«УТНО» — установка для получения окисных пленок.

«УТНО» — установка для получения окисных пленок методом низкотемпературного разложения силана.

С целью модернизации установки, ООО «СОРЭНЖ» разработало и произвело новую систему управления.dsc_1501

Система управления обеспечивает:

  • Подачу газов по трем независимым каналам:

Аргон (Ar) – расход 400-700 л/ч.
Смесь моносилана и аргона (SiH4+Ar) – расход 10-30 л/ч.
Кислород (О2) – расход 2-4 л/ч.

  • Поддержание заданной температуры столика в диапазоне 25…4000С
  • Вращение рабочего столика с заданной скоростью.

 

dsc_1497

Установка «УТНО»

dsc_1503

Дисплей

dsc_1494

Блок управления

dsc_1491

Газовая панель

spacer