«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»
Янв062020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»

«УТП.3-150/1-003» — установка индивидуального плазмохимического травления. «УТП.3-150/1-003» предназначена для процессов травления тонких диэлектрических и полупроводниковых слоев при поштучной обработке пластин диаметром до 150мм при изделий электронной промышленности производстве.

«08ПХО-125/50-008» — установка индивидуальной плазмохимической и реактивно-ионной обработки. «08ПХО-125/50-008» предназначена для использования в составе технологического оборудования при производстве изделий электронной промышленности в процессах травления тонких диэлектрических и полупроводниковых слоев при поштучной обработке пластин диаметром 76мм, 100мм и 125мм.

С целью модернизации системы управления установок плазмохимической обработки «УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008» , ООО «СОРЭНЖ» разработало и изготовило новую систему управления на замену использующихся блоков «ОРИОН-3» и «ОРИОН-4».

«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»
«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»
«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»
«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»

Новая система управления состоит из блока управления производства ООО «СОРЭНЖ», управляющего компьютера и собственного программного обеспечения.

БУ предназначен для замены управляющего комплекса «ОРИОН-3» / «ОРИОН-4» «разъем-в-разъем» и обеспечивает управление установкой плазмохимического травления «УТП.3-150/1-003» и установкой индивидуальной плазмохимической и реактивно-ионной обработки «08ПХО-125/50-008» во всех необходимых технологических режимах.

Новый БУ позволяет:

  • По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает выдачу заданного значения в виде аналогового сигнала с диапазоном 0…5В или 0…10В по 8-и независимым каналам.
  • По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает получение значений в виде аналогового сигнала с диапазоном 0…10В по 16-ти независимым каналам.
  • По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает управление 5*16 дискретными выходами с оптронной развязкой.
  • По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает получение значений по 5*16 дискретным входам с оптронной развязкой.
«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»
«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»«УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008»

На экране управляющего компьютера отображается текущее состояние всех необходимых устройств, заданный и фактический расход РРГ (в литр./час), показания вакуумметров (в Па), температура (в гр.Ц). В фоновом режиме пишуться графики по всем аналоговым сигналам. Графики и другая оперативная информация сохраняются в архив для последующего анализа…

Возможно формирование и хранение практически не ограниченного числа технологических процессов (рецептов)

Возможна разная глубина модернизации… Обращайтесь и мы постараемся ответить на Ваши вопросы.

Вверх
spacer