«УТНО» — установка для получения окисных пленок методом низкотемпературного разложения силана.
С целью модернизации установки, ООО «СОРЭНЖ» разработало и произвело новую систему управления.
Система управления обеспечивает:
Окт102016
2.1. Термическое оборудование
ООО «Сорэнж» оказывает услуги по поставке, модернизации и ремонту термических установок
Окт102016
«ФОТОН» — УСТАНОВКА ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ
С целью модернизации, ООО «СОРЭНЖ» разработана и произведена система управления для установки выращивания монокристаллов из расплава.
Установка выращивания монокристаллов
Янв062016
«ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4»
МОДЕРНИЗАЦИЯ УСТАНОВОК ОСАЖДЕНИЯ «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4»
При модернизации установок «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4» производится замена штатных блоков контроля температуры и управления нагревателями, загрузки, газовакуумного оборудования на современную СИСТЕМУ УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ.
Предлагаемая система (СУ) обеспечивает управление всем технологическим циклом работы установки. При этом позволяет контролировать и управлять неограниченным количеством процессов на одном и том же канале. Предоставляет возможность выбора различных температурных режимов. Кроме того, предусмотрена архивация данных: все события технологического процесса, заданные и фактические параметры, действия оператора — фиксируются и архивируются для дальнейшего анализа. Система обеспечивает постоянный контроль работоспособности модулей и блоков, а программное обеспечение включает в себя тестовые и наладочные компоненты.
Скачать краткое описание по модернизации установок «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4» Вы можете по ссылке Буклет Изотрон (766K, pdf)
Мар142015
HCVD-55
«HCVD-55» предназначена для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении. Целью модернизации установки «HCVD-55» является:
- Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
- Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
- Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
- Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
- Сокращения времени восстановления и ремонта.
- Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.
Возможна разная модернизация установок «HCVD-55». Мы готовы предложить Вам новые системы управления нагревом, загрузкой, газо-вакуумным оборудованием и т.д. Рассмотрим некоторые варианты более подробно :
Мар142015
СД.ОМ-3/100
«СД.ОМ-3/100» — система диффузионная однозонная многотрубная. Предназначена для различных процессов термодиффузии на подложках диаметром до 100 мм.
Целью модернизации установки «СД.ОМ-3/100» является:
- Создание новой системы управления (СУ) с использованием современных средств электроники и вычислительной техники.
- Расширение номенклатуры проводимых процессов за счет применения современных программных средств.
- Замена старых, исчерпавших свой ресурс модулей и блоков.
- Улучшение показателей помехоустойчивости и надежности.
- Сокращения времени восстановления и ремонта.
- Снижение требований к квалификации обслуживающего персонала.
Скачать краткое описание по модернизации установки «СД.ОМ-3/100» Вы можете по ссылке Буклет СД.ОМ-3-100 (664K, pdf)
Возможна разная модернизация установок «СД.ОМ-3/100». Мы готовы предложить Вам новые системы управления нагревом, загрузкой, газовым шкафом и т.д. Возможна замена как какой-то одной системы, так и целиком всех. Рассмотрим некоторые варианты более подробно :