2.1. Термическое оборудование

ООО «Сорэнж» оказывает услуги по поставке, модернизации и ремонту термических установок

«УТНО» — установка для получения окисных пленок.

«УТНО» — установка для получения окисных пленок методом низкотемпературного разложения силана.

С целью модернизации установки, ООО «СОРЭНЖ» разработало и произвело новую систему управления.dsc_1501

Система управления обеспечивает:

  • Подачу газов по трем независимым каналам:

Аргон (Ar) – расход 400-700 л/ч.
Смесь моносилана и аргона (SiH4+Ar) – расход 10-30 л/ч.
Кислород (О2) – расход 2-4 л/ч.

spacer

«ФОТОН» — УСТАНОВКА ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

С целью модернизации, ООО «СОРЭНЖ» разработана и произведена система управления для установки выращивания монокристаллов из расплава.

ФОТОН

Установка выращивания монокристаллов

 

 

 

 

 

 

Основные технические характеристики системы управления:

  1. Блоки управления двумя резистивными нагревателями:

    БУМ

    Блок управления мощностью

  • 50Вх1000А
  • 30Вх1000А
spacer

«ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4»

МОДЕРНИЗАЦИЯ УСТАНОВОК ОСАЖДЕНИЯ «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4»

При модернизации установок «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4» производится замена штатных блоков контроля температуры и управления нагревателями, загрузки, газовакуумного оборудования на современную СИСТЕМУ УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ.

Предлагаемая система (СУ) обеспечивает управление всем технологическим циклом работы установки. При этом позволяет контролировать и управлять неограниченным количеством процессов на одном и том же канале. Предоставляет возможность выбора различных температурных режимов. Кроме того, предусмотрена архивация данных: все события технологического процесса, заданные и фактические параметры, действия оператора — фиксируются и архивируются для дальнейшего анализа. Система обеспечивает постоянный контроль работоспособности модулей и блоков, а программное обеспечение включает в себя тестовые и наладочные компоненты.

Скачать краткое описание по модернизации установок «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4»  Вы можете по ссылке Буклет Изотрон (766K, pdf)

spacer

HCVD-55

«HCVD-55» предназначена для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении. Целью модернизации установки «HCVD-55» является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Возможна разная модернизация установок «HCVD-55». Мы готовы предложить Вам новые системы управления нагревом, загрузкой, газо-вакуумным оборудованием и т.д. Рассмотрим некоторые варианты более подробно :

spacer

СД.ОМ-3/100

«СД.ОМ-3/100» —  система диффузионная однозонная многотрубная. Предназначена для различных процессов термодиффузии на подложках диаметром до 100 мм.

Целью модернизации установки «СД.ОМ-3/100» является:

  1. Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
  2. Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
  3. Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
  4. Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
  5. Сокращения времени восстановления и ремонта.
  6. Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.

Скачать краткое описание по модернизации установки «СД.ОМ-3/100»  Вы можете по ссылке Буклет СД.ОМ-3-100 (664K, pdf)

Возможна разная модернизация установок «СД.ОМ-3/100». Мы готовы предложить Вам новые системы управления нагревом, загрузкой, газовым шкафом и т.д. Возможна замена как какой-то одной системы, так и целиком всех. Рассмотрим некоторые варианты более подробно :

spacer