«ASM» — термические установки для различных процессов (термодиффузии, пирогенного окисления, осаждения и т.д.) на подложках диаметром до 200мм. Двух и четырех канальные…
ООО «СОРЭНЖ» выполняет модернизацию термических установок «ASM». В предложенном документе один из вариантов выполненной модернизации. Так как мы являемся и разработчиками и производителями, то готовы внести любые изменения в состав новой системы управления и адаптировать ее под Ваш технологический процесс.
Новая стойка управления включает в себя четыре компьютера с сенсорными мониторами для независимого управления каждым каналом.
Каждый компьютер (контроллер) канала обеспечивает автоматическое управление процессом в соответствии с загруженным рецептом, а также обеспечивает сбор данных и передачу их в супервизор, для последующего просмотра.
Контроллер канала обеспечивает автоматическое и ручное управление всеми имеющимися регуляторами расходов газов, вакуумом, температурой, генератором (при наличии), загрузчиком.
Контроллер канала обеспечивает автоматическую блокировку опасных состояний.
Система нагрева обеспечивает работу с 5-ти точечной термопарой в реакторе и пятью термопарами в нагревателе.
Система нагрева обеспечивает регулирование подаваемой на нагреватель мощности в пяти зонах.
Система нагрева обеспечивает многоуровневый контроль состояния термопар, нагревателей, модулей управления и связи между ними.
Предусмотрена независимая блокировка по превышению заранее выбранной температуры по трем независимым термопарам с отключением питания нагревателей. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.
СУ газовакуумным оборудованием установок «ASM» располагается на месте старых блоков управления и обеспечивает сбор данных с датчиков и управление всеми РРГ, насосами, затворами, клапанами и т.д. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.
СУ загрузчиками установок «ASM» располагается на месте старых блоков управления и обеспечивает управление дверью и загрузчиком по трем координатам: X — загрузка/выгрузка, Z — вверх/вниз и Ph — наклон (компенсация пустой или загруженный) больше/меньше. Связь с контроллером канала осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.
Язык интерфейса – Русский (при необходимости может быть другой).
На контроллере канала разделяется уровень доступа. Программное обеспечение контроллера канала обеспечивает оператору возможность выбора требуемого рецепта из списка рецептов, его запуска и контроль выполнения.
На дисплее отображаются заданные и текущие параметры технологического процесса, время и шаг рецепта. Отображаются графики всех основных параметров: температура, расходы газов, давление и т.д.
Более высокий уровень доступа разрешает изменять заданные значения параметров тех.процесса, управлять в ручном режиме различными устройствами.
Все заданные и текущие параметры тех.процесса, события и реакция оператора фиксируются и сохраняются для последующего анализа.
Супервизор обеспечивает подготовку, редактирование и хранение рецептов процессов, сбор и хранение данных о ходе выполнения рецепта и их отображение. Супервизор обеспечивает ограничение доступа к редактированию рецепта и другим функциям посредством паролей.
Связь супервизора с контроллерами каналов осуществляется с помощью компьютерной сети ТСР/IР.
Срок выполнения работы — от 3 месяцев. Первые 2 — 2.5 месяца мы изготавливаем новую систему управления. Этот этап проходит нашими силами и на нашей территории. В это время Вы можете дорабатывать на установке. Далее около месяца занимает монтаж, наладка, обучение и сдача. Этот этап проходит на Вашей территории и совместно с Вашими специалистами
Предоставляется техническая документация (схемы, тех.описания и т.д.) на русском языке.
Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установки «ASM», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.
Скачать краткий рекламный листок по модернизации термических установок ASM, Вы можете по ссылке:
Скачать более подробный рекламный листок по модернизации термических установок ASM, Вы можете по ссылке:
