ЭМ-5006

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5006

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и подложке с целью переноса изображения фотошаблона на подложку способом экспонирования фоторезистивного слоя подложки.

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии ЭМ-5006 Вы можете по ссылке Буклет ЭМ-5006 (719K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-5006

Модернизация заключается в замене ртутной лампы на осветитель на основе ультрафиолетового светодиода ®, замена системы управления, панели клапанов, проведение капитального ремонта установки.

Осветитель на основе ультрафиолетового светодиода®

  • Длина волны излучающего диода: 400нм.
  • Режим свечения: 75% или 100%
  • Плавная регулировка мощности излучения: в пределах 25%
  • Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой. По предварительной договоренности, уровень сигнала может быть изменен.
  • Охлаждение источника излучения и блока управления: встроенное, воздушное.
  • Защита по перегреву: термопредохранитель.
  • Индикация: включения, режим свечения, аварии по перегреву,
  • Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

 Блок Управления (БУ)

БУ ЭМ-5006

БУ ЭМ-5006 разработан и произведен ООО «СОРЭНЖ»

  • Принцип управления – микропрограммный.
  • Отображение информации – жидкокристаллический дисплей, 4 строки по 20 символов в строке. Действия установки, ход выполнения процедур отображаются на русском языке в текстовом виде на экране.
  • Блок выполняет алгоритмы для проведения экспонирования в режимах: Контакт, Вакуумный контакт, Зазор
  • Возможны нестандартные алгоритмы загрузки/выгрузки (в том числе и для прямоугольных подложек).
  • Наличие наладочных и диагностических средств.
  • Питание – 220В, 50Гц.

 

На этом видео показаны комментарии блока управления по ходу выполнения процесса

А здесь наглядно показан процесс выгрузки прямоугольной подложки в обратную сторону

Панель клапанов

  • Пневматическая панель — полностью новая.
  • Панель собрана в виде единой линейки клапанов.
  • Управление клапанами +24 В
  • Дроссели. Все дроссели располагаются у своего клапана и легкодоступны для регулировки

Капитальный ремонт
Установка доставляется на наше производство, полностью разбирается, отчищается, красится, производится ремонт или замена неисправных частей, установка недостающих, сборка и наладка.

Сроки модернизации — около 3 месяцев.

Гарантийные обязательства: Гарантийный срок 12 месяцев.

Сертификаты и лицензии: Все предлагаемые блоки имеют сертификат безопасности, ПО лицензировано.

Посмотреть техническое описание  на  установку совмещения и экспонирования  ЭМ-5006 с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке

По всем вопросам, касающимся модернизации установки контактной фотолитографии ЭМ-5006, перевода на режим работы с прямоугольными подложками, уменьшения размера минимально воспроизводимого элемента, и т.д. и т.п. Вы можете обратиться к нам, написав на E-mail: mail@soreng.ru или позвонить по телефону +7(812)934-4796

Помимо модернизации Вашего оборудования, мы готовы предложить Вам высококачественный ремонт, разовое или постоянное техническое обслуживание, а также поставки нового оборудования.

ПРЕДЛАГАЕТСЯ К РЕАЛИЗАЦИИ УСТАНОВКА КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ «ЭМ-5006», МОДЕРНИЗИРОВАННАЯ  ООО «СОРЭНЖ»

 Установка рассчитана для работы с подложками следующих параметров:

Параметр Значение
1 Диаметр,  (прямоугольник X*Y) мм 76 (60*48)
2 Неплоскостность рабочей поверхности, мкм ≤ 10

 

 Установка рассчитана для работы с фотошаблонами следующих параметров:

Параметр Значение
1 Размер, мм 102  * 102
2 Толщина, мм ≤ 3
3 Неплоскостность рабочей поверхности, мкм ≤ 5

 

  Установка рассчитана на применение фоторезистов «hline» со следующими параметрами  нанесенного слоя:

Параметр Значение
1 Толщина слоя фоторезиста, мкм 0.5… 0.8
2 Разнотолщинность слоя, % ≤ 10

 

Некоторые технические параметры:

Параметр Значение
1 Размер минимального элемента изображения фотошаблона на подложке при экспонировании без зазора, не более

 

2 мкм
2 Размер минимального элемента изображения фотошаблона на подложке при экспонировании с зазором до 10 мкм  не более

 

4 мкм
3 Погрешность совмещения элементов изображений на фотошаблоне и подложке не более 0.5 мкм
4 Невоспроизводимость размера  минимального элемента не более 0.5 мкм
5 Величина зазоров для совмещения и экспонирования, мкм 0…50

spacer