Блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006.

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006 представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это не только надежная работа и простота обслуживания, но и возможность быстрой перестройки оборудования под изменившиеся задачи Вашего производства. Именно возможность быстрой (и как следствие не дорогой) перенастройки вашего оборудования дает Вам возможность легко адаптироваться под реалии современного рынка. Так, например: Ваше оборудование было подготовлено для работы на круглых, кремниевых пластинах и Вам поступает крупный заказ, но в качестве подложек выступают, увы, прямоугольные пластины 60*48… Наше микропрограммное обеспечение позволит переделать все алгоритмы загрузки, выгрузки, калибровки, экспонирования  и т.д. в течении нескольких дней (в зависимости от поставленных Вами задач). При этом Вы не потеряете возможность в любой момент самостоятельно вернуться к старому варианту. Если быть точнее, то у Вас будет выбор режима работы как «раньше» или «по новому», или например «еще новее» и т.д.

Новый блок управления установкой ЭМ-5006 обеспечивает:

1. подключение до 6-ти двигателей постоянного тока с реверсом и регулированием скорости.
2. управление 24 ключами, посредством которых происходит управление клапанами, затвором, и т.д.
3. подключение до 20 дискретных датчиков от установки.
4. подключение до 2-х аналоговых сигналов в диапазоне от 0 до 10В.

Наличие таких избыточных возможностей позволяет расширить сферу применения Вашего оборудования.

Схемотехническое решение блока управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006 таково, что все входные и выходные цепи имеют гальваническую развязку. А все источники внутреннего электропитания, если не защищены активно, то как минимум имеют в своей выходной цепи самовосстанавливающиеся предохранители. Как правило, любое внештатное внешнее воздействие, не приводит к трагическим результатам для блока управления. И даже в самом крайнем случае, ремонт сводится к замене какой-либо оптопары, что может выполнить и наладчик с небольшим опытом или квалификацией.

Конструктивно новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006 выполнен в отдельном корпусе. Располагается он на виду, в непосредственной близости от оператора и для удобства имеет выносной пульт. Все подключение к оборудованию производится посредством штатных разъемов, что несомненно экономит время при подключении, а так же оставляет возможность вернуться к «родной» системе управления (правда желающих не было — к хорошему быстро привыкаешь).

На видеоролике вы увидите работу установки с новым блоком управления в режиме загрузки прямоугольных подложек и выгрузкой их обратно, на стол ориентации.

По всем вопросам касающимся модернизации установки контактной фотолитографии Вы можете обратиться к нам по E-mail: mail@soreng.ru  или позвонить по телефону +7(812)934-4796

Помимо модернизации Вашего оборудования, мы готовы предложить Вам высококачественный ремонт, разовое или постоянное техническое обслуживание, а также поставки нового оборудования.

---