Архивы

Сен162021

Кантилеверы для атомно-силовой микроскопии

Высокоразрешающие кантилеверы (полностью производимые в России), изготовляемые из монокристаллического кремния предназначены для бесконтактного, полуконтактного и контактного режима сканирования АСМ. Кантилеверы являются аналогами зарубежных моделей — NSG01, NSG10, NSG03, NSG30, CSG01, CSG10, CSG30.

Основание кантилевера

Материал: монокристаллический кремний n‑типа с объемным сопротивлением 0,003 Ом*см, легированный фосфором
Стандартный размер основания: 1,6х3,4х0,5 мм
Основание трапециевидное в поперечном сечении (см. рисунок)
Основание совместимо с основными коммерческими образцами атомно–силовых микроскопов
Базовый кремний высоко легирован во избежание электростатического заряда.

Консоль

Прямоугольной формы
Длина, ширина и толщина консоли задается спецификацией на зонд
Пригодна для использования в контактном, полуконтактном и бесконтактном методе измерений
Основание иглы находится на контролируемом расстоянии 10-15 мкм от свободного конца консоли
Обратная сторона консоли покрыта высокоотражающим слоем алюминия (отражающая способность в 2-3 раза лучше в сравнении с зондом без покрытия)

Игла (острие)

Форма иглы конусообразная
Высота иглы 11 — 15 мкм
Гарантированный радиус острия иглы 10 нм
Смещение основания иглы от свободного края консоли 10-15 мкм

Цены отечественных кантилеверов значительно меньше зарубежных аналогов. Возможны варианты с алюминиевым Al отражающим покрытием на обратной стороне консоли и без отражающего покрытия. Зонды упаковываются в специальные контейнеры «GelPak» по 15 штук и по 50 штук.

Примеры АСМ-изображений, измеренными кантилеверами Изготовленные кантилеверы тестировались на атомно-силовом микроскопе P47 (компании NT-MDT). На рисунках показаны примеры измеренных АСМ-изображений пленки кремния HSG-Si, состоящей из зерен нанометрового размера и различных калибровочных решеток TGZ и TGT для оценки характеристик зонда.

Качество получаемых АСМ-изображений при помощи данных кантилеверов такое же как и при использовании импортных кремниевых кантилеверов (например от компании Nanosensors или AppNano).

Скачать католог кантилеверов Вы можете по ссылке:

23-06-2021_Каталог_кантилеверов_v3 Скачать

Задать вопросы и узнать стоимость кантилеверов Вы можете написав на электронную почту:
n o v a k @ a n g s t r e m . r u

Апр182021

«БП-400» — Блок питания ламп «ДРШ-250» и «ДРШ-350»

Блок питания «БП-400» выпущен на замену блока питания «БПл-350» и предназначен для питания ламп «ДРШ-250» и «ДРШ-350» различных модификаций.

БП-400

Основные отличия «БП-400» от предыдущих версий это:

Улучшение показателей надежности .
Улучшенный момент поджига лампы и выход на режим, теперь лампа поджигается стабильней.
Улучшена схемотехника блока, что отразилось на более качественном управлении и соответственно на стабилизации режима горения лампы.

Основные технические параметры блока питания «БП-400»:

Выходная мощность – не более 400Вт. Задается в цифровом виде с шагом 1Вт.
Точность поддержания – не хуже 2%.
Максимальный ток – не более 10А
Регулировка «холодного» тока лампы в диапазоне 0…9А
Регулировка напряжения «поджига» лампы
Защита по току, перенапряжению, мощности.
Питание 220В, 50Гц.
Габаритные размеры (Д/Ш/В) мм. : 510 / 265 / 180

В последнее время достать хорошие лампы «ДРШ-350» стало проблемой. Старые запасы заканчиваюся… На новые лампы часто поступают жалобы о сильном разбросе параметров и коротким сроком службы…. ООО «СОРЭНЖ» попыталось исправить ситуацию — снабдив блок питания «БП-400» возможностью ограничить «холодный» ток лампы и возможность регулировки напряжения «поджига» лампы.

Момент поджига лампы очень важный параметр – он сказывается на долговечности лампы. Благодаря этому, блок можно подстроить под любую лампу или пожелания оператора.

Скачать техническое описание Вы можете по ссылке:

ПРЕДЛАГАЕМ ЗАМЕНУ ЛАМП «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500» НА ОСВЕТИТЕЛЬ НА ОСНОВЕ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО СВЕТОДИОДА !!! посмотреть здесь

Вверх

Фев092020

«ФОТОН»-УСТАНОВКА ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

Установка выращивания монокристаллов из расплава по методу Чохральского — «ФОТОН»

С целью модернизации, в ООО «СОРЭНЖ» разработана и произведена система управления для установки выращивания монокристаллов из расплава по методу Чохральского.

Основные технические характеристики системы управления:

Блоки управления двумя резистивными нагревателями 50Вх1000А и 30Вх1000А :

Включение и выключение силовых пускателей системы нагрева.
Фазовое управление силовыми тиристорами в диапазоне 5…95%
Диапазон открытия силовых тиристоров 0…65535 условных единиц.
Сбор данных с модуля ввода сигналов термопар осуществляется посредством промышленного интерфейса RS-485.
Аварийное отключение питания нагревателя при превышении уставки по току и/или температуре.
Аварийное отключение питания нагревателя при коротком замыкании на корпус.
Аварийное отключение питания нагревателя при обрыве связи с управляющем компьютером верхнего уровня.
Аварийное отключение питания нагревателя при срабатывании датчиков наличия водяного охлаждения.
Режим управления по мощности или по температуре. Управление по мощности и температуре осуществляется в двух режимах — ручном и автоматическом. В ручном режиме задаётся исходная мощность (температура) и скорость её изменения в относительных единицах (градусах в час). В автоматическом режиме мощность (температура) задаются таблично в виде кусочно-линейных графиков от времени (не менее 50 сегментов). Переход от управления по мощности на температуру (и обратно) осуществляется безударно по заданию в таблице. Суммарная длительность заданных по таблице графиков – до 720 часов.

В режиме управления по мощности:

Дискретность задания по мощности – 1 Вт.
Диапазон управления – 50…50000 Вт.
Диапазон заданных скоростей изменения мощности — ±(5…3000000) Вт/час
Источники сигналов для управления по мощности:Датчики тока — шунт. Диапазон измерения тока в пределах 0…1000А. Датчики напряжения — напряжение на токовводах камеры. Диапазон измерения напряжения в пределах 0…50В. Диапазон измерения мощности в пределах 0…50`000Вт
Точность стабилизации мощности — ±10 Вт

В режиме управления по температуре:

Дискретность задания по температуре – 0.1 гр.Ц.
Диапазон измерения – в зависимости от выбранного типа термопар (200…1600) гр.Ц.
Диапазон заданных скоростей изменения температуры — ±(0.1…2000) К/час
Источники сигналов для управления по мощности — стандартные термопары типа ХК, ХА, ПП, ПР,ВР
Дискретность измерения температуры – 0.1 гр.Ц. с последующей математической обработкой до 0.01 гр.Ц.
Среднеквадратическое отклонение температуры в точке измерения в диапазоне температур (200 – 1600) ºС не хуже – 0,2 гр.Ц
Коэффициенты закона управления температурой доступны технологу. Предусмотрена возможность задания коэффициентов закона управления в зависимости от знака отклонения температуры от заданной и для каждого временного интервала.
Для настройки коэффициентов закона управления предусмотрена возможность визуализации реальной и заданной температуры во времени с подстройкой масштаба изображения по осям Т и t.

