ЭМ-586

Установка двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Установка двухстороннего экспонирования ЭМ-586 с модернизированной системой управления

Установка двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Мы провели работу связанную с модернизацией установки двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Посмотреть техническое описание  на  установку совмещения и экспонирования  ЭМ-586 с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке

Более подробно узнать про новый блок управления установки контактной фотолитографии  ЭМ-586 можно здесь.

Сравнительная характеристика:   Сравнительные характеристики систем управления установок совмещения и экспонирования  ЭМ-586 до и после модернизации приведена в таблице:

ЭМ-586 до модернизации

ЭМ-586 после модернизации

 Принцип управления Аппаратный.    Жесткое управление, без возможности изменения и подстройки под конкретную установку или технологический процесс  Микропрограммный.Гибкое управление позволяет многократно произвести точную настройку установки под технологический процесс заказчика без изменения аппаратных средств
 Помехоустой-чивость  Отсутствие гальванической развязки СУ от исполнительных механизмов (клапанов, двигателей, и т.д.) Полная гальваническая развязка СУ:

  • от питающей сети.
  • от исполнительных механизмов.
  • от датчиков исполнительных механизмов.
 Надежность  Конструктивно, СУ реализована на 10-ти ячейках, построенных на элементной базе 80-х годов прошлого столетия и объединенных длинными линиями связи через многочисленные разъемы. СУ выполнена на трех модулях с минимальным количеством соединений (с применением  промышленного интерфейса связи RS-485).Современная элементная база позволила сократить количество элементов и повысить надежность СУ  в целом.
 Время восстановления и ремонта. Кадровый вопрос.  За счет сложности конструкции и отсутствия вспомогательной (тестовой) информации ремонт СУ  требует квалифицированного персонала с опытом работы на данной установке. А с учетом предыдущего пункта это становиться дорогостояще. Все управление исполнительными механизмами реализовано по принципу System-on-a-Chip (вся система на одном кристалле).Сигналы датчиков через оптронную развязку поступают на микроконтроллер. Сигналы управления с микроконтроллера через оптронную развязку поступают на ключи. Состояние датчиков и ключей индицируется светодиодами и дублируется на экране ЖК дисплея.
Дополняет картину программное обеспечение, которое поясняет выполняемое действие в данный момент действие. т.о. поиск неисправности на установке сводится к следующим действиям:

  • прочесть на экране ЖКД что ожидает СУ — визуально сопоставить индикацию датчиков и ключей.
  • Проверить работоспособность «вычисленного» датчика, клапана или двигателя.

Даже в случае выхода из строя входного/выходного каскада СУ  — проверить работоспособность оптопары и ключа может человек с невысокой квалификацией и без опыта работы на данной установке.

 Отображение информации  Жидкокристаллический дисплей на 4 строки по 20 символов в строке. Основное меню выполнено в стиле, повторяющем оригинальную конструкцию, что позволяет оператору быстро перейти со старой системы на новую. Основные кнопки пульта управления оснащены встроенными светодиодами. Они не только отображают состояние Вкл./Выкл. но и в дополнение к комментариям на ЖКИ индицируют прохождение того или иного процесса.
 Управление исполнительными механизмами  Управление двигателями:

  • Три реверсивных двигателя.
  • Один не реверсивный.

По способу управления:

  •  Транзисторные ключи (8 транзисторов, 6 диодов и т.д. на один двигатель)

Управление клапанами:

  • транзисторные ключи (3 транзистора, 1 диод и т.д. на один клапан)
 Управление двигателями:

  • Четыре реверсивных двигателя. По способу управления – драйвер управления двигателем постоянного тока с защитой по току и перегреву (одна микросхема на два двигателя).  Возможно изменение скорости двигателя в ШИМ-режиме.

Управление клапанами:

  • Ключи на HEXFET® Power MOSFET от International Rectifier (1 транзистор = 1 ключ). В отличие от ключей на биполярных транзисторах сопротивление открытого ключа составляет 0.2Ω, а следовательно практически отсутствует падение напряжения и клапан работает более стабильно и надежно (очень заметно при работе со старыми, изношенными клапанами)
 Питание устройства Блок питания включает в себя понижающие трансформаторы, выпрямители, сглаживающие фильтры, стабилизаторы напряжения +15В,-15В, +5В, +24В…  Питание блока осуществляется от 3-х фазной, 4-х проводной сети переменного тока напряжением 380/220В, 50Гц»  Используются  два импульсных источника питания 24В, с защитой от перенапряжения, перегрузки, перегрева и короткого замыкания.
Питание осуществляется от однофазной сети переменного тока напряжением 85…264В или постоянного тока 120…370В. Один источник питания 24В, 75Вт запитывает двигатели и клапана. Другой источник 24В, 45Вт  запитывает систему управления и датчики исполнительных механизмов. Мощность этого источника выбрана заведомо большей, что позволяет СУ продолжать работу даже при пропадании входного напряжения на время более 1 секунды.
 Новые возможности

ОТСУТСТВУЮТ

  • Программное изменение времени задержек на отработку клапанов. Изменение  времени  в широком пределе (0 ÷ 2550 мс с дискретом 10 мс на каждые стандартные 500 мс задержки)  позволяет подстроить установку под работу с разными подложками
  • Программное изменение скорости двигателя механизма вертикального перемещения.
  • Возможность работы с подложками диаметром 100мм или прямоугольной формы
  • Время экспозиции может быть задано в широких пределах от 0.1 до 999.9 сек.
  • Гибкость алгоритмов загрузки, выгрузки, калибровки, совмещение и экспонирования пластин.
  • Диагностика состояния модулей

ВНИМАНИЕ!!! Для данного оборудования возможна замена лампы «ДРШ-350» на ультрафиолетовый светодиод. Подробнее здесь

По всем вопросам, касающимся модернизации установки контактной фотолитографии, перевода на режим работы с другими типами подложек, уменьшения размера минимально воспроизводимого элемента, и т.д. и т.п. Вы можете обратиться к нам, написав на E-mail: mail@soreng.ru или позвонить по телефону +7(812)934-4796

Помимо модернизации Вашего оборудования, мы готовы предложить Вам высококачественный ремонт, разовое или постоянное техническое обслуживание, а также поставки нового оборудования.

 

spacer