МОДЕРНИЗАЦИЯ «ЭМ-5006» И «ЭМ-5006А»

Возможна поставка установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» с проведенным капитальным ремонтом и модернизацией.

Мы готовы предложить несколько вариантов модернизации и ремонта установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» и «ЭМ-5006А»:

1. Капитальный ремонт установки с модернизацией системы управления, экспонирования, пневмовакуумной системы

Для этого установка транспортируется к нам (на месте эту работу не сделать). Установка полностью разбирается, производится покраска элементов конструкции. Производится полный ремонт всех механических узлов, шлифовка или замена изношенных деталей. Производится замена панели клапанов на новую, собранную на основе импортных комплектующих. Все пневмовакуумные трубки меняются. Происходит замена блока подготовки воздуха на новый. По желанию заказчика осуществляем замену осветителя системы экспонирования на основе лампы ДРШ-350 на систему на основе ультрафиолетового светодиода или устанавливаем новый блок питания лампы ДРШ-350. Всю старую электронику (корзина с платами под установкой и пульт управления, справа на установке) выкидываем и устанавливаем современную систему управления.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 2 до 4 месяцев. Гарантия на поделанную работу — 1 год.

2. Модернизация системы управления (поставка)

Для выполнения этой работы доставка установки на нашу территорию не требуется. После подписания договора мы начинаем изготавливать новую систему управления и по готовности приезжаем к Вам.

Поставка включает в себя блок управления Установкой и персональный компьютер с тестово-наладочным программным обеспечением. Производится демонтаж старой системы управления, монтаж и наладка новой системы управления.

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006 представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это не только надежная работа и простота обслуживания, но и возможность быстрой перестройки оборудования под изменившиеся задачи Вашего производства. Именно возможность быстрой (и как следствие не дорогой) перенастройки Вашего оборудования дает Вам возможность легко адаптироваться под реалии современного рынка. Так, например: Ваше оборудование было подготовлено для работы на круглых, кремниевых пластинах и Вам поступает крупный заказ, но в качестве подложек выступают увы, прямоугольные пластины 60*48… Наше микропрограммное обеспечение позволит переделать все алгоритмы загрузки, выгрузки, калибровки, экспонирования  и т.д. в течение нескольких дней (в зависимости от поставленных Вами задач). При этом Вы не потеряете возможность в любой момент самостоятельно вернуться к старому варианту. Если быть точнее, то у Вас будет выбор режима работы как «раньше» или «по новому», или например «еще новее» и т.д.

Схемотехническое решение блока управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006 таково, что все входные и выходные цепи имеют гальваническую развязку. А все источники внутреннего электропитания, если не защищены активно то, как минимум, имеют в своей выходной цепи самовосстанавливающиеся предохранители. Как правило, любое внештатное внешнее воздействие, не приводит к трагическим (для блока управления)  результатам. И даже в самом крайнем случае, ремонт сводится к замене какой-либо оптопары, что может выполнить и наладчик с небольшим опытом или квалификацией.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 1 до 3 месяцев.

Гарантия на проделанную работу — 1 год.

3. Поставка осветителя системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода®

Для выполнения этой работы доставка установки на нашу территорию также не требуется. После подписания договора мы начинаем изготавливать новый осветитель и по готовности приезжаем к Вам.

В комплект поставки входит: Осветитель системы экспонирования, Блок управления осветителем, Станция водяного охлаждения.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

  • Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
  • Плавная регулировка мощности излучения.
  • Стабилизация по мощности светодиода.
  • Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В,  <15мА) или кнопкой.
  • Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
  • Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
  • Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
  • Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
  • Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

Мы готовы предоставить Вам на две недели осветитель системы экспонирования на основе УФ светодиодов для испытаний — БЕЗ ОПЛАТЫ! По истечении двух недель Вы или оплачиваете или возвращаете! 

Узнать более подробно про осветитель и посмотреть примеры можно пройдя по этой ссылке

...

Возможны и другие варианты, обращайтесь ….

Скачать краткий рекламный листок по модернизации установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5006», Вы можете по ссылке:

На этом видео показаны комментарии блока управления по ходу выполнения процесса (это видео одного из первых блоков…)

А здесь наглядно показан процесс выгрузки прямоугольной подложки в обратную сторону:

spacer