2. Система управления располагается в новой 19” стойке. В стойке располагаются:

Персональный компьютер с монитором и клавиатурой. Программное обеспечение позволяет проводить технологический процесс в ручном и автоматическом режимах. При этом в ручном режиме задание всех текущих технологических параметров производится оператором в реальном времени в соответствующих окнах страницы на дисплее. В автоматическом режиме все значения управляемых параметров задаются таблично в виде кусочно-линейных графиков от времени. Предусматривается возможность перехода с ручного режима на автоматический (и обратно). При переходе с режима на режим последние реальные значения должны становиться исходными для последующего режима. Остальные параметры вносятся оператором. Таблица параметров в автоматическом режиме должна быть заполнена заранее. Программное обеспечение позволяет вести архив заданных и фактических параметров технологического процесса, событий системы управления и реакций оператора. Связь персонального компьютера с блоками системы управления происходит посредством промышленного интерфейса RS-485.
Блоки управления приводами верхнего и нижнего штоков. Управление приводами осуществляется в двух режимах — ручном и автоматическом. В ручном режиме задаётся исходная скорость в относительных единицах. В автоматическом режиме скорость задается таблично в виде кусочно-линейных графиков от времени (не менее 50 сегментов).
- тактовая частота 600 Гц соответствует скорости 50 мм/час
- скорость перемещения 0,1 – 50 мм/час
- дискретность задания скорости – 0,1 мм/час
- реверс перемещения, концевые выключатели, электромагнитная муфта.
- скорость перемещения – 50 мм/мин.
- реверс перемещения, концевые выключатели, электромагнитная муфта.
- диапазон скоростей вращения (1 – 40) об/мин,
- точность стабилизации вращения ±2%,
- дискретность задания скорости вращения – 0.1 об/мин,
- реверс вращения.Блок управления процессом
Блок управления процессом: Обеспечивает ввод данных с 16-ти датчиков протока воды, отображение основных элементов прохождения технологического процесса.

Возможно изготовление любых подобных систем по техническому заданию заказчика.

Вверх

Скачать рекламный листок по модернизации установки выращивания монокристаллов из расплава по методу Чохральского — «ФОТОН» в формате .pdf Вы можете по ссылке:

Модерн.Фотон_2020 Скачать

Вверх

Фев092020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ВУП-5» «ВУП-5М»

Модернизация вакуумных постов «ВУП-5» и «ВУП-5М» может происходить в разных вариантах.

ООО «СОРЭНЖ» произвело модернизацию вакуумных универсальных постов «ВУП-5» и «ВУП-5М». В этих работах модернизация системы управления вакуумных постов сводиться к замене всей электроники, проводки и т.д.

(Фотографии носят ознакомительный характер и внешний вид системы управления может отличаться в зависимости от Ваших требований )

Новая система управления вакуумного поста состоит из:

Персонального компьютера с программным обеспечением разработанным ООО «Сорэнж»
Блока управления процессом (производство ООО «Сорэнж»). Блок управления предназначен для управления вакуумной системой, заслонками, вращением рабочего столика, поддержанием температуры рабочего столика.
Блока управления испарителями (производство ООО «Сорэнж»). Одноканальный блок управления испарителем с возможность коммутации на четыре мишени. Блок обеспечивает автоматическое поддержание мощности испарителя.
Вакуумметры

Срок выполнения работы — от 3 месяцев. Первые 2 месяца мы изготавливаем новую систему управления. Этот этап проходит нашими силами и на нашей территории. В это время Вы можете дорабатывать на установке.

Предоставляется техническая документация (схемы, тех.описания и т.д.) на русском языке.

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установок «ВУП-5» и «ВУП-5М», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

Вверх

Скачать краткий рекламный листок по модернизации вакуумных постов «ВУП-5» и «ВУП-5М», Вы можете по ссылке:

Модерн.ВУП5_2020 Скачать

Вверх

Фев092020

МОДЕРНИЗАЦИЯ BALZERS «BAK-600»

Модернизация установки проводится с целью замены штатных блоков управления вакуумной системой, испарителями, поддержания температуры, управления заслонками и каруселью на их современные аналоги.

Задачи модернизации: переход на современную электронную базу, улучшение технических характеристик, повышение надежности работы, сокращение времени ремонта, снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

СТОЙКА УПРАВЛЕНИЯ

Система управления расположена в 19” стойке с габаритами 800*1000*2000мм.

