-003

Установка экспонирования «УЭС-003» предназначена для переноса изображения фотошаблона на
подложку (без совмещения изображений шаблона и подложки) экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС.

Основные технические характеристики установки экспонирования «УЭС-003»:

Габариты (Ш*Г*В)
Вес 		400x550x650 мм
не более 30 кг.
Питание 180 … 220В, 50 … 60Гц
Режим работы осветителя   По выбору:
С воздушным охлаждением: 0…19,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
Рабочее поле засветки По выбору:
С оптическим конденсором. Диаметр поля 60 мм.
С оптическим конденсором. Диаметр поля 76 мм.
С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм.
С оптическим конденсором. Диаметр поля 150 мм.
Без оптическим конденсора.
Рабочий стол По выбору:
Без рабочего столика.
С рабочим столиком под подложки произвольной фомы.
С рабочим столиком диаметром 60мм.
С рабочим столиком диаметром 76мм.
С рабочим столиком диаметром 100мм.
С рабочим столиком диаметром 150мм.
Шаблонодержатель По выбору:
Без шаблонодержателя.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 76мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 102мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 127мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя 152мм.
Установлены приспособления для шаблонодержателя по чертежам заказчика.
Механизм контактирования подложки с шаблоном По выбору:
Без механизма контактирования.
С механизмом контактирования.
Длина волны источника УФ излученияПо выбору:
365нм.
400нм.
435нм

Вверх

Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

УЭС-003_2020Скачать
Вверх
spacer
УЗР-002
Дек222019

УСТАНОВКА ЗАСВЕТКИ РЕЗИСТА «УЗР-002»

УЗР-002УЗР-002
УЗР-002УЗР-002
УЗР-002УЗР-002
УЗР-002УЗР-002
УЗР-002УЗР-002

Установка засветки «УЗР-002» предназначена для засветки фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС.

Основные технические параметры установки засветки «УЗР-002»:

Габариты (Ш*Г*В)
Вес 		400x550x650 мм
не более 30 кг.
Питание 220В, 50Гц
Режим работы осветителя   По выбору:
С воздушным охлаждением: 0…19,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек.
Рабочее поле засветки По выбору:
Диаметр поля 60 мм.
Диаметр поля 76 мм.
Диаметр поля 100 мм.
Диаметр поля 150 мм.
Рабочий стол По выбору:
Без рабочего столика.
С рабочим столиком под подложки произвольной фомы.
С рабочим столиком диаметром 60мм.
С рабочим столиком диаметром 76мм.
С рабочим столиком диаметром 100мм.
С рабочим столиком диаметром 150мм.
Длина волны источника УФ излучения По выбору:
365нм.
400нм.
435нм

Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:

УЗР-002_2020Скачать
Вверх

spacer
БПЛ-350
Июн202016

«БПЛ-350» — Блок питания ламп ДРШ-350

Блок питания «БПЛ-350» СНЯТ С ПРОИЗВОДСТВА. АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ЗАМЕНА — «БП-400».

Блок питания «БПЛ-350» предназначен для питания ламп ДРШ-350 различных модификаций.

БПЛ-350БПЛ-350
Основные технические параметры блока питания «БПЛ-350»:

  1. Выходная мощность – не более 350Вт. Задается в цифровом виде с шагом 1Вт.
  2. Точность поддержания – не хуже 4%.
  3. Напряжение холостого хода – не менее 70В
  4. Максимальный ток – не более 10А
  5. Регулировка «холодного» тока лампы в диапазоне 0…9А
  6. Регулировка напряжения «поджига» лампы
  7. Защита по току, перенапряжению, мощности.
  8. Питание 220В, 50Гц.
  9. Габаритные размеры (Д/Ш/В) мм. : 510 /  265 / 180

В последнее время достать хорошие лампы «ДРШ-350» стало проблемой. Старые запасы заканчиваюся… На новые лампы часто поступают жалобы о сильном разбросе параметров и коротким сроком службы…. ООО «СОРЭНЖ» попыталось исправить ситуацию — доработав блок питания лампы «»ДРШ-350». Основное отличие от предыдущих версий — улучшенный момент поджига лампы.

Момент поджига лампы очень важный параметр – он сказывается на долговечности лампы. Начиная с шестой версии микропрограммного обеспечения предусмотрена возможность изменения напряжение поджига лампы. Благодаря этому, блок можно подстроить под любую лампу или пожелания оператора.

Скачать техническое описание Вы можете по ссылке: 

БПЛ-350v6Скачать

ПРЕДЛАГАЕМ ЗАМЕНУ ЛАМП «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500» НА ОСВЕТИТЕЛЬ НА ОСНОВЕ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО СВЕТОДИОДА !!! посмотреть здесь

Вверх
spacer