Модернизация установки проводится с целью замены штатных блоков управления вакуумной системой, испарителями, поддержания температуры, управления заслонками и каруселью на их современные аналоги.
Задачи модернизации: переход на современную электронную базу, улучшение технических характеристик, повышение надежности работы, сокращение времени ремонта, снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.
СТОЙКА УПРАВЛЕНИЯ
Система управления расположена в 19” стойке с габаритами 800*1000*2000мм.
- Промышленный компьютер с сенсорным
монитором. На экране отображается необходимая
информация о прохождении технологического
процесса, заданное и фактическое состояние устройств,
состояние вакуумной системы и т.д. В фоновом режиме
строятся графики давления, температуры, мощности и
т.д. с сохранением в архив для последующего анализа. - Блок управления вакуумной системой. Режим
работы блока – автоматический, под управлением
промышленного компьютера с дополнительными
функциями ручного управления. Блок позволяет
собирать информацию с датчиков вакуума (на низкий
вакуум – ARG100-XM NM16, на высокий — WRG-S) и
управлять всеми пневмоклапанами вакуумной
системы. Под функциями ручного управления
подразумевается возможность включить тот или иной
клапан в наладочном режиме. - Блок управление системой нагрева подложек.
Режим работы блока – автоматический, под
управлением промышленного компьютера с
дополнительными функциями ручного управления.
Предназначен для управления галогеновыми
элементами с переменным напряжением 220В и
мощностью до 4 кВт. Обеспечивает измерение и
стабилизацию температуры в диапазоне температур
50…400 гр.С. - Блок управления процессом. Режим работы блока – автоматический, под управлением
промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок предназначен для: 1. Управления вращением карусели. Обеспечивается контроль и регулирование скорости вращения двигателя постоянного тока 190В 190W (BFVSS 1/1FL) об 4000/140.
2. Управления заслонкой. Тип привода заслонки – пневмоэлектрический.
Обеспечивается автоматическое открытие заслонок по мере прохождения
соответствующего интервала и автоматическое закрытие либо по времени, либо по командам от блока измерения толщины. Предусматривается возможность ручного управления.
3. Измерение толщины (скорости) напыления посредством блока SQM160 - Двухканальный блок управления мощностью двух резистивных испарителей. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. При работе в автоматическом режиме требуемое значение мощности задается на компьютере, в ручном режиме — в цифровом виде на блоке управления. БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение.
ПАНЕЛЬ ВОДОРАСПРЕДЕЛЕНИЯ
Панель водораспределения на 6 магистралей с интегрированным в нее блоком контроля и управления располагается отдельно от стойки. Каждая магистраль имеет в наличии:
• Запорный механический вентиль для принудительного
отключения подачи воды или ограничения расхода.
• Клапан соленоидный нормально закрытый прямого
действия с диафрагмой для управления потоком рабочей
среды в трубопроводе (например, серии AR-2W21).
• Ультразвуковой расходомер (например, серии 2WR7)
позволяющий измерять поток протекающей через датчик
воды. В отличие от датчика давления воды надежно
информирует об аварийных ситуациях. При работе
расходомер формирует импульсы напряжения из расчета 1
импульс на 1 литр протекшей через него воды.
Линия охлаждения диффузионного насоса имеет ручной, байпасный вентиль на случай принудительного охлаждения при аварийном отключении электричества. Общая входная и выходная магистраль снабжена механическими вентилями. Блок контроля и управления производит счет импульсов со всех расходомеров и транслирует их значение на экран компьютера. По командам компьютера происходит управление клапанами.
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
ПО СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ обеспечивает
управление всем технологическим циклом работы установки, а так же
постоянный контроль работоспособности модулей и блоков,
включает в себя тестовые и наладочные компоненты.
Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти
компьютера. Их количество практически не ограничено.
Программное обеспечение разделяет три режима доступа:
А) «ОПЕРАТОР» — данный режим позволяет работать по готовым
«рецептам» с заданными технологическими параметрами в автоматическом режиме.
b) «ТЕХНОЛОГ» — данный режим позволяет создавать «рецепты» для проведения технологического процесса напыления с заданными параметрами и осуществлять напыление как в автоматическом, так и в ручном режиме, задавая все параметры в окне программы.
c) «СЕРВИС-ИНЖЕНЕР» — данный режим позволяет работать как в ручном, так и в автоматическом режиме по заданному «рецепту», управлять запорной арматурой, нагревом, задавать блокировки по давлению для откачной системы, задавать ПИД коэффициенты, поправочные коэффициенты по напылению, задавать блокировки по максимальной мощности, подаваемой на нагреватель и испарители и т.д.