Промышленный компьютер с сенсорным
монитором. На экране отображается необходимая
информация о прохождении технологического
процесса, заданное и фактическое состояние устройств,
состояние вакуумной системы и т.д. В фоновом режиме
строятся графики давления, температуры, мощности и
т.д. с сохранением в архив для последующего анализа.
Блок управления вакуумной системой. Режим
работы блока – автоматический, под управлением
промышленного компьютера с дополнительными
функциями ручного управления. Блок позволяет
собирать информацию с датчиков вакуума (на низкий
вакуум – ARG100-XM NM16, на высокий — WRG-S) и
управлять всеми пневмоклапанами вакуумной
системы. Под функциями ручного управления
подразумевается возможность включить тот или иной
клапан в наладочном режиме.
Блок управление системой нагрева подложек.
Режим работы блока – автоматический, под
управлением промышленного компьютера с
дополнительными функциями ручного управления.
Предназначен для управления галогеновыми
элементами с переменным напряжением 220В и
мощностью до 4 кВт. Обеспечивает измерение и
стабилизацию температуры в диапазоне температур
50…400 гр.С.
Блок управления процессом. Режим работы блока – автоматический, под управлением
промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок предназначен для: 1. Управления вращением карусели. Обеспечивается контроль и регулирование скорости вращения двигателя постоянного тока 190В 190W (BFVSS 1/1FL) об 4000/140.
2. Управления заслонкой. Тип привода заслонки – пневмоэлектрический.
Обеспечивается автоматическое открытие заслонок по мере прохождения
соответствующего интервала и автоматическое закрытие либо по времени, либо по командам от блока измерения толщины. Предусматривается возможность ручного управления.
3. Измерение толщины (скорости) напыления посредством блока SQM160
Двухканальный блок управления мощностью двух резистивных испарителей. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. При работе в автоматическом режиме требуемое значение мощности задается на компьютере, в ручном режиме — в цифровом виде на блоке управления. БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение.

ПАНЕЛЬ ВОДОРАСПРЕДЕЛЕНИЯ

Панель водораспределения на 6 магистралей с интегрированным в нее блоком контроля и управления располагается отдельно от стойки. Каждая магистраль имеет в наличии:
• Запорный механический вентиль для принудительного
отключения подачи воды или ограничения расхода.
• Клапан соленоидный нормально закрытый прямого
действия с диафрагмой для управления потоком рабочей
среды в трубопроводе (например, серии AR-2W21).
• Ультразвуковой расходомер (например, серии 2WR7)
позволяющий измерять поток протекающей через датчик
воды. В отличие от датчика давления воды надежно
информирует об аварийных ситуациях. При работе
расходомер формирует импульсы напряжения из расчета 1
импульс на 1 литр протекшей через него воды.
Линия охлаждения диффузионного насоса имеет ручной, байпасный вентиль на случай принудительного охлаждения при аварийном отключении электричества. Общая входная и выходная магистраль снабжена механическими вентилями. Блок контроля и управления производит счет импульсов со всех расходомеров и транслирует их значение на экран компьютера. По командам компьютера происходит управление клапанами.

ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

ПО СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ обеспечивает
управление всем технологическим циклом работы установки, а так же
постоянный контроль работоспособности модулей и блоков,
включает в себя тестовые и наладочные компоненты.
Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти
компьютера. Их количество практически не ограничено.

Программное обеспечение разделяет три режима доступа:
А) «ОПЕРАТОР» — данный режим позволяет работать по готовым
«рецептам» с заданными технологическими параметрами в автоматическом режиме.
b) «ТЕХНОЛОГ» — данный режим позволяет создавать «рецепты» для проведения технологического процесса напыления с заданными параметрами и осуществлять напыление как в автоматическом, так и в ручном режиме, задавая все параметры в окне программы.
c) «СЕРВИС-ИНЖЕНЕР» — данный режим позволяет работать как в ручном, так и в автоматическом режиме по заданному «рецепту», управлять запорной арматурой, нагревом, задавать блокировки по давлению для откачной системы, задавать ПИД коэффициенты, поправочные коэффициенты по напылению, задавать блокировки по максимальной мощности, подаваемой на нагреватель и испарители и т.д.

