Установка осаждения слоев нитрида кремния и поликремния УЭ.ДГЭ-150-008 «Изотрон 4-150» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации ДЕМ2.030.055 ТО, 1988г.
Открыть 1-10 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Изотрон-4-ТОл.1-10
Скачать 1-10 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Изотрон-4-ТОл.1-10
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-576А» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М3.252.161.ТО, 1982г.
Открыть 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-576А-ТО-стр.2-7.pdf
Скачать 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-576А-ТО-стр.2-7.pdf
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5026» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.169.ТО, 1986г.
Открыть 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке:ЭМ-5026-ТО-л.1-8
Скачать 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5026-ТО-л.1-8.pdf
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5026А» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.177.ТО, 1989г.
Открыть 4-11 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке:ЭМ-5026А-ТО-л.4-11
Скачать 4-11 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5026А-ТО-л.4-11
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.152.ТО, 1984г.
Открыть 1-8 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5006-ТО-л.1-8
Скачать 1-8 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5006-ТО-л.1-8
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.16» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации, 1980г.
Открыть 1-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.16-ТОл1-9
Скачать 1-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.16-ТОл1-9
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.11 и AMK-2104.12 » . Техническое описание и инструкция по эксплуатации, 1980г.
Открыть 2-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.11-12-ТОл.2-9
Скачать 2-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.11-12-ТОл.2-9
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.00, AMK-2104.01, AMK-2104.02 и AMK-2104.03 » . Техническое описание и инструкция по эксплуатации, 1980г.
Открыть описание в формате .pdf Вы можете по ссылке: 2104.00-03-ТО
Скачать описание в формате .pdf Вы можете по ссылке: 2104.00-03-ТО
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка двухстороннего совмещения и экспонирования «ЭМ-565А» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.134-01 ТО/ЦУ, 1982г.
Открыть 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-565-ТОл.1-6
Скачать 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-565-ТОл.1-6
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка двухстороннего совмещения и экспонирования «ЭМ-586» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.144 ТО, 1978г.
Открыть 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-586-ТОл.1-6
Скачать 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-586-ТОл.1-6
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-526» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.005, 1975г.
Открыть 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке:ЭМ-526-ТОл.1-4
Скачать 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-526-ТОл.1-4
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)
НАЗНАЧЕНИЕ
Осветители системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода разработаны и выпущены ООО «СОРЭНЖ» на замену ртутных ламп «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500», «HBO». Новые осветители уже используются на установках контактной фотолитографии:
МЫ ГОТОВЫ ПРЕДОСТАВИТЬ ОСВЕТИТЕЛЬ НА ДВЕ НЕДЕЛИ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИСПЫТАНИЙ. МЫ ПРИЕДЕМ И УСТАНОВИМ ОСВЕТИТЕЛЬ БЕЗВОЗМЕЗДНО. ЧЕРЕЗ ДВЕ НЕДЕЛИ ИЛИ ОПЛАТИТЕ ИЛИ ВЕРНЕТЕ.
Рассмотрим монтаж нового осветителя системы экспонирования на примере установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А».
1. Из состава установки удаляем фонарь. Целиком, вместе с лампой, параболическим зеркалом, «горячим» зеркалом, высоковольтным блоком поджига, трубками охлаждения, кабелем идущим к нему и т.д.
2. Так как светодиод не горит постоянно, а лишь зажигается на время экспонирования, то мы удалям затвор системы экспонирования (за ненадобностью).
3. Устанавливаем основание с закрепленным на нем новым источником ультрафиолетового излучения в сборе. Основание входит в комплект поставки. Крепление основания производиться в «родные» отверстия, так что ничего сверлить и переделывать не надо.
4. Устанавливаем блок управления и соединяем его с источником ультрафиолетового излучения. Подключаем БУ к питающей сети (85…250В , 50..60Гц).
5. Подключаем разъем, ранее идущий к затвору установки, в блок управления осветителем. Таким образом, вместо открытия/закрытия затвора будет происходить включение/выключение светодиода.
6. Все. На этом монтаж закончен. Можно приступать к отсъемам.
РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ, ПОЛУЧЕННЫЕ НА РАЗНЫХ УСТАНОВКАХ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ С ПОМОЩЬЮ ОСВЕТИТЕЛЯ НА УФ СВЕТОДИОДАХ С ДЛИНАМИ ВОЛН 400нм и 365нм
НЕМНОГО ВИДЕО О РАБОТЕ ОСВЕТИТЕЛЕЙ…
Установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» предназначена для переноса изображения фотошаблона на подложку экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов.
| Габариты (Ш*Г*В) Вес | 400x850x650 мм не более 60 кг. |
| Питание | 180 … 220В, 50 … 60Гц |
| Режим работы осветителя | С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…60 сек. с шагом 0.1сек. Размер станции охлаждения (Ш*Г*В) неболее 270х500х350мм |
| Рабочее поле засветки | С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм. Возможны варианты: С оптическим конденсором. Диаметр поля 60 мм. С оптическим конденсором. Диаметр поля 76 мм. С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм. С оптическим конденсором. Диаметр поля 150 мм. Без оптического конденсора. |
| Рабочий стол | С рабочим столиком диаметром 100мм. С вакуумной фиксацией пластины (диаметр максимальной канавки 90мм). Возможны варианты: С рабочим столиком под подложки произвольной фомы. С рабочим столиком диаметром 60мм. С рабочим столиком диаметром 76мм. С рабочим столиком диаметром 150мм. |
| Толщина подложки | 0.5 … 1мм Возможны варианты: 0.5 … 1.3мм 0.8 … 1.6мм 1.0 … 1.8мм 1.5 … 2.3мм |
| Контактирование подложки с шаблоном | Вакуумный контакт подложки с шаблоном. |
| Длина волны источника УФ излучения | 365нм. Возможны варианты: 400нм. 430нм. |
| Система совмещения | Основание шаблонодержателя с вакуумной фиксацией. Шаблонодержатель под шаблон 127*127мм. С вакуумной фиксацией шаблона. С возможностью ручного перемещения шаблона с помощью по осям X и Y в пределах 5мм и поворота в пределах 6 градусов. Ручная настройка рабочего столика по высоте в пределах 8мм. Возможны варианты: Установлены приспособления для шаблонодержателя 76мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя 102мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя 127мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя 152мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя по чертежам заказчика. |
| Система визуального контроля | Монокулярный микроскоп с панкратической системой – 2шт. Поворотный штати с возможностью регулировки по фокусу — 2шт. Цифровая камера – 2шт. Внутренняя светодиодная подсветка с источником питания – 2шт. Монитор для отображения видеоинформации с сумматором видеосигналов с двух камер – 1шт. Возможны варианты: С одним микроскопом и внутренней или внешней подсветкой. |
Для работы установки необходимо подключить ее к однофазной питающей сети 220В, 50Гц (потребляема мощность не более 1.5кВт)
Для работы установки необходимо подключить ее к вакуумной магистрали с остаточным давлением не более 0.2кгс/см2
Установку следуют эксплуатировать в помещениях со следующими параметрами технологического микроклимата:
Допустимые амплитуды виброперемещений основания под установкой не должны превышать : 5мкм при частоте до 5 Гц и 0.3 мкм при частоте от 5 до 20Гц.
Скачать краткое техническое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:
Рекламный листок с техническими параметрами установки совмещения и экспонирования«УСЭ-004»:
Установка экспонирования «УЭС-003» предназначена для переноса изображения фотошаблона на
подложку (без совмещения изображений шаблона и подложки) экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС.
