modern_napylen

МОДЕРНИЗАЦИЯ «ВУП-5» «ВУП-5М»

Модернизация вакуумных постов «ВУП-5» и «ВУП-5М» может происходить в разных вариантах.

ООО «СОРЭНЖ» произвело модернизацию вакуумных универсальных постов «ВУП-5» и «ВУП-5М». В этих работах модернизация системы управления вакуумных постов сводиться к замене всей электроники, проводки и т.д.

(Фотографии носят ознакомительный характер и внешний вид системы управления может отличаться в зависимости от Ваших требований )

Новая система управления вакуумного поста состоит из:

  1. Персонального компьютера с программным обеспечением разработанным ООО «Сорэнж»
  2. Блока управления процессом (производство ООО «Сорэнж»). Блок управления предназначен для управления вакуумной системой, заслонками, вращением рабочего столика, поддержанием температуры рабочего столика.
  3. Блока управления испарителями (производство ООО «Сорэнж»). Одноканальный блок управления испарителем с возможность коммутации на четыре мишени. Блок обеспечивает автоматическое поддержание мощности испарителя.
  4. Вакуумметры

Срок выполнения работы — от 3 месяцев. Первые 2 месяца мы изготавливаем новую систему управления. Этот этап проходит нашими силами и на нашей территории. В это время Вы можете дорабатывать на установке.

Предоставляется техническая документация (схемы, тех.описания и т.д.) на русском языке.

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установок «ВУП-5» и «ВУП-5М», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

Скачать краткий рекламный листок по модернизации вакуумных постов «ВУП-5» и «ВУП-5М», Вы можете по ссылке:

spacer

МОДЕРНИЗАЦИЯ BALZERS «BAK-600»

Модернизация установки проводится с целью замены штатных блоков управления вакуумной системой, испарителями, поддержания температуры, управления заслонками и каруселью на их современные аналоги.

Задачи модернизации: переход на современную электронную базу, улучшение технических характеристик, повышение надежности работы, сокращение времени ремонта, снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

СТОЙКА УПРАВЛЕНИЯ

Система управления расположена в 19” стойке с габаритами 800*1000*2000мм.

  • Промышленный компьютер с сенсорным
    монитором. На экране отображается необходимая
    информация о прохождении технологического
    процесса, заданное и фактическое состояние устройств,
    состояние вакуумной системы и т.д. В фоновом режиме
    строятся графики давления, температуры, мощности и
    т.д. с сохранением в архив для последующего анализа.
  • Блок управления вакуумной системой. Режим
    работы блока – автоматический, под управлением
    промышленного компьютера с дополнительными
    функциями ручного управления. Блок позволяет
    собирать информацию с датчиков вакуума (на низкий
    вакуум – ARG100-XM NM16, на высокий — WRG-S) и
    управлять всеми пневмоклапанами вакуумной
    системы. Под функциями ручного управления
    подразумевается возможность включить тот или иной
    клапан в наладочном режиме.
  • Блок управление системой нагрева подложек.
    Режим работы блока – автоматический, под
    управлением промышленного компьютера с
    дополнительными функциями ручного управления.
    Предназначен для управления галогеновыми
    элементами с переменным напряжением 220В и
    мощностью до 4 кВт. Обеспечивает измерение и
    стабилизацию температуры в диапазоне температур
    50…400 гр.С.
  • Блок управления процессом. Режим работы блока – автоматический, под управлением
    промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок предназначен для: 1. Управления вращением карусели. Обеспечивается контроль и регулирование скорости вращения двигателя постоянного тока 190В 190W (BFVSS 1/1FL) об 4000/140.
    2. Управления заслонкой. Тип привода заслонки – пневмоэлектрический.
    Обеспечивается автоматическое открытие заслонок по мере прохождения
    соответствующего интервала и автоматическое закрытие либо по времени, либо по командам от блока измерения толщины. Предусматривается возможность ручного управления.
    3. Измерение толщины (скорости) напыления посредством блока SQM160
  • Двухканальный блок управления мощностью двух резистивных испарителей. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. При работе в автоматическом режиме требуемое значение мощности задается на компьютере, в ручном режиме — в цифровом виде на блоке управления. БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение.