Вверх

Янв182020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «МАГНА-2М», «ОРАТОРИЯ-29»

Модернизация вакуумных установок непрерывного действия с магнетронной системой распыления «Магна-2М» и «Оратория-29»

Модернизация возможна в двух вариантах, либо замена блока управления «Орион-3» на новый, либо полная замена системы управления установкой.

1. Замена блока управления «ОРИОН-3»

Компьютер и новый блок управления размещаются в тумбочке. Подключение происходит к стандартной проводке в местах их подключения к БУ «Орион-3». Срок модернизации (на Вашей территории) — 1 день +1 день обучение персонала.

В результате модернизации:

Корректировка и линеаризация характеристик (т.е. установка зависимости между реальным показанием устройства и значением напряжения, поступающим на аналоговый вход модуля приема). Благодаря чему, наладчик может самостоятельно заменить одно устройство на другое.
Подключение дополнительных или не штатных устройств. Например: Возможность заменить вибронатекатель на регулятор расхода газа (РРГ). В качестве замены вибронатекателя хорошо себя показывает РРГ с расходом 9 л/ч. Опционально, допустимо также создание систем подачи газовой смеси состоящих из нескольких РРГ. При этом поддержание давления в разрядной камере происходит заданной смесью газов (например 90% Аr и 10% N2).
Воспроизводимость процессов. После установки нового блока и коррекции входной зависимости нет необходимости изменять технологические задания. В то время как при использовании ручного режима управления установкой, происходит неравномерная задача уставок на «глаз».
Построение временных диаграмм работы всех устройств. На графиках и диаграммах наглядно отображается информация о том как проходил технологический процесс.
Архивация данных о прохождении технологического процесса позволяет смотреть, как проводился процесс спустя годы. Сохраненные данные так же содержат время дату и название технологического процесса облегчая их поиск.
Наглядное отображение на экране компьютера состояния всех устройств: Включено/выключено; Заданное и прочитанное значение; Режим работы устройства (Включение, нормальная работа, авария); Отображение состояния дверей, затворов шлюзов, насосов, датчиков; Отображение данных о вакууме в шлюзах и камере и т.п.
Единый закон управления всеми устройствами. Настройка управления происходит изменением коэффициентов и доступна обслуживающему персоналу. Коэффициенты: скорость роста управляющего напряжения при включении устройства, плавность поддержания заданного значения, максимально допустимое время включения устройства, максимально допустимое время выхода устройства из допуска и другие.
Отображение хода пластин и их счет. Графическое отображение на экране реального положения пластин. Так можно видеть производилось ли напыление на пластины или они еще не дошли до разрядной камеры. Это удобно при остановке процесса. Отображаются количество загруженных, выгруженных пластин и общее количество обработанных пластин за день.
Хранение неограниченного числа технологических заданий и легкий доступ к часто используемым.
Счетчик дневной и суммарной наработки мишеней магнетронов. Позволяет прогнозировать скорую замену мишеней.
Удобный ручной режим. Позволяет быстро менять заданные значения устройств. Режим удобен для наладки устройств и проведения пробных процессов.
Реализованы процедуры «тренировка магнетронов» и «режим «ожидание»

2. Комплексная модернизация.

При комплексной модернизации от установки остается железо: каркас, камера, шлюзы и т.д.

Насосы — по усмотрению заказчика.

Удаляются: все стойки, логикон, блоки управления шлюзами, силовые трансформаторы, балластные резисторы, вибронатекатели, вакуумметры как на форвакуум, так и на высокий и т.д.

ДАЛЕЕ СИСТЕМА СТРОИТСЯ ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ ЗАДАНИЮ ЗАКАЗЧИКА…

Управление вакуумной системой и всеми устройствами осуществляется с персонального компьютера. Это позволяет подстраиваться под используемые типы насосов и особенности их работы. Возможно создание программ под ваши требования. Например: Возможность формирования задания на каждую пластину или группу пластин. Для подбора параметров процесса возможен автоматический запуск пластин по 1 штуке. Происходит установка заданных параметров на устройства. Запускаются пластины первой группы. Как только они сходят с конвейера заданные значения устройств меняются и запускается группа пластин. Данная возможность не интересна при поточном производстве. Но для наладочных или исследовательских работ связанных с отработкой технологии это позволит значительно сократить время.