| Габариты (Ш*Г*В) Вес | 400x550x650 мм не более 30 кг. |
| Питание | 180 … 220В, 50 … 60Гц |
| Режим работы осветителя | По выбору: С воздушным охлаждением: 0…19,9 сек. с шагом 0.1сек. С водяным охлаждением: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек. С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек. |
| Рабочее поле засветки | По выбору: С оптическим конденсором. Диаметр поля 60 мм. С оптическим конденсором. Диаметр поля 76 мм. С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм. С оптическим конденсором. Диаметр поля 150 мм. Без оптическим конденсора. |
| Рабочий стол | По выбору: Без рабочего столика. С рабочим столиком под подложки произвольной фомы. С рабочим столиком диаметром 60мм. С рабочим столиком диаметром 76мм. С рабочим столиком диаметром 100мм. С рабочим столиком диаметром 150мм. |
| Шаблонодержатель | По выбору: Без шаблонодержателя. Установлены приспособления для шаблонодержателя 76мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя 102мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя 127мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя 152мм. Установлены приспособления для шаблонодержателя по чертежам заказчика. |
| Механизм контактирования подложки с шаблоном | По выбору: Без механизма контактирования. С механизмом контактирования. |
| Длина волны источника УФ излучения | По выбору: 365нм. 400нм. 435нм |
Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:
Установка засветки «УЗР-002» предназначена для засветки фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов изготовления ИС.
| Габариты (Ш*Г*В) Вес | 400x550x650 мм не более 30 кг. |
| Питание | 220В, 50Гц |
| Режим работы осветителя | По выбору: С воздушным охлаждением: 0…19,9 сек. с шагом 0.1сек. С водяным охлаждением: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек. С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…999,9 сек. с шагом 0.1сек. |
| Рабочее поле засветки | По выбору: Диаметр поля 60 мм. Диаметр поля 76 мм. Диаметр поля 100 мм. Диаметр поля 150 мм. |
| Рабочий стол | По выбору: Без рабочего столика. С рабочим столиком под подложки произвольной фомы. С рабочим столиком диаметром 60мм. С рабочим столиком диаметром 76мм. С рабочим столиком диаметром 100мм. С рабочим столиком диаметром 150мм. |
| Длина волны источника УФ излучения | По выбору: 365нм. 400нм. 435нм |
Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке:
Полуавтомат скрайбирования пластин «Алмаз-С» разработан и произведен в ООО «СОРЭНЖ».
Полуавтомат скрайбирования пластин «Алмаз-С» предназначен для скрайбирования полупроводниковых пластин, ситалловых и стеклянных подложек (с нанесенными схемами или без них) одним или двумя резцами на элементы произвольной формы.
Скрайбер «Алмаз-С» выпущен на замену известных полуавтоматических скрайберов «Алмаз-М» и СКЦИ.442142.001
Скачать рекламный листок про скрайбер «АЛМАЗ-С» в формате .pdf вы можете по ссылке:
Возможна поставка установок совмещения и экспонирования «АМК-2104.16«, «АМК-2104.02«, «АМК-2104.03» с проведенным капитальным ремонтом и модернизацией.
ООО «СОРЭНЖ» готово предложить произвести капитальный ремонт установки совмещения и экспонирования «AMK-2104» любых модификаций.
Для этого установка транспортируется на наше производство. Установка полностью разбирается, производится покраска элементов конструкции. Производится полный ремонт всех механических узлов, шлифовка или замена изношенных деталей. Производится замена «пневмо-логики» на панель клапанов. «Логика» уходит в блок управления. Все пневмовакуумные трубки меняются. Осуществляется замена осветителя системы экспонирования на основе лампы HBO на систему на основе ультрафиолетового светодиода. Всю старую электронику (большой блок управления) выкидываем и устанавливаем современную систему управления.
Срок выполнения работы зависит от нашей загруженности и составляет от 2 до 4 месяцев. Гарантия на поделанную работу — 1 год.
По отдельной договоренности возможен обмен Вашей установки на установку с уже проведенным ремонтом и модернизацией.
Скачать рекламный листок по модернизации установки совмещения и экспонирования «AMK-2104.16» («АМК-2104.02«, «АМК-2104.03«) в формате .pdf Вы можете по ссылке:
Целью модернизации установок осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150» является:
Как правило, модернизация установок
«ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4» проходит в два этапа:
1 – этап: Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 2 недель до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.
2 – этап: Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.
Модернизация проводится путем замены штатных блоков контроля температуры и управления нагревателями, загрузки, газовакуумного оборудования на их современные аналоги.
Предлагаемая система (СУ) обеспечивает управление всем технологическим циклом работы установки. При этом позволяет контролировать и управлять неограниченным количеством процессов на одном и том же канале.
