Целью модернизации установок осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150» является:
- Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
- Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
- Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
- Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
- Сокращения времени восстановления и ремонта.
- Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.
Как правило, модернизация установок
«ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4» проходит в два этапа:
1 – этап: Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 2 недель до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.
2 – этап: Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.
Модернизация проводится путем замены штатных блоков контроля температуры и управления нагревателями, загрузки, газовакуумного оборудования на их современные аналоги.
Предлагаемая система (СУ) обеспечивает управление всем технологическим циклом работы установки. При этом позволяет контролировать и управлять неограниченным количеством процессов на одном и том же канале.
В основную комплектацию Системы входит:
- Персональный компьютер с монитором (производства сторонних организаций) 1 компл.
- Программное обеспечение Системы управления установкой «ИЗОТРОН», (разработчик ООО «Сорэнж») 1 шт.
- Блок управления нагревательной камеры с комплектом кабелей для подключения к тиристорам, модулю «I-7018», термопарам, силовому магнитному пускателю, индикации выходной мощности (производства ООО «Сорэнж»), модуль «I-7018» (производства сторонних организаций) 3 компл.
- Блок управления системы загрузки (производства ООО «Сорэнж») 3 шт.
- Блок управления системой газораспределения с комплектом кабелей для подключения к РРГ, клапанам, датчикам, вакуумметру, вакуумному посту (производства ООО «Сорэнж») 3 компл.
Новая СУ заменяет старые блоки – «ПИ.ТРА»; «БУТ»; стойку управления, включая БУ «Орион»; блок управления загрузкой; источники питания и ключи «КТ-8», размещенные в «УГ- 9».
Предлагаемая комплектация предполагает сохранение следующих узлов без изменения: силовых трансформаторов, тиристоров, пускателей в системе нагрева. При необходимости, и по отдельной договоренности, возможна их замена.
В дополнительную комплектацию Системы могут входить:
1. Вакуумный пост (производства ООО «Сорэнж») 3 компл.
2. Вакуумметры, тип и производитель по Вашему выбору 3 шт.
С технической стороны, установки «Изотрон-3», «Изотрон-4» можно условно разделить на четыре системы: электропечь, газовакуумный шкаф, загрузчик, управляющая программа.
«БУН» (Блок управления нагревом производства ООО «Сорэнж») это современные блоки с цифровым управлением. Поддержание температуры с точностью до 0.3 градусов Цельсии. «БУН» имеет самотестирование, контролирует наличие связи с персональным компьютером и модулем ввода с термопары – безопасно остановит работу в случае зависания компьютера или выхода из строя модуля ввода с термопар. Распознает обрыв термопары и контролирует перегрев по внутренней уставке. «БУН» работает в паре с модулем ввода с термопар «I-7018R». «I7018R» устанавливается в непосредственной близости от термопар и преобразует сигнал термопары в цифровой код, который по промышленному, цифровому интерфейсу передается в «БУН», и далее транслируется в компьютер. Возможно подключение разных типов термопар (J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M) без изменения программного обеспечения. «I-7018R» имеет встроенный датчик для автоматической компенсации «холодных» концов термопары. Подключение ко всем исполнительным устройствам происходит с помощью кабелей входящих в комплект поставки. Обычно, старыми остаются силовые трансформаторы, тиристоры, пускатели, предохранители и силовая проводка. Вся проводка, касающаяся управления – новая.
В шкафу на месте старых источников питания и транзисторных ключей «КТ-8», располагаются новые блоки управления ГШ («БУГШ» производства ООО «Сорэнж»). В блоке расположены модули управления клапанами, ЦАП, АЦП. Также обеспечивается опрос датчиков, вакуумметров, управление работой вакуумного поста, вакуумным затвором и всем необходимым оборудованием. Модули имеют связь с персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485. Блоки и модули взаимозаменяемые, не зависимо от технологического процесса проводимого на данном канале. Существует резерв цифровых и аналоговых сигналов на случай нестандартного использования. Подключение к исполнительным устройствам провидится с помощью новых кабелей. Таким образом, вся проводка в газовом шкафу становиться новой.
Новый «БУЗ» (производства ООО «Сорэнж») работает в автоматическом режиме. Состояние всех датчиков, двигателей, режимов и функций индицируется на экране компьютера.
Скорость загрузки/выгрузки задается в технологическом процессе (рецепте).
Подключение нового блока управления загрузчиком осуществляется штатными разъемами установки.
Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти компьютера. Их количество практически не ограничено. Количество температурных полок также не ограничено. Предусмотрен вывод на полку за определенное время (по линейному закону). На мониторе ПК отображается заданная и фактическая температура по каждой из зон нагревателя, заданные и фактические расходы в л/час, состояние всех датчиков, клапанов, состояние модулей системы управления и т.д. Щелкая мышкой на клапан или РРГ возможно изменение состояния устройства. Помимо этого, отображаются графики по каждой из зон нагревателя, РРГ и значению давления. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению. Кроме того, предусмотрена архивация данных: все события технологического процесса, заданные и фактические параметры, действия оператора фиксируются и архивируются для дальнейшего анализа. Система обеспечивает постоянный контроль работоспособности модулей и блоков, а программное обеспечение включает в себя тестовые и наладочные компоненты.
Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установок «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150» , так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.
Скачать краткий рекламный листок по модернизации установок осаждения «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150», Вы можете по ссылке:
