modern_term

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ASM»

«ASM» — термические установки для различных процессов (термодиффузии, пирогенного окисления, осаждения и т.д.) на подложках диаметром до 200мм. Двух и четырех канальные…

ООО «СОРЭНЖ» выполняет модернизацию термических установок «ASM». В предложенном документе один из вариантов выполненной модернизации. Так как мы являемся и разработчиками и производителями, то готовы внести любые изменения в состав новой системы управления и адаптировать ее под Ваш технологический процесс.

СТОЙКА УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВОК ASM

Новая стойка управления включает в себя четыре компьютера с сенсорными мониторами для независимого управления каждым каналом.

Каждый компьютер (контроллер) канала обеспечивает автоматическое управление процессом в соответствии с загруженным рецептом, а также обеспечивает сбор данных и передачу их в супервизор, для последующего просмотра.

Контроллер канала обеспечивает автоматическое и ручное управление всеми имеющимися регуляторами расходов газов, вакуумом, температурой, генератором (при наличии), загрузчиком.

Контроллер канала обеспечивает автоматическую блокировку опасных состояний.

СИСТЕМА НАГРЕВА УСТАНОВОК ASM

Система нагрева обеспечивает работу с 5-ти точечной термопарой в реакторе и пятью термопарами в нагревателе.

Система нагрева обеспечивает регулирование подаваемой на нагреватель мощности в пяти зонах.

Система нагрева обеспечивает многоуровневый контроль состояния термопар, нагревателей, модулей управления и связи между ними.

Предусмотрена независимая блокировка по превышению заранее выбранной температуры по трем независимым термопарам с отключением питания нагревателей. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ ГАЗОВАКУУМНЫМ ОБОРУДОВАНИЕМ УСТАНОВОК ASM

СУ газовакуумным оборудованием установок «ASM» располагается на месте старых блоков управления и обеспечивает сбор данных с датчиков и  управление всеми РРГ, насосами, затворами, клапанами и т.д. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ ЗАГРУЗЧИКОМ УСТАНОВОК ASM

СУ загрузчиками установок «ASM» располагается на месте старых блоков управления и обеспечивает управление дверью и загрузчиком по трем координатам: X — загрузка/выгрузка, Z — вверх/вниз и Ph — наклон (компенсация пустой или загруженный) больше/меньше. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.

ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ УСТАНОВОК ASM

Язык интерфейса – Русский (при необходимости может быть другой).

На контроллере канала разделяется уровень доступа. Программное обеспечение контроллера канала обеспечивает оператору возможность выбора требуемого рецепта из списка рецептов, его запуска и контроль выполнения.

На дисплее отображаются заданные и текущие параметры технологического процесса, время и шаг рецепта. Отображаются графики всех основных параметров: температура, расходы газов, давление и т.д.

Более высокий уровень доступа разрешает изменять заданные значения параметров тех.процесса, управлять в ручном режиме различными устройствами.

Все заданные и текущие параметры тех.процесса, события и реакция оператора фиксируются и сохраняются для последующего анализа.

СУПЕРВИЗОР

Супервизор обеспечивает подготовку, редактирование и хранение рецептов процессов, сбор и хранение данных о ходе выполнения рецепта и их отображение. Супервизор обеспечивает ограничение доступа к редактированию рецепта и другим функциям посредством паролей.

Связь супервизора с контроллерами каналов осуществляется с помощью компьютерной сети ТСР/IР.

Срок выполнения работы — от 3 месяцев. Первые 2 — 2.5 месяца мы изготавливаем новую систему управления. Этот этап проходит нашими силами и на нашей территории. В это время Вы можете дорабатывать на установке. Далее около месяца занимает монтаж, наладка, обучение и сдача. Этот этап проходит на Вашей территории и совместно с Вашими специалистами

Предоставляется техническая документация (схемы, тех.описания и т.д.) на русском языке.

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установки «ASM», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

Скачать краткий рекламный листок по модернизации термических установок ASM, Вы можете по ссылке:

Скачать более подробный рекламный листок по модернизации термических установок ASM, Вы можете по ссылке:

spacer
СДОМ

МОДЕРНИЗАЦИЯ СД.ОМ-3/100

«СД.ОМ-3/100» —  система диффузионная однозонная многотрубная. Предназначена для различных процессов термодиффузии на подложках диаметром до 100 мм.

Целью модернизации установки «СДОМ» является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Как правило, модернизация установок СД.ОМ-3/100 проходит в два этапа:

1 – этап:         Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 1 недели до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.

2 – этап:         Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.

ЭЛЕКТРОПЕЧЬ

Было: БПРТ-3. Старые блоки с аналоговым управлением, в которых из-за старости высыхают электролиты и как следствие постоянно «уплывает» температура, нет повторяемости результатов. Для ремонта требуется специалисты.

Стало: Современные блоки с цифровым управлением. Поддержание температуры с точностью до 0.3 градусов Цельсии. БУН имеет самотестирование, контролирует наличие связи с персональным компьютером и модулем ввода с термопары – безопасно остановит работу в случае зависания компьютера или выхода из строя модуля ввода с термопар. Распознает обрыв термопары и контролирует перегрев по внутренней уставке.

Вид современных блоков управления нагревом термических установок (производство ООО «Сорэнж»)….


Графики температуры — время представлено в формате ЧЧ.ММ.СС, температура в градусах. На первой фотографии 0.5 градуса в клетке, на остальных 0.1 градус в клетке…

ГАЗОВЫЙ ШКАФ

Было:  Управление газовым шкафом осуществлялось с помощью программаторов ПВК.

Стало: Программаторы «ПВК» и «ИПП» — выкидываются вместе со стойкой. Источники питания, блок реле, блок вентиляторов и т.д. удаляются. Устанавливаются новые модули управления и необходимые источники питания. Модули располагаются в закрытом корпусе в газовом шкафу, там, где раньше находились источники питания. Модули имеют связь с персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485. Подключение к имеющимся РРГ, клапанам, ТХЭ и т.д. провидится с помощью новых кабелей.

Вид современных блоков управления газовым оборудованием установок «СДОМ-3/100» (производство ООО «Сорэнж»)….



Возможна замена газовых панелей под Ваш технологический процесс. Вы можете выбрать тип и количество РРГ, клапанов и т.д. Нарисовать желаемую схему… Возможна замена газового шкафа целиком.

ЗАГРУЗЧИК

Как и в случае с системой нагрева — удаляем родные блоки управления загрузкой.

Новый БУЗ работает в режимах:

  • автоматическом режиме т.е. по командам от компьютера.
  • полуавтоматическом — по командам оператора выполняет полный цикл операций «Загрузка», «Выгрузка».

Состояние всех датчиков, двигателей, режимов и функций индицируется на экране компьютера.

Одной из отличительных характеристик нового БУЗ-а является возможность изменения алгоритмов загрузки, выгрузки и осцилляции по желанию заказчика. Например, некоторые заказчики предпочитают однократное шевеление лодочки раз в минуту мотивируя это тем, что грязи меньше, другие предпочитают постоянное. Кто-то вообще не хочет шевелить лодочку во время процесса, но при выгрузке просит сначала чуть двинуться в сторону загрузки, а уж потом выгружать и т.д., и т.п.

УПРАВЛЯЮЩАЯ ПРОГРАММА

Программа имеет разделение доступа: «Технолог», «Наладчик», «Оператор».

На мониторе персонального компьютера отображается заданная и фактическая температура по каждой из зон нагревателя, заданные и фактические расходы газов в л./час, состояние клапанов, датчиков и т.д. Щелкая мышкой на клапан или РРГ возможно изменение состояние устройства (при условии наличия доступа).

Помимо этого, отображаются графики по каждой из зон нагревателя. Это очень удобно, так как всегда видно, как менялась температура во время процесса. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению.

Так же отображаются графики по каждому РРГ — всегда видно, как менялся расход во время процесса.

Все события, заданная и фактическая температура, расходы газов, аварии и реакции оператора сохраняются в архив для последующего анализа.

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установки «СД.ОМ-3/100», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

Скачать рекламный листок по модернизации СД.ОМ-3/100 Вы можете по ссылке:

spacer

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ИЗОТРОН-3» и «ИЗОТРОН-4»

Целью модернизации установок осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150»  является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Как правило, модернизация установок 
«ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4» проходит в два этапа:

1 – этап:         Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 2 недель до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.

2 – этап:         Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.

Модернизация проводится путем замены штатных блоков контроля температуры и управления нагревателями, загрузки, газовакуумного оборудования на их современные аналоги.

Предлагаемая система (СУ) обеспечивает управление всем технологическим циклом работы установки. При этом позволяет контролировать и управлять неограниченным количеством процессов на одном и том же канале.

В основную комплектацию Системы входит:

  1. Персональный компьютер с монитором (производства сторонних организаций) 1 компл.
  2. Программное обеспечение Системы управления установкой «ИЗОТРОН», (разработчик ООО «Сорэнж») 1 шт.
  3. Блок управления нагревательной камеры с комплектом кабелей для подключения к тиристорам, модулю «I-7018», термопарам, силовому магнитному пускателю, индикации выходной мощности (производства ООО «Сорэнж»), модуль «I-7018» (производства сторонних организаций) 3 компл.
  4. Блок управления системы загрузки (производства ООО «Сорэнж») 3 шт.
  5. Блок управления системой газораспределения с комплектом кабелей для подключения к РРГ, клапанам, датчикам, вакуумметру, вакуумному посту (производства ООО «Сорэнж») 3 компл.

Новая СУ заменяет старые блоки – «ПИ.ТРА»; «БУТ»; стойку управления, включая БУ «Орион»; блок управления загрузкой; источники питания и ключи «КТ-8», размещенные в «УГ- 9».

Предлагаемая комплектация предполагает сохранение следующих узлов без изменения: силовых трансформаторов, тиристоров, пускателей в системе нагрева. При необходимости, и по отдельной договоренности, возможна их замена.

В дополнительную комплектацию Системы могут входить: 
1. Вакуумный пост (производства ООО «Сорэнж») 3 компл. 
2. Вакуумметры, тип и производитель по Вашему выбору 3 шт.

С технической стороны, установки «Изотрон-3», «Изотрон-4» можно условно разделить на четыре системы: электропечь, газовакуумный шкаф, загрузчик, управляющая программа.

1. ЭЛЕКТРОПЕЧЬ

«БУН» (Блок управления нагревом производства ООО «Сорэнж») это современные блоки с цифровым управлением. Поддержание температуры с точностью до 0.3 градусов Цельсии. «БУН» имеет самотестирование, контролирует наличие связи с персональным компьютером и модулем ввода с термопары – безопасно остановит работу в случае зависания компьютера или выхода из строя модуля ввода с термопар. Распознает обрыв термопары и контролирует перегрев по внутренней уставке. «БУН» работает в паре с модулем ввода с термопар «I-7018R». «I7018R» устанавливается в непосредственной близости от термопар и преобразует сигнал термопары в цифровой код, который по промышленному, цифровому интерфейсу передается в «БУН», и далее транслируется в компьютер. Возможно подключение разных типов термопар (J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M) без изменения программного обеспечения. «I-7018R» имеет встроенный датчик для автоматической компенсации «холодных» концов термопары. Подключение ко всем исполнительным устройствам происходит с помощью кабелей входящих в комплект поставки. Обычно, старыми остаются силовые трансформаторы, тиристоры, пускатели, предохранители и силовая проводка. Вся проводка, касающаяся управления – новая.


2. ГАЗОВАКУУМНЫЙ ШКАФ

В шкафу на месте старых источников питания и транзисторных ключей «КТ-8», располагаются новые блоки управления ГШ («БУГШ» производства ООО «Сорэнж»). В блоке расположены модули управления клапанами, ЦАП, АЦП. Также обеспечивается опрос датчиков, вакуумметров, управление работой вакуумного поста, вакуумным затвором и всем необходимым оборудованием. Модули имеют связь с персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485. Блоки и модули взаимозаменяемые, не зависимо от технологического процесса проводимого на данном канале. Существует резерв цифровых и аналоговых сигналов на случай нестандартного использования. Подключение к исполнительным устройствам провидится с помощью новых кабелей. Таким образом, вся проводка в газовом шкафу становиться новой.

3. ЗАГРУЗЧИК

Новый «БУЗ» (производства ООО «Сорэнж») работает в автоматическом режиме. Состояние всех датчиков, двигателей, режимов и функций индицируется на экране компьютера.

Скорость загрузки/выгрузки задается в технологическом процессе (рецепте).

Подключение нового блока управления загрузчиком осуществляется штатными разъемами установки.

4. УПРАВЛЯЮЩАЯ ПРОГРАММА

Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти компьютера. Их количество практически не ограничено. Количество температурных полок также не ограничено. Предусмотрен вывод на полку за определенное время (по линейному закону). На мониторе ПК отображается заданная и фактическая температура по каждой из зон нагревателя, заданные и фактические расходы в л/час, состояние всех датчиков, клапанов, состояние модулей системы управления и т.д. Щелкая мышкой на клапан или РРГ возможно изменение состояния устройства. Помимо этого, отображаются графики по каждой из зон нагревателя, РРГ и значению давления. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению. Кроме того, предусмотрена архивация данных: все события технологического процесса, заданные и фактические параметры, действия оператора фиксируются и архивируются для дальнейшего анализа. Система обеспечивает постоянный контроль работоспособности модулей и блоков, а программное обеспечение включает в себя тестовые и наладочные компоненты.

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установок «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150» , так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

Скачать краткий рекламный листок по модернизации установок осаждения «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150», Вы можете по ссылке:

spacer

Модернизация «ОКСИД-3Д» и «ОКСИД-3ПО»

Целью модернизации установок «ОКСИД-3Д» (для процессов термодиффузии) и «ОКСИД-3ПО» (для процессов окисления с пирогенным формированием пара) является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Как правило, модернизация установок
«ОКСИД» проходит в два этапа:1 – этап: Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 2 недель до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.
2 – этап: Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.

Заголовок блока

Устанавливаем современные блоки управления нагревом с цифровым управлением. Поддержание температуры с точностью до 0.4 градусов Цельсии. БУН имеет самотестирование, контролирует наличие связи с персональным компьютером и модулем ввода с термопары – безопасно остановит работу в случае зависания компьютера или выхода из строя модуля ввода с термопар. Распознает обрыв термопары и контролирует перегрев по внутренней уставке.

«I-7018» Современный модуль ввода с термопар. Устанавливается в непосредственной близости от термопар и преобразует сигнал термопары в цифровой код, который по промышленному интерфейсу передается в БУН и далее транслируется в компьютер. Возможно подключение разных типов термопар (J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M) без изменения программного обеспечения. Имеет встроенный датчик для автоматической компенсации «холодных» концов термопары.

Старыми остаются трансформаторы, тиристоры, пускатели, предохранители и силовая проводка. Вся проводка, касающаяся управления – новая.

Из термопар стоящих на нагревателе остаются только три. При необходимости дополнительной (независимой) системы защиты по перегреву оставляем ещё три термопары и устанавливаем блок контроля. Возможно подключение в систему управления реакторных термопар.

