ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛИТЕЛЯ «БПМ-2-1000»

Блок питания магнетрона «БПМ-2-1000» предназначен для питания магнетронных распылителей различного типа, используемых в вакуумном оборудовании. Благодаря наличию встроенного ключа, возможна работа как на постоянном токе, так и в импульсном режиме. Блок оснащен системой быстрого дугогошения. Управление блоком питания может осуществляться локально или с удаленного компьютера по интерфейсу RS-485.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА:

•  Напряжение питания  – 220В, 50Гц
• Максимальная потребляемая мощность – 1.5кВт
• Максимальная выходная мощность – 1кВт.
• Диапазон регулирования выходного напряжения – 100 … 750В
• Диапазон регулирования выходного среднего тока – 0.05 … 1.4А
• Диапазон регулирования выходной средней мощности – 50 … 1000Вт
• Амплитуда поджигающего импульса – 800В
• Тип выходного напряжение – постоянное или импульсное униполярное
• Диапазон регулирования частоты импульсов – 1 … 32кГц с дискретностью 1кГц
• Диапазон регулирования скважности – 0 … 512мксек с дискретностью 2мксек
• Режимы стабилизации – напряжения, тока, мощности
• Точность стабилизации – не хуже 5%
• Индикация – ЖК-дисплей
• Охлаждение  –  принудительное, воздушное
• Блокировочный вход  –  есть
• Интерфейс – RS-485

Фрагмент видео с работой источника на резистивную мишень с заданной мощностью 250Вт (В верхней строке LCD-индикатора отображается фактическая мощность, во второй строке индикатора отображаются фактический ток и напряжение, в нижней — заданная мощность и параметры импульсного режима):