«HCVD-55» предназначена для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении. Целью модернизации установки «HCVD-55» является:
- Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
- Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
- Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
- Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
- Сокращения времени восстановления и ремонта.
- Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.
Возможны разные варианты модернизаций установок «HCVD-55». Мы готовы предложить Вам новые системы управления нагревом, загрузкой, газо-вакуумным оборудованием и т.д. Рассмотрим некоторые варианты более подробно :
Удаляем всю электронику связанную с системой нагрева. Устанавливаем современные блоки управления нагревом. Эти блоки собирают данные о температуре в цифровом виде с модуля ввода сигналов термопар и выполняют фазовое управление тиристорами в системе питания нагревателей по всем трем зонам. термопары, силовые тиристоры, трансформаторы остаются прежние …
Небольшую переделку потребует панель с пускателями…Устанавливаем модули ввода сигналов термопар I-7018 рядом с термопарами.
Этот модуль удобен тем, что к нему могут быть подключены термопары разных типов: J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M
I-7018 имеет внутренний датчик температуры для компенсации холодных концов термопары.
Связь с БУН-ом осуществляется по цифровому, защищенному промышленному интерфейсу RS-485, что гарантирует отсутствие помех при передаче данных. БУН-ы имеют независимую защиту по перегреву, по обрыву термопары, по отсутствии связи с модулем ввода сигналов термопар I-7018 и потере связи с управляющим комплексом верхнего уровня.
Для управления регуляторами расхода газа (РРГ) и клапанами в шкафу разместили модули дискретного и аналогового ввода/вывода. Эти модули управляются персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485.
Аналогичные модули установлены и здесь… Они служат для управления клапанами откачки, напуска и т.д., сбора данных с различных датчиков, управлением РРГ поддержания заданного давления и многое другое…
Как и в случае с системой нагрева — удаляем ненужное — целиком шкаф с модулями управления загрузчиками и переукладчиком. Остаются только сами механизмы, двигатели и датчики. Так же остаются пневмоклапаны управления заслонкой.
Новая система управления процессами загрузки/выгрузки осуществляет управление в автоматическом и ручном режимах.
Автоматический режим позволяет осуществлять: Полный цикл загрузки с заданной скоростью по команде от управляющего комплекса верхнего уровня; Полный цикл выгрузки с заданной скоростью по команде от управляющего комплекса верхнего уровня.
Ручной режим – возможность управления любым исполнительным механизмом загрузчика в любую сторону, в любое время с персонального компьютера. Причем после вмешательства оператора есть возможность продолжить выполнение операции в автоматическом режиме.
Модуль управления переукладчиком представляет из себя печатную плату размером 160 х 100 мм. и устанавливается непосредственно в штатном ящике где расположен двигатель и редуктор переукладчика.
Три модуля управления загрузчиком, каждый из которых представляет собой печатную плату размером 160 х 100 мм. устанавливаются непосредственно на установке, внизу, под загрузчиками.
Преимуществами новой системы управления являются:
— Графическое отображение температуры, расходов газа, давления и т.д. с возможностью масштабирования по времени и значению.
— Наглядное отображение газо-вакуумной схемы на экране монитора с отображением фактического значения расходов, давлений, состояния клапанов и т.д.
— Возможность прервать цикл загрузки или выгрузки в любой момент, сделать обратное движение и затем продолжить с текущего места.
— Описание технологического процесса (рецепта) происходит с помощью стандартных (для этой системы) функций (LVAC и т.д.). Это позволяет технологам быстрее привыкнуть к новой системе. В программе предусмотрена возможность перейти на русский или английский язык. Это позволяет технологам описывать тех. процесс в доступной форме (без запоминания сокращений немецкого языка)
— Сбор и архивирование всех данных и всех событий, происходящих во время выполнения технологического процесса.
Возможны и другие варианты модернизации установки осаждения слоев «HCVD-55» …
Скачать краткий рекламный листок по модернизации термических установок HCVD, Вы можете по ссылке:
