Установка осаждения слоев нитрида кремния и поликремния УЭ.ДГЭ-150-008 «Изотрон 4-150» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации ДЕМ2.030.055 ТО, 1988г.
Открыть 1-10 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Изотрон-4-ТОл.1-10
Скачать 1-10 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: Изотрон-4-ТОл.1-10
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)