![«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»](http://soreng.ru/wp-content/uploads/2020/01/УТП.3-150-и-08ПХО-1.jpg)
МОДЕРНИЗАЦИЯ «УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»
«УТП.3-150/1-003» — установка индивидуального плазмохимического травления. «УТП.3-150/1-003» предназначена для процессов травления тонких диэлектрических и полупроводниковых слоев при поштучной обработке пластин диаметром до 150мм при изделий электронной промышленности производстве. «08ПХО-125/50-008» — установка индивидуальной плазмохимической и реактивно-ионной обработки. «08ПХО-125/50-008» предназначена для использования […]