ГАЗОВЫЙ ШКАФ установок «ОКСИД-3Д» и «ОКСИД-3ПО» :

Возможно оставить Ваш газовый шкаф или изготовить новый. Газовые панели изготавливаются по заданию заказчика. Газоанализаторы могут быть установлены по отдельной договоренности.

Устанавливаются новые блоки управления и необходимые источники питания. Блоки управления располагаются в закрытом корпусе в газовом шкафу. Модули имеют связь с персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485. Подключение к имеющимся РРГ, клапанам и т.д. провидится с помощью новых кабелей.

Устанавливаются блоки управления газовой горелки. В них осуществляется контроль температуры спирали газовой горелки, управление расходами газов и клапанами. Газовая горелка и ее оснастка предоставляется заказчиком.

ЗАГРУЗЧИК установок«ОКСИД-3Д» и «ОКСИД-3ПО» :

Новый БУЗ работает в режимах:

  • автоматическом режиме т.е. по командам от компьютера.
  • полуавтоматическом — по командам оператора выполняет полный цикл операций «Загрузка», «Выгрузка».

Состояние всех датчиков и двигателя, режимов и функций индицируется на экране компьютера.

Устанавливается на месте старого блока управления загрузкой.

УПРАВЛЯЮЩАЯ ПРОГРАММА установок «ОКСИД-3Д» и «ОКСИД-3ПО» :

Старая стойка с БУ «ОРИОН» удаляется.
Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти компьютера. Их количество практически не ограничено. Количество температурных полок также не ограничено. Предусмотрен вывод на полку за определенное время (по линейному закону). На мониторе ПК отображается заданная и фактическая температура по каждой из зон нагревателя, заданные и фактические расходы в л/час, состояние всех датчиков, клапанов, состояние модулей системы управления и т.д. Щелкая мышкой на клапан или РРГ возможно изменение состояния устройства. Помимо этого, отображаются графики по каждой из зон нагревателя, РРГ и значению давления. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению. Кроме того, предусмотрена архивация данных: все события технологического процесса, заданные и фактические параметры, действия оператора фиксируются и архивируются для дальнейшего анализа. Система обеспечивает постоянный контроль работоспособности модулей и блоков, а программное обеспечение включает в себя тестовые и наладочные компоненты.

Программа имеет разделение доступа: «Технолог», «Наладчик», «Оператор».

Возможны и другие варианты модернизации установки термодиффузии «ОКСИД-3Д» и пирогенного окисления «ОКСИД-3ПО»

Скачать краткий рекламный листок по модернизации термических установок «ОКСИД», Вы можете по ссылке:

spacer

Модернизация «HCVD-55» / «HCVD-52»

«HCVD-55» предназначена для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении. Целью модернизации установки «HCVD-55» является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Возможны разные варианты модернизаций установок «HCVD-55». Мы готовы предложить Вам новые системы управления нагревом, загрузкой, газо-вакуумным оборудованием и т.д. Рассмотрим некоторые варианты более подробно :

Модернизация системы управления нагревом установки «HCVD-55»:

Удаляем всю электронику связанную с системой  нагрева. Устанавливаем современные блоки управления нагревом. Эти блоки собирают данные о температуре в цифровом виде с модуля ввода сигналов термопар и выполняют фазовое управление тиристорами в системе питания нагревателей по всем трем зонам. термопары, силовые тиристоры, трансформаторы остаются прежние …

Небольшую переделку потребует панель с пускателями…Устанавливаем модули ввода сигналов термопар I-7018 рядом с термопарами.

Этот модуль удобен тем, что к нему могут быть подключены термопары разных типов:  J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M
I-7018 имеет внутренний датчик температуры для компенсации холодных концов термопары.

Связь с БУН-ом осуществляется по цифровому, защищенному промышленному интерфейсу RS-485, что гарантирует отсутствие помех при передаче данных. БУН-ы имеют независимую защиту по перегреву, по обрыву термопары, по отсутствии связи с модулем ввода сигналов термопар I-7018 и потере связи с управляющим комплексом верхнего уровня.