В основную комплектацию Системы входит:
Новая СУ заменяет старые блоки – «ПИ.ТРА»; «БУТ»; стойку управления, включая БУ «Орион»; блок управления загрузкой; источники питания и ключи «КТ-8», размещенные в «УГ- 9».
Предлагаемая комплектация предполагает сохранение следующих узлов без изменения: силовых трансформаторов, тиристоров, пускателей в системе нагрева. При необходимости, и по отдельной договоренности, возможна их замена.
В дополнительную комплектацию Системы могут входить:
1. Вакуумный пост (производства ООО «Сорэнж») 3 компл.
2. Вакуумметры, тип и производитель по Вашему выбору 3 шт.
С технической стороны, установки «Изотрон-3», «Изотрон-4» можно условно разделить на четыре системы: электропечь, газовакуумный шкаф, загрузчик, управляющая программа.
«БУН» (Блок управления нагревом производства ООО «Сорэнж») это современные блоки с цифровым управлением. Поддержание температуры с точностью до 0.3 градусов Цельсии. «БУН» имеет самотестирование, контролирует наличие связи с персональным компьютером и модулем ввода с термопары – безопасно остановит работу в случае зависания компьютера или выхода из строя модуля ввода с термопар. Распознает обрыв термопары и контролирует перегрев по внутренней уставке. «БУН» работает в паре с модулем ввода с термопар «I-7018R». «I7018R» устанавливается в непосредственной близости от термопар и преобразует сигнал термопары в цифровой код, который по промышленному, цифровому интерфейсу передается в «БУН», и далее транслируется в компьютер. Возможно подключение разных типов термопар (J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M) без изменения программного обеспечения. «I-7018R» имеет встроенный датчик для автоматической компенсации «холодных» концов термопары. Подключение ко всем исполнительным устройствам происходит с помощью кабелей входящих в комплект поставки. Обычно, старыми остаются силовые трансформаторы, тиристоры, пускатели, предохранители и силовая проводка. Вся проводка, касающаяся управления – новая.
В шкафу на месте старых источников питания и транзисторных ключей «КТ-8», располагаются новые блоки управления ГШ («БУГШ» производства ООО «Сорэнж»). В блоке расположены модули управления клапанами, ЦАП, АЦП. Также обеспечивается опрос датчиков, вакуумметров, управление работой вакуумного поста, вакуумным затвором и всем необходимым оборудованием. Модули имеют связь с персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485. Блоки и модули взаимозаменяемые, не зависимо от технологического процесса проводимого на данном канале. Существует резерв цифровых и аналоговых сигналов на случай нестандартного использования. Подключение к исполнительным устройствам провидится с помощью новых кабелей. Таким образом, вся проводка в газовом шкафу становиться новой.
Новый «БУЗ» (производства ООО «Сорэнж») работает в автоматическом режиме. Состояние всех датчиков, двигателей, режимов и функций индицируется на экране компьютера.
Скорость загрузки/выгрузки задается в технологическом процессе (рецепте).
Подключение нового блока управления загрузчиком осуществляется штатными разъемами установки.
Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти компьютера. Их количество практически не ограничено. Количество температурных полок также не ограничено. Предусмотрен вывод на полку за определенное время (по линейному закону). На мониторе ПК отображается заданная и фактическая температура по каждой из зон нагревателя, заданные и фактические расходы в л/час, состояние всех датчиков, клапанов, состояние модулей системы управления и т.д. Щелкая мышкой на клапан или РРГ возможно изменение состояния устройства. Помимо этого, отображаются графики по каждой из зон нагревателя, РРГ и значению давления. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению. Кроме того, предусмотрена архивация данных: все события технологического процесса, заданные и фактические параметры, действия оператора фиксируются и архивируются для дальнейшего анализа. Система обеспечивает постоянный контроль работоспособности модулей и блоков, а программное обеспечение включает в себя тестовые и наладочные компоненты.
Под Ваши задачи мы готовы внести любые изменения как в аппаратную часть системы управления установок «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150» , так и в программную, а так же готовы ответить на все Ваши вопросы.
