«УТП.3-150/1-003» — установка индивидуального плазмохимического травления. «УТП.3-150/1-003» предназначена для процессов травления тонких диэлектрических и полупроводниковых слоев при поштучной обработке пластин диаметром до 150мм при изделий электронной промышленности производстве.
«08ПХО-125/50-008» — установка индивидуальной плазмохимической и реактивно-ионной обработки. «08ПХО-125/50-008» предназначена для использования в составе технологического оборудования при производстве изделий электронной промышленности в процессах травления тонких диэлектрических и полупроводниковых слоев при поштучной обработке пластин диаметром 76мм, 100мм и 125мм.
С целью модернизации системы управления установок плазмохимической обработки «УТП.3-150/1-003» и «08ПХО-125/50-008» , ООО «СОРЭНЖ» разработало и изготовило новую систему управления на замену использующихся блоков «ОРИОН-3» и «ОРИОН-4».
Новая система управления состоит из блока управления производства ООО «СОРЭНЖ», управляющего компьютера и собственного программного обеспечения.
БУ предназначен для замены управляющего комплекса «ОРИОН-3» / «ОРИОН-4» «разъем-в-разъем» и обеспечивает управление установкой плазмохимического травления «УТП.3-150/1-003» и установкой индивидуальной плазмохимической и реактивно-ионной обработки «08ПХО-125/50-008» во всех необходимых технологических режимах.
Новый БУ позволяет:
- По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает выдачу заданного значения в виде аналогового сигнала с диапазоном 0…5В или 0…10В по 8-и независимым каналам.
- По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает получение значений в виде аналогового сигнала с диапазоном 0…10В по 16-ти независимым каналам.
- По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает управление 5*16 дискретными выходами с оптронной развязкой.
- По командам управляющего комплекса верхнего уровня, обеспечивает получение значений по 5*16 дискретным входам с оптронной развязкой.
На экране управляющего компьютера отображается текущее состояние всех необходимых устройств, заданный и фактический расход РРГ (в литр./час), показания вакуумметров (в Па), температура (в гр.Ц). В фоновом режиме пишуться графики по всем аналоговым сигналам. Графики и другая оперативная информация сохраняются в архив для последующего анализа…
Возможно формирование и хранение практически не ограниченного числа технологических процессов (рецептов)
Возможна разная глубина модернизации… Обращайтесь и мы постараемся ответить на Ваши вопросы.