Компьютер убран в стойку управления, монитор используется с сенсорным экраном (+выдвижная клавиатура и мышь по желанию). Ниже расположены вакуумметры, блоки с модулем управления скоростью конвейера, модулем управления нагревателем, модулем управления азотными питателями. Еще ниже — три импульсных источника питания магнетронов. Еще ниже — блок с пускателями, автоматами и т.д.

На самой установке там, где были силовые трансформаторы расположены модули управления газовакуумным оборудованием и газовая панель с РРГ для подачи в камеру смеси газов в процентном соотношении.

Возможна модернизация по техзаданию Заказчика: возможна любая начинка установки.

Например: диффузионный, криогенный или турбомолекулярный насос. Количество газовводов и их тип так же оговаривается с заказчиком при составлении ТЗ. Возможны внесения изменений в любую часть оборудования: возможна работа магнетронов со стабилизацией заданного тока, а не мощности; возможно убрать ионную очистку или добавить блок вжигания силицидов; мы можем использовать датчики вакуума от различных фирм-изготовителей; и многое другое…

Вверх

Скачать краткий рекламный листок по модернизации вакуумных установок непрерывного действия с магнетронной системой распыления «Магна-2М» и «Оратория-29» , Вы можете по ссылке:

Модерн.Оратор29_2020 Скачать

Вверх

Янв132020

МОДЕРНИЗАЦИЯ ДИСКОВОЙ РЕЗКИ «ЭМ-225»

ООО «СОРЭНЖ» готово предложить произвести капитальный ремонт установки дисковой резки «ЭМ-225» (и аналогичных)

Новая система управления установкой дисковой резки «ЭМ-225» состоит из блока управления, персонального компьютера и микроскопа с цифровой камерой. Программное обеспечение разработано специалистами ООО «Сорэнж».

В блоке управления используются современные, малогабаритные, легкодоступные драйверы шаговых двигателей с гальванической развязкой в цепях управления и защитой по току выходных каскадов. Сама система управления построена по принципу «распределенных систем сбора данных и управления» с применением промышленного интерфейса RS-485. Персональный компьютер с нашим программным обеспечением – как основной управляющий элемент.

Блок управления имеет обратную связь по положению для координаты Y — «шаг». Точность отслеживания 5 микрон. За счет обратной связи снижается требования к механической точности перемещения (люфт «шага» становится не страшен)

Программа управления обеспечивает масштабированное отображение параметров реза, таких как: толщина подложки, расстояние до режущего диска, высота лезвия диска, положение рабочего столика и т.д.

Наличие возможности распила за несколько проходов позволяет осуществлять распил подложек толщиной более 2 мм.

Возможен угол поворота не только на 90 градусов, но и на любой желаемый в диапазоне 0…360 градусов.

Возможно как ручное выравнивание при качании стола вдоль горизонтальной оси так и выравнивание линии реза по двум точкам. После задания (щелчок мышкой) на экране монитора, двух точек, лежащих на линии реза и нажатии кнопки «Выровнять» происходит поворот стола на необходимый угол и смещение по оси Y.
Этот режим позволяет значительно экономить время на пластинах с малым количеством протяженных линий.

Новая панель с водо и пневмовакуумным оборудованием изготовлена на основе современных клапанов, фитингов, отстойников, фильтров и т.д.

По договоренности с заказчиком, помимо модернизации системы управления, возможна поставка современного блока частотного управления шпинделем, а также современного монокулярного цифрового микроскопа.

Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 2 до 4 месяцев. Гарантия на поделанную работу — 1 год.