ПАНЕЛЬ ВОДОРАСПРЕДЕЛЕНИЯ

Панель водораспределения на 6 магистралей с интегрированным в нее блоком контроля и управления располагается отдельно от стойки. Каждая магистраль имеет в наличии:
• Запорный механический вентиль для принудительного
отключения подачи воды или ограничения расхода.
• Клапан соленоидный нормально закрытый прямого
действия с диафрагмой для управления потоком рабочей
среды в трубопроводе (например, серии AR-2W21).
• Ультразвуковой расходомер (например, серии 2WR7)
позволяющий измерять поток протекающей через датчик
воды. В отличие от датчика давления воды надежно
информирует об аварийных ситуациях. При работе
расходомер формирует импульсы напряжения из расчета 1
импульс на 1 литр протекшей через него воды.
Линия охлаждения диффузионного насоса имеет ручной, байпасный вентиль на случай принудительного охлаждения при аварийном отключении электричества. Общая входная и выходная магистраль снабжена механическими вентилями. Блок контроля и управления производит счет импульсов со всех расходомеров и транслирует их значение на экран компьютера. По командам компьютера происходит управление клапанами.

ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

ПО СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ обеспечивает
управление всем технологическим циклом работы установки, а так же
постоянный контроль работоспособности модулей и блоков,
включает в себя тестовые и наладочные компоненты.
Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти
компьютера. Их количество практически не ограничено.


Программное обеспечение разделяет три режима доступа:
А) «ОПЕРАТОР» — данный режим позволяет работать по готовым
«рецептам» с заданными технологическими параметрами в автоматическом режиме.
b) «ТЕХНОЛОГ» — данный режим позволяет создавать «рецепты» для проведения технологического процесса напыления с заданными параметрами и осуществлять напыление как в автоматическом, так и в ручном режиме, задавая все параметры в окне программы.
c) «СЕРВИС-ИНЖЕНЕР» — данный режим позволяет работать как в ручном, так и в автоматическом режиме по заданному «рецепту», управлять запорной арматурой, нагревом, задавать блокировки по давлению для откачной системы, задавать ПИД коэффициенты, поправочные коэффициенты по напылению, задавать блокировки по максимальной мощности, подаваемой на нагреватель и испарители и т.д.

spacer

МОДЕРНИЗАЦИЯ «МАГНА-2М», «ОРАТОРИЯ-29»

Модернизация вакуумных установок непрерывного действия с магнетронной системой распыления «Магна-2М» и «Оратория-29»

Модернизация возможна в двух вариантах, либо замена блока управления «Орион-3» на новый, либо полная замена системы управления установкой.

1. Замена блока управления «ОРИОН-3»

Компьютер и новый блок управления размещаются в тумбочке. Подключение происходит к стандартной проводке в местах их подключения к БУ «Орион-3». Срок модернизации (на Вашей территории) — 1 день +1 день обучение персонала.

В результате модернизации:

  •  Корректировка и линеаризация характеристик (т.е. установка зависимости между реальным показанием устройства и значением напряжения, поступающим на аналоговый вход модуля приема).  Благодаря чему, наладчик может самостоятельно заменить одно устройство на другое.
  • Подключение дополнительных или не штатных устройств. Например: Возможность заменить вибронатекатель на регулятор расхода газа (РРГ). В качестве замены вибронатекателя хорошо себя показывает РРГ с расходом 9 л/ч. Опционально, допустимо также создание систем подачи газовой смеси состоящих из нескольких РРГ. При этом поддержание давления в разрядной камере происходит заданной смесью газов (например 90% Аr и 10% N2).
  • Воспроизводимость процессов. После установки нового блока и коррекции входной зависимости нет необходимости изменять технологические задания. В то время как при использовании ручного режима управления установкой, происходит неравномерная задача уставок на «глаз».
  • Построение временных диаграмм работы всех  устройств. На графиках и диаграммах наглядно отображается информация о том как проходил технологический процесс.
  • Архивация данных о прохождении технологического процесса позволяет смотреть, как проводился процесс спустя годы. Сохраненные данные так же содержат время дату и название технологического процесса облегчая их поиск.
  • Наглядное отображение на экране компьютера состояния всех устройств: Включено/выключено; Заданное и прочитанное значение; Режим работы устройства (Включение, нормальная работа, авария); Отображение состояния дверей, затворов шлюзов, насосов, датчиков; Отображение данных о вакууме в шлюзах и камере и т.п.
  • Единый закон управления всеми устройствами. Настройка управления происходит изменением коэффициентов и доступна обслуживающему персоналу. Коэффициенты: скорость роста управляющего напряжения при включении устройства, плавность поддержания заданного значения, максимально допустимое время включения устройства, максимально допустимое время выхода устройства из допуска и другие.
  • Отображение хода пластин и их счет. Графическое отображение на экране реального  положения пластин. Так можно видеть производилось ли напыление на пластины или они еще не дошли до разрядной камеры. Это удобно при остановке процесса. Отображаются количество загруженных, выгруженных пластин и общее количество обработанных пластин за день.
  • Хранение неограниченного числа технологических заданий и легкий доступ к часто используемым.
  • Счетчик дневной и суммарной  наработки мишеней магнетронов. Позволяет прогнозировать скорую замену мишеней.
  • Удобный ручной режим. Позволяет быстро менять заданные значения устройств. Режим удобен для наладки устройств и проведения пробных процессов.
  • Реализованы процедуры «тренировка магнетронов» и «режим «ожидание»
2. Комплексная модернизация.

При комплексной модернизации от установки остается железо: каркас, камера, шлюзы и т.д.

Насосы — по усмотрению заказчика.

Удаляются: все стойки, логикон, блоки управления шлюзами, силовые трансформаторы,  балластные резисторы, вибронатекатели, вакуумметры как на форвакуум, так и на высокий и т.д.

ДАЛЕЕ СИСТЕМА СТРОИТСЯ ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ ЗАДАНИЮ ЗАКАЗЧИКА…

Управление вакуумной системой и всеми устройствами осуществляется с персонального компьютера. Это позволяет подстраиваться  под используемые типы насосов и особенности их работы. Возможно создание программ под ваши требования. Например: Возможность формирования задания на каждую пластину или группу пластин. Для подбора параметров процесса возможен автоматический запуск пластин по 1 штуке. Происходит установка заданных параметров на устройства. Запускаются  пластины первой группы. Как только они сходят с конвейера заданные значения устройств меняются и запускается группа пластин. Данная возможность не интересна при поточном производстве. Но для наладочных или исследовательских работ связанных с отработкой технологии это позволит значительно сократить время.

Компьютер убран в стойку управления,  монитор используется с сенсорным экраном (+выдвижная клавиатура и мышь по желанию). Ниже расположены вакуумметры, блоки с модулем управления скоростью конвейера, модулем управления нагревателем, модулем управления азотными питателями. Еще ниже — три импульсных источника питания магнетронов. Еще ниже — блок с пускателями, автоматами и т.д.

На самой установке там, где были силовые трансформаторы расположены модули управления газовакуумным оборудованием и газовая панель с РРГ для подачи в камеру смеси газов в процентном соотношении.

Возможна модернизация по техзаданию Заказчика: возможна любая начинка установки.

Например: диффузионный, криогенный или турбомолекулярный насос. Количество газовводов и их тип так же оговаривается с заказчиком при составлении ТЗ. Возможны внесения изменений в любую часть оборудования: возможна работа магнетронов со стабилизацией заданного тока, а не мощности; возможно убрать ионную очистку или добавить блок вжигания силицидов; мы можем использовать датчики вакуума от различных фирм-изготовителей; и многое другое… 

Скачать краткий рекламный листок по модернизации вакуумных установок непрерывного действия с магнетронной системой распыления  «Магна-2М» и «Оратория-29» , Вы можете по ссылке:

spacer

МОДЕРНИЗАЦИЯ «УВН-71», «УВН-73», «УВН-74», «УВН-75»

ООО «Сорэнж»  проводит модернизации установок вакуумного напыления «УВН-71», «УВН-73«, «УВН-74«, «УВН-75»  и их модификаций:

Цель модернизации — это получить работоспособную установку за короткое время и с минимальными финансовыми затратами.

«Глубина» модернизации возможна разная, и в большей степени зависит от Ваших потребностей и возможностей.

Процесс ремонта или модернизации установок вакуумного напыления можно разбить на несколько этапов:

1. Изготовление новой системы управления

Этот этап включает в себя закупку, разработку и изготовление составных частей новой системы управления.

Конструктивно новая система управления располагается в 19” стойке. Ориентировочный размер (Ширина*Глубина*Высота) 800*1000*2000. (Фото для примера и может отличаться составом блоков, размером, компоновкой и т.д.)

В стойке расположены следующие блоки и системы:

  • Промышленный компьютер с сенсорным или обычным монитором. На экране отображается необходимая информация о прохождении технологического процесса, заданное и фактическое состояние устройств, состояние вакуумной системы и т.д. В фоновом режиме строятся графики давления, температуры, мощности и т.д. с сохранением в архив для последующего анализа. 
  • Блок управления вакуумной системой. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок позволяет собирать информацию с датчиков вакуума (на низкий вакуум – ARG100-XM NM16, на высокий — WRG-S,  и управлять всеми пневмоклапанами  вакуумной системы. По согласованию с Заказчиком возможно подключение к любым датчикам вакуума и исполнительным механизмам. Под функциями ручного управления подразумевается возможность включить тот или иной клапан в наладочном режиме.
  • Блок управление системой нагрева подложек. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Предназначен для управления галогеновыми элементами с переменным напряжением 220В и мощностью до 4 кВт. Обеспечивает измерение и стабилизацию температуры в диапазоне температур 50…400 гр.С. 

Блок управления процессом. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок предназначен для:

  • Управления вращением карусели. Обеспечивается контроль и регулирование скорости вращения.
  • Управления заслонкой. Обеспечивается автоматическое открытие заслонок по мере прохождения соответствующего интервала и автоматическое закрытие либо по времени, либо по командам от блока измерения толщины. Предусматривается возможность ручного управления.
  • Измерение толщины(скорости) напыления SQM160, или по сопротивлению. Также возможно окончание процесса по времени. 
  • Управление мощностью электронного(ых) испарителя(ей) (1 или 2 независимых канала) – автоматическое, ручное. При ручном управлении требуемое значение мощности задается в цифровом виде на блоке управления (БУ). БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение. 
  • Управление мощностью резистивного испарителя (1 канал) – автоматическое, ручное. 
    При ручном управлении требуемое значение мощности задается в цифровом виде на блоке управления (БУ). БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение.

Силовые трансформаторы от электронных испарителей (накальные и высоковольтные) и резистивного испарителя оставляем Ваши или устанавливаем свои. 

Вся работа по этому этапу производится нашими силами и на нашей территории.

2. Монтаж новой системы управления и наладка

Непосредственно на самой установке будут удалены штатные кабели и жгуты, которые по прошествии времени, пришли в негодность и установлены новые кабели, идущие непосредственно от исполнительного устройства до блока управления.

В новую стойку встраиваем Ваши силовые трансформаторы и т.д.

После монтажа производится наладка всей системы управления в комплексе с установкой.

Работа по этому этапу производится на Вашей территории. Для упрощения технического обслуживания установки в будущем, процесс наладки может происходить совместно с Вашими специалистами.

3. Обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний

Во время этого этапа производится совместная работа с Вашими специалистами с целью обучения последних.

Скачать краткий рекламный листок по модернизации установок вакуумного напыления  «УВН-71», «УВН-73«, «УВН-74«, «УВН-75»  и их модификаций, Вы можете по ссылке:

spacer
1.Одноканальный блок управления электронным испарителем с кольцевым катодом (УВН-73,УВН-74)

НАЗНАЧЕНИЕ:
Одноканальный блок управления испарителем (БУИ-1) предназначен для поддержания заданной мощности испарителей с кольцевым катодом на установках вакуумного напыления типа «УВН-73», «УВН-74» и их модификаций.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

  1. Принцип управления: микропрограммный
  2. Режим работы: ручной и по сети RS-485
  3. Предустановленных параметров ручного режима: 4 («Прогрев 1», «Режим 1», «Прогрев 2», «Режим 2»)
  4. Режим стабилизации: по мощности (по отдельной договоренности — по току).
  5. Каналов управления силовыми трансформаторами: 2 канала (один для накального трансформатора, второй для высоковольтного трансформатора)
  6. Выходное напряжение высоковольтного выпрямителя: ПЛЮС, минус на камере.
  7. Отображение информации – жидкокристаллический дисплей (4 строки по 20 символов в строке)
  8. Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 250В и частотой 50Гц.
  9. Корпус: 19”, 4U

Скачать описание одноканального блока управления электронно-лучевым испарителем Вы можете по ссылке БУИ1_v2__ТО

По договоренности возможно изменения полярности: Выходное напряжение высоковольтного выпрямителя: МИНУС, плюс на камере.

2. Двухканальный блок управления электронным испарителем с кольцевым катодом (УВН-73,УВН-74)

НАЗНАЧЕНИЕ:
Двухканальный блок управления испарителем (БУИ-2) предназначен для поддержания заданной мощности испарителей с кольцевым катодом на установках вакуумного напыления типа «УВН-73», «УВН-74» и их модификаций.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  1. Принцип управления: микропрограммный
  2. Режим работы: ручной и по сети RS-485
  3. Предустановленных параметров ручного режима для каждого канала испарителя: 4 («Прогрев 1», «Режим 1», «Прогрев 2», «Режим 2»)
  4. Режим стабилизации: по мощности (по отдельной договоренности — по току).
  5. Каналов управления силовыми трансформаторами: 2 канала (один для накального трансформатора, второй для высоковольтного трансформатора)
  6. Выходное напряжение высоковольтного выпрямителя: МИНУС, плюс на камере.
  7. Отображение информации – жидкокристаллический дисплей (4 строки по 20 символов в строке)
  8. Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 250В и частотой 50Гц.
  9. Корпус: 19”, 4U

Скачать описание двухканального блока управления электронно-лучевым испарителем Вы можете по ссылке БУИ2_v2__ТО

По договоренности возможно изменения полярности: Выходное напряжение высоковольтного выпрямителя: ПЛЮС, минус на камере.

3. Одноканальный блок управления электронным испарителем

НАЗНАЧЕНИЕ

Блок управления резистивным испарителем (БУРИ) предназначен для поддержания заданной мощности испарителей на установках вакуумного напыления типа «УВН-71», «УВН-73», «УВН-74», «УВН-75»«ВУП-5» и их модификаций.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  1. Принцип управления – микропрограммный
  2. Работа в двух режимах: ручном и по сети RS-485
  3. Отображение информации – жидкокристаллический дисплей на 4 строки по 20 символов в строке.
  4. Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 220В и частотой 50Гц.
  5. Стабилизируемый параметр: мощность (0…4000Вт)
  6. Плавный выход на заданный параметр: 0…9999 Вт/сек
  7. Корпус: 19”, 4U

Скачать описание одноканального блока управления резистивным испарителем испарителем Вы можете по ссылке: БУРИ_ТОv2

По договоренности возможно изменения параметров блока.

Возможно изготовление блоков управления испарителями под Ваш технологический процесс и оборудование.

Published: 07.01.2016