Архивы

УСТАНОВКА ЗАСВЕТКИ

Наша компания разработала, производит и готова поставить установку засветки фоторезиста с осветителем на основе ультрафиолетового светодиода® .

Установка засветки

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТАНОВКИ

Габариты (Ш*Г*В) 400x550x650 мм (указаны ориентировочно, т.к. частично зависят от выбранной конфигурации)
Вес не более 30 кг.
Питание 220В, 50Гц

Режим работы осветителя 0…180сек с шагом 0.1сек при воздушном охлаждении и непрерывно при водяном охлаждении.

Охлаждение:
1. Воздушное.
2. Водяное.
3. Водяное по замкнутому циклу.

Рабочее поле засветки Возможны варианты:
1. Без оптического конденсора.
2. С оптическим конденсором. Диаметр поля 60мм.
3. С оптическим конденсором. Диаметр поля 100мм.
4. С оптическим конденсором. Диаметр поля 150мм.

Рабочий стол Возможны варианты:
1. Без рабочего столика.
2. С рабочим столиком диаметром 110мм и вакуумной фиксацией подложки в трех независимых точках.
3. С рабочим столиком диаметром 160мм и вакуумной фиксацией подложки в пяти независимых точках.

Шаблонодержатель Возможны варианты:
1. Без шаблонодержателя.
2. С шаблонодержателем под шаблоны 76*76мм
3. С шаблонодержателем под шаблоны 102*102мм
4. С шаблонодержателем под шаблоны 127*127мм
5. С шаблонодержателем под шаблоны 153*153мм

Механизм контактирования подложки с шаблоном Возможны варианты:
1. Без механизма контактирования.
2. С механизмом подъема рабочего столика до положения «контакт»
3. С механизмом подъема рабочего столика до положения «контакт» и компенсацией клина подложки.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ
 Длина волны излучающего диода: 400нм. (опционально: 365нм или 430нм)
 Плавная регулировка мощности излучения.
 Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой.
 Охлаждение источника излучения: встроенное, воздушное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
 Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
 Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
 Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры), аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры), включения экспонирования, аварии.
 Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

spacer

«ВУП-5» и «ВУП-5М»

Модернизация вакуумных постов «ВУП-5» и «ВУП-5М»

Модернизация системы управления вакуумных постов сводиться к замене всей электроники, проводки и т.д.

ВУП-5

ВУП-5

spacer

«УТНО» — установка для получения окисных пленок.

«УТНО» — установка для получения окисных пленок методом низкотемпературного разложения силана.

С целью модернизации установки, ООО «СОРЭНЖ» разработало и произвело новую систему управления.dsc_1501

Система управления обеспечивает:

  • Подачу газов по трем независимым каналам:

Аргон (Ar) – расход 400-700 л/ч.
Смесь моносилана и аргона (SiH4+Ar) – расход 10-30 л/ч.
Кислород (О2) – расход 2-4 л/ч.

spacer

Установка индивидуального плазмохимического травления УТП.3-150/1-003

Замена БУ "ОРИОН"

Новый Блок управления как замена БУ «ОРИОН»

С целью модернизации системы управления установки индивидуального плазмохимического травления УТП.3-150/1-003, ООО «СОРЭНЖ» разработало и изготовило новый блок управления на замену использующемуся на установке БУ «ОРИОН».

НАЗНАЧЕНИЕ
Блок управления (БУ) предназначен для замены управляющего комплекса «ОРИОН-3» и обеспечивает управление установкой плазмохимического травления «УТП.3-150/1-003» во всех необходимых технологических режимах.

БУ позволяет:

spacer

«ФОТОН» — УСТАНОВКА ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

С целью модернизации, ООО «СОРЭНЖ» разработана и произведена система управления для установки выращивания монокристаллов из расплава.

ФОТОН

Установка выращивания монокристаллов

 

 

 

 

 

 

Основные технические характеристики системы управления:

  1. Блоки управления двумя резистивными нагревателями:

    БУМ

    Блок управления мощностью

  • 50Вх1000А
  • 30Вх1000А
spacer

ОСВЕТИТЕЛИ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА ВТОРОГО ПОКОЛЕНИЯ

Осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода для установок фотолитографии при процессах производства микро и нано структур.

НАЗНАЧЕНИЕ
Второе поколение осветителей на основе ультрафиолетового светодиода предназначено для использования на установках контактной фотолитографии:

  • «ЭМ-576» и  «ЭМ-576A»
  • «ЭМ-5006» и  «ЭМ-5006A»
  • «ЭМ-5026» и  «ЭМ-5026A»
  • «MJB-3» и «MJB-4»
  • «АМК»

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

spacer

СВЕТОДИОДНЫЙ УФ ОСВЕТИТЕЛЬ КАК ЗАМЕНА ДРШ-350

Осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода для установок фотолитографии при процессах производства микро и нано структур.

НАЗНАЧЕНИЕ
Для установок фотолитографии при процессах производства микроструктур в осветителях, в качестве источника ультрафиолетового излучения, использовалась дуговая шаровая лампа (например: ДРШ-350). Применение ламп данного типа влечет за собой комплекс проблем.  Для решения этих проблем ООО «Сорэнж»  разработало и запатентовало конструкцию осветителя на основе ультрафиолетового светодиода.

Спектральная характеристика

Осветитель на основе УФ диода (замена «ДРШ-350»)

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ
1. Длина волны излучающего диода: 400нм.
2. Спектральная характеристика излучающего элемента:
3. Режим свечения: 75% или 100%
4. Плавная регулировка мощности излучения: в пределах 15%
5. Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В,  <15мА) или кнопкой. По предварительной договоренности, уровень сигнала может быть любой.
6. Охлаждение источника излучения и блока управления: встроенное, воздушное.
7. Защита по перегреву: термопредохранитель.
8. Индикация: включения, режим свечения, аварии по перегреву.
9. Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

spacer
spacer

ПАТЕНТ №10832

УСТРОЙСТВО ЭКСПОНИРУЮЩЕГО ОСВЕЩЕНИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОЙ ПЕЧАТИ

Патент BY 10832

Патент №10832 (BY)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

spacer
spacer