Установка совмещения и экспонирования  AMK-2104-16

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии AMK-2104-16 Вы можете по ссылке АМК-2104 (670K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии AMK-2104-16.

Установка контактной фотолитографии AMK-2104 с ручной загрузкой пластин. Позволяет работать как с целыми пластинами, так и с кусочками пластин. Установка в большей степени предназначена для проведения опытных и мелкосерийных работ.

Модернизация заключается в замене ртутной лампы на осветитель на основе ультрафиолетового светодиода ®, замена системы управления, панели клапанов, проведение капитального ремонта установки.

Осветитель на основе ультрафиолетового светодиода®

• Длина волны излучающего диода: 400нм.
• Режим свечения: 75% или 100%
• Плавная регулировка мощности излучения: в пределах 25%
• Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой. По предварительной договоренности, уровень сигнала может быть изменен.
• Охлаждение источника излучения и блока управления: встроенное, воздушное.
• Защита по перегреву: термопредохранитель.
• Индикация: включения, режим свечения, аварии по перегреву,
• Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

Блок Управления (БУ)

• Принцип управления – микропрограммный.
• Отображение информации – жидкокристаллический дисплей, 4 строки по 20 символов в строке. Действия установки, ход выполнения процедур отображаются на русском языке в текстовом виде на экране.
• Количество выходов для управления клапанами 24 В – 12 выходов. Выход управления затвором/осветителем – 1 выход
• Датчики – до 3 штук.
• Блок выполняет алгоритмы для проведения экспонирования в режимах:
  1. Контакт
  2. Жесткий контакт
  3. Зазор
• Наличие наладочных и диагностических средств.
• Питание – 220В, 50Гц.

Сравнительная характеристика:   Сравнительная характеристика системы управления  до и после модернизации приведена в таблице:

	До модернизации	После модернизации
Принцип управления	Аппаратный.     Жесткое управление на базе пневмологики, без возможности изменения и подстройки под конкретную установку или технологический процесс	Микропрограммный. Гибкое управление позволяет многократно произвести точную настройку установки под технологический процесс заказчика без изменения аппаратных средств
Надежность	Конструктивно, СУ реализована на большом числе пневмоклапанов, объединенных специфическими резиновыми прокладками и длинными трубками связи от задатчика до исполнительного механизма.	СУ выполнена на одном модуле. Современная элементная база позволила сократить количество элементов и повысить надежность СУ  в целом. Полная гальваническая развязка СУ от питающей сети, от исполнительных механизмов, от датчиков исполнительных механизмов.
Время восстановления и ремонта. Кадровый вопрос.	За счет сложности конструкции и отсутствия вспомогательной (тестовой) информации ремонт СУ  требует квалифицированного персонала с опытом работы на данной установке. А с учетом предыдущего пункта это становиться дорогостояще.	Все управление исполнительными механизмами реализовано по принципу System-on-a-Chip (вся система на одном кристалле). Сигналы датчиков через оптронную развязку поступают на микроконтроллер. Сигналы управления с микроконтроллера через оптронную развязку поступают на ключи. Состояние датчиков и ключей индицируется светодиодами и дублируется на экране ЖК дисплея. Дополняет картину программное обеспечение, которое поясняет выполняемое действие в данный момент действие. т.о. поиск неисправности на установке сводится к следующим действиям:   прочесть на экране ЖКД что ожидает СУ визуально сопоставить индикацию датчиков и ключей проверить работоспособность «вычисленного» датчика, клапана или двигателя. Даже в случае выхода из строя входного/выходного каскада СУ  — проверить работоспособность оптопары и ключа может человек с невысокой квалификацией и без опыта работы на данной установке.
Отображение информации	Отсутствует	Жидкокристаллический дисплей на 4 строки по 20 символов в строке.Основные кнопки пульта управления оснащены встроенными светодиодами. Они не только отображают состояние Вкл./Выкл. но и в дополнение к комментариям на ЖКИ индицируют прохождение того или иного процесса.
Новые возможности	ОТСУТСТВУЮТ	Программное изменение времени задержек на отработку исполнительных механизмов. Гибкость алгоритмов калибровки, совмещение и экспонирования пластин. Диагностика состояния

Техническое описание на блок управления установки совмещения и экспонирования «AMK-2104-16» можно посмотреть здесь: ТехОписание v4

Панель клапанов

• Пневматическая панель — полностью новая.
• Панель собрана в виде единой линейки клапанов.
• Управление клапанами +24 В
• Дроссели. Все дроссели располагаются у своего клапана и легкодоступны для регулировки

Для работы установки достаточно небольшого вакуумного насоса.

Капитальный ремонт

Установка доставляется на наше производство, полностью разбирается, отчищается, красится, производится ремонт или замена неисправных частей, установка недостающих, сборка и наладка.

1. Сроки модернизации — около 3 месяцев.
2. Гарантийные обязательства: Гарантийный срок 12 месяцев.
3. Сертификаты и лицензии: Все предлагаемые блоки имеют сертификат безопасности, ПО лицензировано.

Мы будем рады проконсультировать Вас по всем вопросам, связанными с установкой контактной фотолитографии « AMK-2104-16 ».

Предлагаются к реализации установки контактной фотолитографии «АМК-2104.16», модернизированные ООО «СОРЭНЖ»

Установка рассчитана для работы с подложками следующих параметров:

№	Параметр	Значение
1	Диаметр, мм	36 … 76
2	Толщина, мм	0.2 … 0.4
3	Неплоскостность рабочей поверхности, мкм	≤ 10

 

Установка рассчитана для работы с фотошаблонами следующих параметров:

№	Параметр	Значение
1	Размер, мм	102  * 102
2	Толщина, мм	≤ 3
3	Неплоскостность рабочей поверхности, мкм	≤ 4

 

Установка рассчитана на применение фоторезистов «h-line» со следующими параметрами  нанесенного слоя:

№	Параметр	Значение
1	Толщина слоя фоторезиста, мкм	0.5… 0.8
2	Разнотолщинность слоя, %	≤ 10

 

Некоторый технические параметры:

№	Параметр	Значение
1	Габаритные размеры установки (Ш, Г, В), мм	680, 620, 500
2	Масса, кг	≤ 130
3	Диапазон перемещения подложки по осям X,Y  в пределах круга диаметром  3 мм	Грубое: 7 мм, Точное: 0… 50 мкм
4	Диапазон перемещения подложки по углу	5 °
5	Диапазон перемещения шаблона по осям X,Y	5 мм
6	Диапазон перемещения шаблона по углу	10 °
7	Точность совмещения в каждой измеренной точке в готовом для экспонирования состоянии, мкм	≤ 0.3
8	Размер минимального элемента, мкм	1 (в контакте), 5(на зазоре 0…20мкм)
9	Увеличение объективов микроскопа, крат	10
10	Увеличение окуляров, крат	6.3 или 12.5 или 20
11	Поле зрения микроскопа, мм:	1,9 (при окулярах 6.3х) 0.8 (при окулярах 20х)
12	Точность оптического совмещения, мкм	0.25 (расчетная)

---

---