1.1. Оборудование для фотолитографии

ООО «Сорэнж» оказывает услуги по поставке, модернизации и ремонту термических установок фотолитографического оборудования

УСТАНОВКА ЗАСВЕТКИ

Наша компания разработала, производит и готова поставить установку засветки фоторезиста с осветителем на основе ультрафиолетового светодиода® .

Установка засветки

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТАНОВКИ

Габариты (Ш*Г*В) 400x550x650 мм (указаны ориентировочно, т.к. частично зависят от выбранной конфигурации)
Вес не более 30 кг.
Питание 220В, 50Гц

Режим работы осветителя 0…180сек с шагом 0.1сек при воздушном охлаждении и непрерывно при водяном охлаждении.

Охлаждение:
1. Воздушное.
2. Водяное.
3. Водяное по замкнутому циклу.

Рабочее поле засветки Возможны варианты:
1. Без оптического конденсора.
2. С оптическим конденсором. Диаметр поля 60мм.
3. С оптическим конденсором. Диаметр поля 100мм.
4. С оптическим конденсором. Диаметр поля 150мм.

Рабочий стол Возможны варианты:
1. Без рабочего столика.
2. С рабочим столиком диаметром 110мм и вакуумной фиксацией подложки в трех независимых точках.
3. С рабочим столиком диаметром 160мм и вакуумной фиксацией подложки в пяти независимых точках.

Шаблонодержатель Возможны варианты:
1. Без шаблонодержателя.
2. С шаблонодержателем под шаблоны 76*76мм
3. С шаблонодержателем под шаблоны 102*102мм
4. С шаблонодержателем под шаблоны 127*127мм
5. С шаблонодержателем под шаблоны 153*153мм

Механизм контактирования подложки с шаблоном Возможны варианты:
1. Без механизма контактирования.
2. С механизмом подъема рабочего столика до положения «контакт»
3. С механизмом подъема рабочего столика до положения «контакт» и компенсацией клина подложки.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ
 Длина волны излучающего диода: 400нм. (опционально: 365нм или 430нм)
 Плавная регулировка мощности излучения.
 Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой.
 Охлаждение источника излучения: встроенное, воздушное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
 Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
 Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
 Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры), аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры), включения экспонирования, аварии.
 Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

spacer

ЭМ-5026А

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026А

Установка совмещения и экспонирования "ЭМ-5026А" с модернизированной СУ

Установка контактной фотолитографии «ЭМ-5026А» с модернизированной СУ

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-5026А

Посмотреть техническое описание  на  установку совмещения и экспонирования  ЭМ-5026А с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке

Более подробно узнать про новый блок управления установки контактной фотолитографии  ЭМ-5026А можно здесь.

 

spacer

AL-6

AL-6

AL-6

AL-6  — Австрийская установка совмещения и фотолитографии.

Недостатком данной установки является возможность «потери» памяти вследствие выхода из строя батареи питания . А, так же замена некоторых модулей только парами (код прошитый в них должен совпадать)

Возможен ремонт Вашей установки нашими специалистами (после предварительного осмотра).

Помимо ремонта, мы готовы предложить Вам варианты перевода данной установки на современную систему управления.

Мы будем рады проконсультировать Вас по всем вопросам, связанными с установкой контактной фотолитографии «AL-6».


 

spacer

ЭМ-586

Установка двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Установка двухстороннего экспонирования ЭМ-586 с модернизированной системой управления

Установка двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Мы провели работу связанную с модернизацией установки двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Посмотреть техническое описание  на  установку совмещения и экспонирования  ЭМ-586 с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке

Более подробно узнать про новый блок управления установки контактной фотолитографии  ЭМ-586 можно здесь.

spacer

ЭМ-5006

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5006

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и подложке с целью переноса изображения фотошаблона на подложку способом экспонирования фоторезистивного слоя подложки.

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии ЭМ-5006 Вы можете по ссылке Буклет ЭМ-5006 (719K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-5006

spacer

AMK-2104

Установка совмещения и экспонирования  AMK-2104-16

АМК-2104

Установка контактной фотолитографии АМК-2104 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

AMK-2104

Установка контактной фотолитографии АМК-2104 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

AMK-2104

Установка контактной фотолитографии АМК-2104 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии AMK-2104-16 Вы можете по ссылке АМК-2104 (670K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии AMK-2104-16.

spacer

ЭМ-576А

Установка совмещения и экспонирования  ЭМ-576А

"ЭМ-576А"

«ЭМ-576А» модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

"ЭМ-576А"

«ЭМ-576А» модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии ЭМ-576А Вы можете по ссылке ЭМ-576А (684K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-576А.

spacer