HCVD-55

«HCVD-55» предназначена для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении. Целью модернизации установки «HCVD-55» является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Возможна разная модернизация установок «HCVD-55». Мы готовы предложить Вам новые системы управления нагревом, загрузкой, газо-вакуумным оборудованием и т.д. Рассмотрим некоторые варианты более подробно :

Модернизация системы управления нагревом установки «HCVD-55» :

  • Удаляем всю электронику связанную с системой  нагрева.
    IMG_0334

    Новые блоки управления нагревом установки HCVD-55

    Устанавливаем современные блоки управления нагревом БУН-5, БУН-7. Эти блоки собирают данные о температуре в цифровом виде с модуля ввода сигналов термопар и выполняют фазовое управление тиристорами в системе питания нагревателей по всем трем зонам. термопары, силовые тиристоры, трансформаторы остаются прежние …

Небольшую переделку потребует панель с пускателями…

  • Устанавливаем модули ввода сигналов термопар I-7018  рядом с термопарами.
Модули ввода с термопар на установке HCV-55

Модули ввода с термопар на установке HCVD-55

Этот модуль удобен тем, что к нему могут быть подключены термопары разных типов:  J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M

I-7018 имеет внутренний датчик температуры для компенсации холодных концов термопары.

Связь с БУН-ом осуществляется по цифровому, защищенному промышленному интерфейсу RS-485, что гарантирует отсутствие помех при передаче данных. БУН-ы имеют независимую защиту по перегреву, по обрыву термопары, по отсутствии связи с модулем ввода сигналов термопар I-7018 и потере связи с управляющим комплексом верхнего уровня.

Модернизация системы загрузки установки «HCVD-55» :

ZagrOld

Целый шкаф — удален вместе со всем содержимым…

Как и в случае с системой нагрева — удаляем ненужное — целиком шкаф с модулями управления загрузчиками  и переукладчиком. Остаются только сами механизмы, двигатели и датчики. Так же остаются пневмоклапаны управления заслонкой.

ProgLoad

Программа управления загрузчиком и переукладчиком HCVD-55

Новая система управления процессами загрузки/выгрузки осуществляет управление в автоматическом и ручном режимах.

Автоматический режим позволяет осуществлять:  Полный цикл загрузки с заданной скоростью по команде от управляющего комплекса верхнего уровня; Полный цикл выгрузки с заданной скоростью по команде от управляющего комплекса верхнего уровня.

Ручной режим – возможность управления любым исполнительным механизмом загрузчика в любую сторону, в любое время с персонального компьютера. Причем после вмешательства оператора есть возможность продолжить выполнение операции в автоматическом режиме.

Переукладчик HCV-55

Новая система управления переукладчиком

Модуль управления переукладчиком представляет из себя печатную плату размером 160 х 100 мм. и устанавливается непосредственно в штатном ящике где расположен двигатель и редуктор переукладчика.

 

 

 

IMAGE_426

Размещение новых модулей управления загрузчиками установки HCVD-55

Три модуля управления загрузчиком, каждый из которых представляет собой печатную плату размером 160 х 100 мм.  устанавливаются непосредственно на установке, внизу, под загрузчиками.

Там же установлены блоки питания для загрузчиков и переукладчика.

Модернизация газо-вакуумного оборудования установки «HCVD-55» :

IMG_0331

Модули ввода/вывода в шкафу с РРГ установки HCVD-55

Для управления регуляторами расхода газа (РРГ) и клапанами в шкафу разместили модули дискретного и аналогового ввода/вывода. Эти модули управляются персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485.

 

 

IMG_0337

Модули ввода/вывода в шкафу установки HCVD-55

 

Аналогичные модули установлены и здесь… Они служат для управления клапанами откачки, напуска и т.д., сбора данных с различных датчиков, управлением РРГ поддержания заданного давления и многое другое…

 

 

Программное обеспечение:

Prog_1

IMG_0348

Выход на заданную температуру всех трех зон нагревателя… В клетке по вертикали — 1 градус Цельсии, по горизонтали — время, 2 минуты

Преимуществами новой системы управления являются: 
— Графическое отображение температуры, расходов газа, давления и т.д. с возможностью масштабирования по времени и значению.
— Наглядное отображение газо-вакуумной схемы на экране монитора с отображением фактического значения расходов, давлений, состояния клапанов и т.д.
— Возможность прервать цикл загрузки или выгрузки в любой момент, сделать обратное движение и затем продолжить с текущего места.
— Описание технологического процесса (рецепта) происходит с помощью стандартных (для этой системы) функций (LVAC и т.д.). Это позволяет технологам быстрее привыкнуть к новой системе. В программе предусмотрена возможность перейти на русский или английский язык. Это позволяет технологам описывать тех. процесс в доступной форме (без запоминания сокращений немецкого языка)
— Сбор и архивирование всех данных и всех событий, происходящих во время выполнения технологического процесса.

Здесь можно посмотреть описание программы управления «HCVD-55» с новой системой управления

 

Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установки «HCVD-55», так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.

 

spacer