Модернизация газо-вакуумного оборудования установки «HCVD-55»:

Для управления регуляторами расхода газа (РРГ) и клапанами в шкафу разместили модули дискретного и аналогового ввода/вывода. Эти модули управляются персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485.

Аналогичные модули установлены и здесь… Они служат для управления клапанами откачки, напуска и т.д., сбора данных с различных датчиков, управлением РРГ поддержания заданного давления и многое другое…

Модернизация системы загрузки установки «HCVD-55»:

Как и в случае с системой нагрева — удаляем ненужное — целиком шкаф с модулями управления загрузчиками  и переукладчиком. Остаются только сами механизмы, двигатели и датчики. Так же остаются пневмоклапаны управления заслонкой.

Новая система управления процессами загрузки/выгрузки осуществляет управление в автоматическом и ручном режимах.

Автоматический режим позволяет осуществлять:  Полный цикл загрузки с заданной скоростью по команде от управляющего комплекса верхнего уровня; Полный цикл выгрузки с заданной скоростью по команде от управляющего комплекса верхнего уровня.

Ручной режим – возможность управления любым исполнительным механизмом загрузчика в любую сторону, в любое время с персонального компьютера. Причем после вмешательства оператора есть возможность продолжить выполнение операции в автоматическом режиме.

Модуль управления переукладчиком представляет из себя печатную плату размером 160 х 100 мм. и устанавливается непосредственно в штатном ящике где расположен двигатель и редуктор переукладчика.

Три модуля управления загрузчиком, каждый из которых представляет собой печатную плату размером 160 х 100 мм.  устанавливаются непосредственно на установке, внизу, под загрузчиками.

Программное обеспечение:

Преимуществами новой системы управления являются: 
— Графическое отображение температуры, расходов газа, давления и т.д. с возможностью масштабирования по времени и значению.
— Наглядное отображение газо-вакуумной схемы на экране монитора с отображением фактического значения расходов, давлений, состояния клапанов и т.д.
— Возможность прервать цикл загрузки или выгрузки в любой момент, сделать обратное движение и затем продолжить с текущего места.
— Описание технологического процесса (рецепта) происходит с помощью стандартных (для этой системы) функций (LVAC и т.д.). Это позволяет технологам быстрее привыкнуть к новой системе. В программе предусмотрена возможность перейти на русский или английский язык. Это позволяет технологам описывать тех. процесс в доступной форме (без запоминания сокращений немецкого языка) 
— Сбор и архивирование всех данных и всех событий, происходящих во время выполнения технологического процесса.

Возможны и другие варианты модернизации установки осаждения слоев «HCVD-55» …

Скачать краткий рекламный листок по модернизации термических установок HCVD, Вы можете по ссылке:

spacer

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ОКТАВА»

Целью модернизации установки пирогенного окисления «ОКТАВА» является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Как правило, модернизация установок 
«ОКТАВА » проходит в два этапа: 1 – этап: Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 2 недель до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.
2 – этап: Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.

ЭЛЕКТРОПЕЧЬ

Электропечь установки «Октава» аналогична электропечи установки «СДОМ». Посмотреть подробно про модернизацию электропечи установки «СД.ОМ-3/100» можно пройдя по ссылке: СД.ОМ-3/100

ГАЗОВЫЙ ШКАФ

Газовый шкаф установки «Октава» подобен газовому шкафу установки «Оксид». Посмотреть подробно про модернизацию установки «Оксид» можно пройдя по ссылке: Оксид

ЗАГРУЗЧИК

Загрузчик установки «Октава» аналогичен загрузчику установки «СДОМ-3/100». Посмотреть подробно про модернизацию установки «СД.ОМ-3/100» можно пройдя по ссылке: СД.ОМ-3/100

spacer