Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026А
Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-5026А
Посмотреть техническое описание на установку совмещения и экспонирования ЭМ-5026А с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке
Более подробно узнать про новый блок управления установки контактной фотолитографии ЭМ-5026А можно здесь.