Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5006
ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»
ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»
ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»
НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и подложке с целью переноса изображения фотошаблона на подложку способом экспонирования фоторезистивного слоя подложки.
Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии ЭМ-5006 Вы можете по ссылке Буклет ЭМ-5006 (719K, pdf)
Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-5006
Модернизация заключается в замене ртутной лампы на осветитель на основе ультрафиолетового светодиода ®, замена системы управления, панели клапанов, проведение капитального ремонта установки.
Осветитель на основе ультрафиолетового светодиода®
- Длина волны излучающего диода: 400нм.
- Режим свечения: 75% или 100%
- Плавная регулировка мощности излучения: в пределах 25%
- Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой. По предварительной договоренности, уровень сигнала может быть изменен.
- Охлаждение источника излучения и блока управления: встроенное, воздушное.
- Защита по перегреву: термопредохранитель.
- Индикация: включения, режим свечения, аварии по перегреву,
- Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.
Блок Управления (БУ)
БУ ЭМ-5006 разработан и произведен ООО «СОРЭНЖ»
- Принцип управления – микропрограммный.
- Отображение информации – жидкокристаллический дисплей, 4 строки по 20 символов в строке. Действия установки, ход выполнения процедур отображаются на русском языке в текстовом виде на экране.
- Блок выполняет алгоритмы для проведения экспонирования в режимах: Контакт, Вакуумный контакт, Зазор
- Возможны нестандартные алгоритмы загрузки/выгрузки (в том числе и для прямоугольных подложек).
- Наличие наладочных и диагностических средств.
- Питание – 220В, 50Гц.
На этом видео показаны комментарии блока управления по ходу выполнения процесса
А здесь наглядно показан процесс выгрузки прямоугольной подложки в обратную сторону
Панель клапанов
- Пневматическая панель — полностью новая.
- Панель собрана в виде единой линейки клапанов.
- Управление клапанами +24 В
- Дроссели. Все дроссели располагаются у своего клапана и легкодоступны для регулировки
Капитальный ремонт
Установка доставляется на наше производство, полностью разбирается, отчищается, красится, производится ремонт или замена неисправных частей, установка недостающих, сборка и наладка.
Сроки модернизации — около 3 месяцев.
Гарантийные обязательства: Гарантийный срок 12 месяцев.
Сертификаты и лицензии: Все предлагаемые блоки имеют сертификат безопасности, ПО лицензировано.
Посмотреть техническое описание на установку совмещения и экспонирования ЭМ-5006 с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке
По всем вопросам, касающимся модернизации установки контактной фотолитографии ЭМ-5006, перевода на режим работы с прямоугольными подложками, уменьшения размера минимально воспроизводимого элемента, и т.д. и т.п. Вы можете обратиться к нам, написав на E-mail: mail@soreng.ru или позвонить по телефону +7(812)934-4796
Помимо модернизации Вашего оборудования, мы готовы предложить Вам высококачественный ремонт, разовое или постоянное техническое обслуживание, а также поставки нового оборудования.
ПРЕДЛАГАЕТСЯ К РЕАЛИЗАЦИИ УСТАНОВКА КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ «ЭМ-5006», МОДЕРНИЗИРОВАННАЯ ООО «СОРЭНЖ»
Установка рассчитана для работы с подложками следующих параметров:
| № | Параметр | Значение |
| 1 | Диаметр, (прямоугольник X*Y) мм | 76 (60*48) |
| 2 | Неплоскостность рабочей поверхности, мкм | ≤ 10 |
Установка рассчитана для работы с фотошаблонами следующих параметров:
| № | Параметр | Значение |
| 1 | Размер, мм | 102 * 102 |
| 2 | Толщина, мм | ≤ 3 |
| 3 | Неплоскостность рабочей поверхности, мкм | ≤ 5 |
Установка рассчитана на применение фоторезистов «h—line» со следующими параметрами нанесенного слоя:
| № | Параметр | Значение |
| 1 | Толщина слоя фоторезиста, мкм | 0.5… 0.8 |
| 2 | Разнотолщинность слоя, % | ≤ 10 |
Некоторые технические параметры:
| № | Параметр | Значение |
| 1 | Размер минимального элемента изображения фотошаблона на подложке при экспонировании без зазора, не более
|
2 мкм |
| 2 | Размер минимального элемента изображения фотошаблона на подложке при экспонировании с зазором до 10 мкм не более
|
4 мкм |
| 3 | Погрешность совмещения элементов изображений на фотошаблоне и подложке не более | 0.5 мкм |
| 4 | Невоспроизводимость размера минимального элемента не более | 0.5 мкм |
| 5 | Величина зазоров для совмещения и экспонирования, мкм | 0…50 |
