«УТНО» — установка для получения окисных пленок методом низкотемпературного разложения силана.

С целью модернизации установки, ООО «СОРЭНЖ» разработало и произвело новую систему управления.

Система управления обеспечивает:

• Подачу газов по трем независимым каналам:

Аргон (Ar) – расход 400-700 л/ч.
Смесь моносилана и аргона (SiH₄+Ar) – расход 10-30 л/ч.
Кислород (О₂) – расход 2-4 л/ч.

• Поддержание заданной температуры столика в диапазоне 25…400⁰С
• Вращение рабочего столика с заданной скоростью.

 

---

 

---