Новый блок управления к установке контактной фотолитографии ЭМ-576А

БУ "ЭМ-576А"

БУ «ЭМ-576А» разработан и произведен ООО «СОРЭНЖ»

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-576А представляет собой микропрограммное устройство, созданное на базе восьми разрядного микроконтроллера с RISC-архитектурой фирмы «ATMEL». Применение современной элементной базы это не только надежная работа и простота обслуживания, но и возможность быстрой перестройки оборудования под изменившиеся задачи Вашего производства. Именно возможность быстрой (и как следствие не дорогой) перенастройки Вашего оборудования дает Вам возможность легко адаптироваться под реалии современного рынка. Так, например: Ваше оборудование было подготовлено для работы на круглых, кремниевых пластинах и Вам поступает крупный заказ, но в качестве подложек выступают увы, прямоугольные пластины 60*48… Наше микропрограммное обеспечение позволит переделать все алгоритмы загрузки, выгрузки, калибровки, экспонирования  и т.д. в течение нескольких дней (в зависимости от поставленных Вами задач). При этом Вы не потеряете возможность в любой момент самостоятельно вернуться к старому варианту. Если быть точнее, то у Вас будет выбор режима работы как «раньше» или «по новому», или например «еще новее» и т.д.

Схемотехническое решение блока управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-576А таково, что все входные и выходные цепи имеют гальваническую развязку. А все источники внутреннего электропитания, если не защищены активно то, как минимум, имеют в своей выходной цепи самовосстанавливающиеся предохранители. Как правило, любое внештатное внешнее воздействие, не приводит к трагическим (для блока управления)  результатам. И даже в самом крайнем случае, ремонт сводится к замене какой-либо оптопары, что может выполнить и наладчик с небольшим опытом или квалификацией.

Описание системы управления с новым блоком можно посмотреть здесь: ЭМ576_ТО