ВОЗМОЖНЫ И ДРУГИЕ ВАРИАНТЫ…

Вверх

Скачать краткий рекламный листок по модернизации дисковой резки «ЭМ-225» (и аналогичных), Вы можете по ссылке:

Модерн.Эм225_2020 Скачать

Вверх

Янв122020

МОДЕРНИЗАЦИЯ «AER»

Фотоповторитель «AER» (фирмы «Karl Zeiss Jena»)

На момент написания, модернизация установки изготовления шаблонов «AER» заключается в замене лампы HBO на осветитель на основе УФ светодиода…

Новый осветитель на основе УФ светодиода устанавливается выше лампы (часть оптики откидывается) и выше затвора, но до дозатора, до блока растров. Новый осветитель имеет водяное охлаждение. Станция водяного охлаждения может располагаеться на полу около установки.

По времени экспонирования, осветитель производства ООО «СОРЭНЖ», на основе УФ светодиода идентичен осветителю с «родной» ртутной лампой «HBO»

Подключение нового осветителя к установке происходит к разъему штатной платы управления затвором и дозатором (расположена сзади установки, рядом с осветителем)

Для подсветки датчиков базирования шаблона устанавливаются новые светодиодные осветители.

Янв122020

АРЕНДА УСТАНОВОК РЕЗКИ И СКРАЙБИРОВАНИЯ

ООО «СОРЭНЖ» предоставляет в аренду оборудование для микроэлектронного производства, а также оказывает услуги по некоторым процессам производства микроэлектроники.

Возможно взять оборудование как в долгосрочную аренду, так и с почасовой оплатой. Стоимость долгосрочной аренды от 20тыс.руб в месяц, стоимость почасовой аренды от 1тыс.руб в час, НДС не облагается т.к. применяется УСН.

Вы можете приехать к нам и сами произвести технологическую операцию или заказать услуги.

В настоящее время Вы можете арендовать следующее оборудование для резки или скрайбирования пластин:

1. Скрайбер пластин «Алмаз-М». Полуавтомат скрайбирования пластин «Алмаз-М» предназначен для скрайбирования полупроводниковых пластин, ситалловых и стеклянных подложек диаметром до 80мм, одним или двумя резцами на элементы прямоугольной формы.

2. Скрайбер пластин «Алмаз-С» производства ООО «Сорэнж». Полуавтомат скрайбирования пластин «Алмаз-С» предназначен для скрайбирования полупроводниковых пластин, ситалловых и стеклянных подложек диаметром до 100мм, одним или двумя резцами на элементы произвольной формы.

Вверх

Янв122020

АРЕНДА ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Возможно взять оборудование как в долгосрочную аренду, так и с почасовой оплатой. Стоимость долгосрочной аренды от 30тыс.руб в месяц, стоимость почасовой аренды от 1тыс.руб в час, НДС не облагается т.к. применяется УСН.

Вы можете приехать к нам и сами произвести технологическую операцию или заказать услуги.

В настоящее время Вы можете арендовать следующее фотолитографическое оборудование:

1. Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-576А». Установка контактной фотолитографии «ЭМ-576А»предназначена для ручной или полуавтоматической работы с подложками 60мм*48мм или подложками диаметром 76мм или подложками диаметром 100мм. Используемые шаблоны 102мм*102мм или 127мм*127мм. Возможно изменение конфигурации под Ваши задачи.

2. Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.16». Установка контактной фотолитографии «AMK-2104.16» предназначена для ручной работы с подложками 60мм*48мм или подложками диаметром 76мм. Используемые шаблоны 102мм*102мм.

3. Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.02». Установка контактной фотолитографии «AMK-2104.02» предназначена для ручной работы с подложками разной геометрической формы вписывающихся в диаметр 60мм. Используемые шаблоны 76мм*76мм или 102мм*102мм.

4. Установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» производства ООО «Сорэнж» . Установка контактной фотолитографии «УСЭ-004» предназначена для ручной работы с подложками различных геометрических форм вписывающихся в диаметр до 100мм. Используемые шаблоны 102мм*102мм или 127мм*127мм.

5. Установка экспонирования «УЭ-003» производства ООО «Сорэнж». Установка предназначена для экспонирования без совмещения (или с предварительным совмещением «на стороне»)

6. Центрифуга нанесения фоторезиста.

Вверх