Мы готовы предложить Вашему вниманию несколько вариантов модернизации вакуумных установок непрерывного действия с магнетронной системой распыления «Магна-2М» и «Оратория-29 » .

1)  Наиболее простой и доступный заключается в  замене  блоков управления «Орион-3 » на новый блок управления

Компьютер и новый блок управления размещаются в тумбочке. Подключение происходит к стандартной проводке в местах их подключения к БУ «Орион-3». Модернизация проходит в достаточно короткие сроки — за 1 день. Во второй день происходит обучение персонала.

Такой вид модернизации при кажущейся простоте добавляет много возможностей и плюсов:

• Корректировка и линеаризация характеристик (т.е. установка зависимости между реальным показанием устройства и значением напряжения поступающим на аналоговый вход модуля приема)   Благодаря чему, Ваши наладчики могут  сами заменить одно устройство другое без вызова наших специалистов. Например: у Вас использовался стандартный вакуумметр на измерение значения давления в зоне магнетрона, а Вы хотели бы подключить «баратрон», физически это возможно, но вот завести его показания в старый блок «Орион» Вы не сможете, а в наш программу Ваши наладчики заведут за 10-15 минут. Или еще один пример: Вы используете мишень, максимальная мощность которой составляет 200 Вт, при работе со старым блоком Ваши наладчики должны лезть в установку и подбирать сопротивления, дабы обмануть систему — у нас все те же 10 минут и никакой переделки, а вернуться назад -15 секунд.
• Подключение дополнительных или не штатных устройств. Например: Возможность заменить вибронатекатель на регулятор расхода газа (РРГ). В качестве замены вибронатекателя хорошо себя показывает РРГ с расходом 9 л/ч. Опционально, допустимо также создание систем подачи газовой смеси состоящих из нескольких РРГ. При этом поддержание давления в разрядной камере происходит заданной смесью газов (например 90% Аr и 10% N2).
• Воспроизводимость процессов. После установки нового блока и коррекции входной зависимости нет необходимости изменять технологические задания. В то время как при использовании ручного режима управления установкой, происходит неравномерная задача уставок на «глаз».
• Построение временных диаграмм работы всех  устройств. На графиках и диаграммах наглядно отображается информация о том как проходил технологический процесс.
• Архивация данных о прохождении технологического процесса позволяет смотреть, как проводился процесс спустя годы. Сохраненные данные так же содержат время дату и название технологического процесса облегчая их поиск.
• Наглядное отображение на экране компьютера состояние всех устройств: Включено/выключено; Заданное и прочитанное значение; Режим работы устройства (Включение, нормальная работа, авария); Отображение состояния дверей, затворов шлюзов, насосов, датчиков; Отображение данные о вакууме в шлюзах и камере и т.п.
• Единый закон управления всеми устройствами.  Настройка управления происходит изменением коэффициентов и доступна обслуживающему персоналу. Коэффициенты: скорость роста управляющего напряжения при включении устройства, плавность поддержания заданного значения, максимально допустимое время включения устройства, максимально допустимое время выхода устройства из допуска и другие.
• Отображение хода пластин и их счет. Графическое отображение на экране реального  положения пластин. Так можно видеть производилось напыление на пластины или они еще не дошли до разрядной камеры. Это удобно при остановке процесса. Отображаются количество загруженных, выгруженных пластин и общее количество обработанных пластин за день.
  

  Вид диалогового окна «Выбор технологического задания» для установки Магна-2М

• Хранение неограниченного числа технологических заданий и легкий доступ к часто используемым.
• Счетчик дневной и суммарной  наработки мишеней магнетронов. Позволяет прогнозировать скорую замену мишеней.
• Удобный ручной режим. Позволяет быстро менять заданные значения устройств. Режим удобен для наладки устройств и проведения пробных процессов.
• Реализованы процедуры «тренировка магнетронов» и «режим ожидание».

 На этом первый вариант модернизации оканчивается, но существует возможность в дальнейшем заменить старые или добавить другие модули и устройства: Модуль управления нагревателем, скоростью конвейера, модули управления шлюзами, азотными питателями, импульсный блок питания магнетронов и многое другое. (Описание программы управления вакуумной установки непрерывного действия с магнетронной системой распыления «Магна-2М»).

2)  Более сложный способ  заключается в  комплексной замене системы управления. 

При комплексной модернизации от установки остается только железо: каркас, камера, шлюзы и т.д. Насосы — по усмотрению заказчика. Все стойки, логикон, блоки управления шлюзами, силовые трансформаторы, балластные резисторы, вибронатекатели, вакуумметры как на форвакуум, так и на высокий и т.д. — ВЫКИДЫВАЕМ!!!! И НАЧИНАЕМ СТРОИТЬ СИСТЕМУ ПОД ВАШИ ЗАДАЧИ!!!

Управление вакуумной системой и всеми устройствами осуществляется с персонального компьютера. Это позволяет подстраиваться  под используемые типы насосов и особенности их работы.

Возможно создание программ под ваши требования. Например: Возможность формирования задания на каждую пластину или группу пластин. Для подбора параметров процесса возможен автоматический запуск пластин по 1 штуке. Происходит установка заданных параметров на устройства. Запускаются  пластины первой группы. Как только они сходят с конвейера заданные значения устройств меняются и запускается группа пластин. Данная возможность не интересна при поточном производстве. Но для наладочных или исследовательских работ связанных с отработкой технологии это позволит значительно сократить время.

Как видно на фото, сам компьютер убран в стойку управления, а монитор взяли с сенсорным экраном…(на всякий случай есть выдвижная клавиатура и мышь). Ниже расположился блок с тремя датчиками форвакуума на лицевой панели и модулем управления скоростью конвейера, модулем управления нагревателем, модулем управления азотными питателями — внутри. Еще ниже — три импульсных источника питания магнетронов. Еще ниже — блок с пускателями, автоматами и т.д.

На самой установке там, где были силовые трансформаторы теперь расположились модули управления газовакуумным оборудованием и газовая панель на 5 РРГ для подачи в камеру смеси газов в процентном соотношении.

 

Но все это, как правило оговаривается под ваши задачи  и требования, возможна любая начинка этой установки… Например: мы можем установить как с диф. насос, так и с криогенным или турбомолекулярным насосом (причем от любого производителя). Количество газовводов и их тип так же оговаривается с заказчиком при составлении ТЗ. Возможны внесения изменений практически в любую часть оборудования: возможна работа магнетронов со стабилизацией заданного тока, а не мощности; возможно убрать ионную очистку или добавить блок вжигания силицидов; мы можем использовать датчики вакуума от различных фирм-изготовителей; и многое другое…