Установка совмещения и экспонирования ЭМ-576А

«ЭМ-576А» модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии ЭМ-576А Вы можете по ссылке ЭМ-576А (684K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-576А.

Модернизированная установка предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину экспонированием фоторезистивного слоя пластины при фотолитографических процессах изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.
Модернизация заключается в замене ртутной лампы на осветитель на основе ультрафиолетового светодиода ®, замена системы управления, панели клапанов, проведение капитального ремонта установки.

Осветитель на основе ультрафиолетового светодиода®

Длина волны излучающего диода: 400нм.
Режим свечения: 75% или 100%
Плавная регулировка мощности излучения: в пределах 25%
Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой. По предварительной договоренности, уровень сигнала может быть изменен.
Охлаждение источника излучения и блока управления: встроенное, воздушное.
Защита по перегреву: термопредохранитель.
Индикация: включения, режим свечения, аварии по перегреву,
Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

Новый блок управления к установке контактной фотолитографии ЭМ-576А

БУ «ЭМ-576А» разработан и произведен ООО «СОРЭНЖ»

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-576А представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это не только надежная работа и простота обслуживания, но и возможность быстрой перестройки оборудования под изменившиеся задачи Вашего производства. Именно возможность быстрой (и как следствие не дорогой) перенастройки Вашего оборудования дает Вам возможность легко адаптироваться под реалии современного рынка. Так, например: Ваше оборудование было подготовлено для работы на круглых, кремниевых пластинах и Вам поступает крупный заказ, но в качестве подложек выступают увы, прямоугольные пластины 60*48… Наше микропрограммное обеспечение позволит переделать все алгоритмы загрузки, выгрузки, калибровки, экспонирования и т.д. в течение нескольких дней (в зависимости от поставленных Вами задач). При этом Вы не потеряете возможность в любой момент самостоятельно вернуться к старому варианту. Если быть точнее, то у Вас будет выбор режима работы как «раньше» или «по новому», или например «еще новее» и т.д.

Схемотехническое решение блока управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-576А таково, что все входные и выходные цепи имеют гальваническую развязку. А все источники внутреннего электропитания, если не защищены активно то, как минимум, имеют в своей выходной цепи самовосстанавливающиеся предохранители. Как правило, любое внештатное внешнее воздействие, не приводит к трагическим (для блока управления) результатам. И даже в самом крайнем случае, ремонт сводится к замене какой-либо оптопары, что может выполнить и наладчик с небольшим опытом или квалификацией.

Описание системы управления с новым блоком можно посмотреть здесь: ЭМ576_ТО

Панель клапанов

Пневматическая панель — полностью новая.
Панель собрана в виде единой линейки клапанов.
Управление клапанами +24 В
Дроссели. Все дроссели располагаются у своего клапана и легкодоступны для регулировки

Капитальный ремонт

Установка доставляется на наше производство, полностью разбирается, отчищается, красится, производится ремонт или замена неисправных частей, установка недостающих, сборка и наладка.

Сроки модернизации — около 3 месяцев.
Гарантийные обязательства: Гарантийный срок 12 месяцев.
Сертификаты и лицензии: Все предлагаемые блоки имеют сертификат безопасности, ПО лицензировано.

По всем вопросам, касающимся модернизации установки контактной фотолитографии, перевода на режим работы с прямоугольными подложками, уменьшения размера минимально воспроизводимого элемента, и т.д. и т.п. Вы можете обратиться к нам, написав на E-mail: mail@soreng.ru или позвонить по телефону +7(812)934-4796

Помимо модернизации Вашего оборудования, мы готовы предложить Вам высококачественный ремонт, разовое или постоянное техническое обслуживание, а также поставки нового оборудования.

ПРЕДЛАГАЕТСЯ К РЕАЛИЗАЦИИ УСТАНОВКА КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ «ЭМ-576А», МОДЕРНИЗИРОВАННАЯ ООО «СОРЭНЖ»

Установка рассчитана для работы с подложками следующих параметров:

№	Параметр	Значение
1	Диаметр, (прямоугольник X*Y) мм	76 (60*48)
2	Неплоскостность рабочей поверхности, мкм	≤ 10

Установка рассчитана для работы с фотошаблонами следующих параметров:

№	Параметр	Значение
1	Размер, мм	102 * 102
2	Толщина, мм	≤ 3
3	Неплоскостность рабочей поверхности, мкм	≤ 5

Установка рассчитана на применение фоторезистов «h-line» со следующими параметрами нанесенного слоя:

№	Параметр	Значение
1	Толщина слоя фоторезиста, мкм	0.5… 0.8
2	Разнотолщинность слоя, %	≤ 10

Некоторые технические характеристики:

№	Параметр	Значение
1	Размер минимального элемента изображения фотошаблона на подложке при экспонировании без зазора, не более	2 мкм
2	Размер минимального элемента изображения фотошаблона на подложке при экспонировании с зазором до 10 мкм не более	4 мкм
3	Погрешность совмещения элементов изображений на фотошаблоне и подложке не более	0.5 мкм
4	Невоспроизводимость размера минимального элемента не более	0.5 мкм
5	Величина зазоров для совмещения и экспонирования, мкм	0,5,10,15,20,50