Установка двухстороннего экспонирования ЭМ-586
Мы провели работу связанную с модернизацией установки двухстороннего экспонирования ЭМ-586
Посмотреть техническое описание на установку совмещения и экспонирования ЭМ-586 с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке
Более подробно узнать про новый блок управления установки контактной фотолитографии ЭМ-586 можно здесь.
Сравнительная характеристика: Сравнительные характеристики систем управления установок совмещения и экспонирования ЭМ-586 до и после модернизации приведена в таблице:
ЭМ-586 до модернизации |
ЭМ-586 после модернизации |
|
Принцип управления | Аппаратный. Жесткое управление, без возможности изменения и подстройки под конкретную установку или технологический процесс | Микропрограммный.Гибкое управление позволяет многократно произвести точную настройку установки под технологический процесс заказчика без изменения аппаратных средств |
Помехоустой-чивость | Отсутствие гальванической развязки СУ от исполнительных механизмов (клапанов, двигателей, и т.д.) | Полная гальваническая развязка СУ:
|
Надежность | Конструктивно, СУ реализована на 10-ти ячейках, построенных на элементной базе 80-х годов прошлого столетия и объединенных длинными линиями связи через многочисленные разъемы. | СУ выполнена на трех модулях с минимальным количеством соединений (с применением промышленного интерфейса связи RS-485).Современная элементная база позволила сократить количество элементов и повысить надежность СУ в целом. |
Время восстановления и ремонта. Кадровый вопрос. | За счет сложности конструкции и отсутствия вспомогательной (тестовой) информации ремонт СУ требует квалифицированного персонала с опытом работы на данной установке. А с учетом предыдущего пункта это становиться дорогостояще. | Все управление исполнительными механизмами реализовано по принципу System-on-a-Chip (вся система на одном кристалле).Сигналы датчиков через оптронную развязку поступают на микроконтроллер. Сигналы управления с микроконтроллера через оптронную развязку поступают на ключи. Состояние датчиков и ключей индицируется светодиодами и дублируется на экране ЖК дисплея. Дополняет картину программное обеспечение, которое поясняет выполняемое действие в данный момент действие. т.о. поиск неисправности на установке сводится к следующим действиям:
Даже в случае выхода из строя входного/выходного каскада СУ — проверить работоспособность оптопары и ключа может человек с невысокой квалификацией и без опыта работы на данной установке. |
Отображение информации | Жидкокристаллический дисплей на 4 строки по 20 символов в строке. Основное меню выполнено в стиле, повторяющем оригинальную конструкцию, что позволяет оператору быстро перейти со старой системы на новую. Основные кнопки пульта управления оснащены встроенными светодиодами. Они не только отображают состояние Вкл./Выкл. но и в дополнение к комментариям на ЖКИ индицируют прохождение того или иного процесса. | |
Управление исполнительными механизмами | Управление двигателями:
По способу управления:
Управление клапанами:
|
Управление двигателями:
Управление клапанами:
|
Питание устройства | Блок питания включает в себя понижающие трансформаторы, выпрямители, сглаживающие фильтры, стабилизаторы напряжения +15В,-15В, +5В, +24В… Питание блока осуществляется от 3-х фазной, 4-х проводной сети переменного тока напряжением 380/220В, 50Гц» | Используются два импульсных источника питания 24В, с защитой от перенапряжения, перегрузки, перегрева и короткого замыкания. Питание осуществляется от однофазной сети переменного тока напряжением 85…264В или постоянного тока 120…370В. Один источник питания 24В, 75Вт запитывает двигатели и клапана. Другой источник 24В, 45Вт запитывает систему управления и датчики исполнительных механизмов. Мощность этого источника выбрана заведомо большей, что позволяет СУ продолжать работу даже при пропадании входного напряжения на время более 1 секунды. |
Новые возможности |
ОТСУТСТВУЮТ |
|
ВНИМАНИЕ!!! Для данного оборудования возможна замена лампы «ДРШ-350» на ультрафиолетовый светодиод. Подробнее здесь
По всем вопросам, касающимся модернизации установки контактной фотолитографии, перевода на режим работы с другими типами подложек, уменьшения размера минимально воспроизводимого элемента, и т.д. и т.п. Вы можете обратиться к нам, написав на E-mail: mail@soreng.ru или позвонить по телефону +7(812)934-4796
Помимо модернизации Вашего оборудования, мы готовы предложить Вам высококачественный ремонт, разовое или постоянное техническое обслуживание, а также поставки нового оборудования.