Скачать краткий рекламный листок по модернизации установок осаждения «ИЗОТРОН-3-150» и «ИЗОТРОН-4-150», Вы можете по ссылке:
Целью модернизации установок «ОКСИД-3Д» (для процессов термодиффузии) и «ОКСИД-3ПО» (для процессов окисления с пирогенным формированием пара) является:
Как правило, модернизация установок
«ОКСИД» проходит в два этапа:1 – этап: Закупка необходимой комплектации, изготовление новых блоков, подготовительные работы. Этот этап проходит на нашей территории и занимает от 2 недель до 3 месяцев, в зависимости от загруженности производства.
2 – этап: Монтаж новой системы управления. Отладка системы управления непосредственно на установке, обучение оператора и проведение приемосдаточных испытаний. Этот этап проходит на Вашей территории и занимает около одной недели.
Устанавливаем современные блоки управления нагревом с цифровым управлением. Поддержание температуры с точностью до 0.4 градусов Цельсии. БУН имеет самотестирование, контролирует наличие связи с персональным компьютером и модулем ввода с термопары – безопасно остановит работу в случае зависания компьютера или выхода из строя модуля ввода с термопар. Распознает обрыв термопары и контролирует перегрев по внутренней уставке.
«I-7018» Современный модуль ввода с термопар. Устанавливается в непосредственной близости от термопар и преобразует сигнал термопары в цифровой код, который по промышленному интерфейсу передается в БУН и далее транслируется в компьютер. Возможно подключение разных типов термопар (J. K. T. E. R. S.B. N. C. L. M) без изменения программного обеспечения. Имеет встроенный датчик для автоматической компенсации «холодных» концов термопары.
Старыми остаются трансформаторы, тиристоры, пускатели, предохранители и силовая проводка. Вся проводка, касающаяся управления – новая.
Из термопар стоящих на нагревателе остаются только три. При необходимости дополнительной (независимой) системы защиты по перегреву оставляем ещё три термопары и устанавливаем блок контроля. Возможно подключение в систему управления реакторных термопар.
Возможно оставить Ваш газовый шкаф или изготовить новый. Газовые панели изготавливаются по заданию заказчика. Газоанализаторы могут быть установлены по отдельной договоренности.
Устанавливаются новые блоки управления и необходимые источники питания. Блоки управления располагаются в закрытом корпусе в газовом шкафу. Модули имеют связь с персональным компьютером по промышленному интерфейсу RS-485. Подключение к имеющимся РРГ, клапанам и т.д. провидится с помощью новых кабелей.
Устанавливаются блоки управления газовой горелки. В них осуществляется контроль температуры спирали газовой горелки, управление расходами газов и клапанами. Газовая горелка и ее оснастка предоставляется заказчиком.
Новый БУЗ работает в режимах:
Состояние всех датчиков и двигателя, режимов и функций индицируется на экране компьютера.
Устанавливается на месте старого блока управления загрузкой.
Старая стойка с БУ «ОРИОН» удаляется.
Все технологические процессы (рецепты) хранятся в памяти компьютера. Их количество практически не ограничено. Количество температурных полок также не ограничено. Предусмотрен вывод на полку за определенное время (по линейному закону). На мониторе ПК отображается заданная и фактическая температура по каждой из зон нагревателя, заданные и фактические расходы в л/час, состояние всех датчиков, клапанов, состояние модулей системы управления и т.д. Щелкая мышкой на клапан или РРГ возможно изменение состояния устройства. Помимо этого, отображаются графики по каждой из зон нагревателя, РРГ и значению давления. Графики имеют возможность масштабирования как по времени, так и по значению. Кроме того, предусмотрена архивация данных: все события технологического процесса, заданные и фактические параметры, действия оператора фиксируются и архивируются для дальнейшего анализа. Система обеспечивает постоянный контроль работоспособности модулей и блоков, а программное обеспечение включает в себя тестовые и наладочные компоненты.
Программа имеет разделение доступа: «Технолог», «Наладчик», «Оператор».
Возможны и другие варианты модернизации установки термодиффузии «ОКСИД-3Д» и пирогенного окисления «ОКСИД-3ПО» …
Скачать краткий рекламный листок по модернизации термических установок «ОКСИД», Вы можете по ссылке:
