Компьютер и новый блок управления размещаются в тумбочке. Подключение происходит к стандартной проводке в местах их подключения к БУ «Орион-3». Срок модернизации (на Вашей территории) — 1 день +1 день обучение персонала.

В результате модернизации:

•  Корректировка и линеаризация характеристик (т.е. установка зависимости между реальным показанием устройства и значением напряжения, поступающим на аналоговый вход модуля приема).  Благодаря чему, наладчик может самостоятельно заменить одно устройство на другое.
• Подключение дополнительных или не штатных устройств. Например: Возможность заменить вибронатекатель на регулятор расхода газа (РРГ). В качестве замены вибронатекателя хорошо себя показывает РРГ с расходом 9 л/ч. Опционально, допустимо также создание систем подачи газовой смеси состоящих из нескольких РРГ. При этом поддержание давления в разрядной камере происходит заданной смесью газов (например 90% Аr и 10% N2).
• Воспроизводимость процессов. После установки нового блока и коррекции входной зависимости нет необходимости изменять технологические задания. В то время как при использовании ручного режима управления установкой, происходит неравномерная задача уставок на «глаз».
• Построение временных диаграмм работы всех  устройств. На графиках и диаграммах наглядно отображается информация о том как проходил технологический процесс.
• Архивация данных о прохождении технологического процесса позволяет смотреть, как проводился процесс спустя годы. Сохраненные данные так же содержат время дату и название технологического процесса облегчая их поиск.
• Наглядное отображение на экране компьютера состояния всех устройств: Включено/выключено; Заданное и прочитанное значение; Режим работы устройства (Включение, нормальная работа, авария); Отображение состояния дверей, затворов шлюзов, насосов, датчиков; Отображение данных о вакууме в шлюзах и камере и т.п.
• Единый закон управления всеми устройствами. Настройка управления происходит изменением коэффициентов и доступна обслуживающему персоналу. Коэффициенты: скорость роста управляющего напряжения при включении устройства, плавность поддержания заданного значения, максимально допустимое время включения устройства, максимально допустимое время выхода устройства из допуска и другие.
• Отображение хода пластин и их счет. Графическое отображение на экране реального  положения пластин. Так можно видеть производилось ли напыление на пластины или они еще не дошли до разрядной камеры. Это удобно при остановке процесса. Отображаются количество загруженных, выгруженных пластин и общее количество обработанных пластин за день.
• Хранение неограниченного числа технологических заданий и легкий доступ к часто используемым.
• Счетчик дневной и суммарной  наработки мишеней магнетронов. Позволяет прогнозировать скорую замену мишеней.
• Удобный ручной режим. Позволяет быстро менять заданные значения устройств. Режим удобен для наладки устройств и проведения пробных процессов.
• Реализованы процедуры «тренировка магнетронов» и «режим «ожидание»

При комплексной модернизации от установки остается железо: каркас, камера, шлюзы и т.д.

Насосы — по усмотрению заказчика.

Удаляются: все стойки, логикон, блоки управления шлюзами, силовые трансформаторы,  балластные резисторы, вибронатекатели, вакуумметры как на форвакуум, так и на высокий и т.д.

ДАЛЕЕ СИСТЕМА СТРОИТСЯ ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ ЗАДАНИЮ ЗАКАЗЧИКА…

Управление вакуумной системой и всеми устройствами осуществляется с персонального компьютера. Это позволяет подстраиваться  под используемые типы насосов и особенности их работы. Возможно создание программ под ваши требования. Например: Возможность формирования задания на каждую пластину или группу пластин. Для подбора параметров процесса возможен автоматический запуск пластин по 1 штуке. Происходит установка заданных параметров на устройства. Запускаются  пластины первой группы. Как только они сходят с конвейера заданные значения устройств меняются и запускается группа пластин. Данная возможность не интересна при поточном производстве. Но для наладочных или исследовательских работ связанных с отработкой технологии это позволит значительно сократить время.

Компьютер убран в стойку управления,  монитор используется с сенсорным экраном (+выдвижная клавиатура и мышь по желанию). Ниже расположены вакуумметры, блоки с модулем управления скоростью конвейера, модулем управления нагревателем, модулем управления азотными питателями. Еще ниже — три импульсных источника питания магнетронов. Еще ниже — блок с пускателями, автоматами и т.д.

На самой установке там, где были силовые трансформаторы расположены модули управления газовакуумным оборудованием и газовая панель с РРГ для подачи в камеру смеси газов в процентном соотношении.

Возможна модернизация по техзаданию Заказчика: возможна любая начинка установки.

Например: диффузионный, криогенный или турбомолекулярный насос. Количество газовводов и их тип так же оговаривается с заказчиком при составлении ТЗ. Возможны внесения изменений в любую часть оборудования: возможна работа магнетронов со стабилизацией заданного тока, а не мощности; возможно убрать ионную очистку или добавить блок вжигания силицидов; мы можем использовать датчики вакуума от различных фирм-изготовителей; и многое другое… 

Этот этап включает в себя закупку, разработку и изготовление составных частей новой системы управления.

Конструктивно новая система управления располагается в 19” стойке. Ориентировочный размер (Ширина*Глубина*Высота) 800*1000*2000. (Фото для примера и может отличаться составом блоков, размером, компоновкой и т.д.)

В стойке расположены следующие блоки и системы:

• Промышленный компьютер с сенсорным или обычным монитором. На экране отображается необходимая информация о прохождении технологического процесса, заданное и фактическое состояние устройств, состояние вакуумной системы и т.д. В фоновом режиме строятся графики давления, температуры, мощности и т.д. с сохранением в архив для последующего анализа. 

• Блок управления вакуумной системой. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок позволяет собирать информацию с датчиков вакуума (на низкий вакуум – ARG100-XM NM16, на высокий — WRG-S,  и управлять всеми пневмоклапанами  вакуумной системы. По согласованию с Заказчиком возможно подключение к любым датчикам вакуума и исполнительным механизмам. Под функциями ручного управления подразумевается возможность включить тот или иной клапан в наладочном режиме.
• Блок управление системой нагрева подложек. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Предназначен для управления галогеновыми элементами с переменным напряжением 220В и мощностью до 4 кВт. Обеспечивает измерение и стабилизацию температуры в диапазоне температур 50…400 гр.С. 

Блок управления процессом. Режим работы блока – автоматический, под управлением промышленного компьютера с дополнительными функциями ручного управления. Блок предназначен для:

• Управления вращением карусели. Обеспечивается контроль и регулирование скорости вращения.
• Управления заслонкой. Обеспечивается автоматическое открытие заслонок по мере прохождения соответствующего интервала и автоматическое закрытие либо по времени, либо по командам от блока измерения толщины. Предусматривается возможность ручного управления.
• Измерение толщины(скорости) напыления SQM160, или по сопротивлению. Также возможно окончание процесса по времени. 

• Управление мощностью электронного(ых) испарителя(ей) (1 или 2 независимых канала) – автоматическое, ручное. При ручном управлении требуемое значение мощности задается в цифровом виде на блоке управления (БУ). БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение. 
  
• Управление мощностью резистивного испарителя (1 канал) – автоматическое, ручное. 
  При ручном управлении требуемое значение мощности задается в цифровом виде на блоке управления (БУ). БУ сам выходит на заданную мощность и стабилизирует значение.

Силовые трансформаторы от электронных испарителей (накальные и высоковольтные) и резистивного испарителя оставляем Ваши или устанавливаем свои. 

Вся работа по этому этапу производится нашими силами и на нашей территории.

Непосредственно на самой установке будут удалены штатные кабели и жгуты, которые по прошествии времени, пришли в негодность и установлены новые кабели, идущие непосредственно от исполнительного устройства до блока управления.

В новую стойку встраиваем Ваши силовые трансформаторы и т.д.

После монтажа производится наладка всей системы управления в комплексе с установкой.

Работа по этому этапу производится на Вашей территории. Для упрощения технического обслуживания установки в будущем, процесс наладки может происходить совместно с Вашими специалистами.

Во время этого этапа производится совместная работа с Вашими специалистами с целью обучения последних.