ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛИТЕЛЯ «БПМ-2-1000»

ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛИТЕЛЯ «БПМ-2-1000»

БПМ-2-1000

Источник питания магнетронного распылителя «БПМ-2-1000»

Блок питания магнетрона «БПМ-2-1000» предназначен для питания магнетронных распылителей различного типа, используемых в вакуумном оборудовании. Благодаря наличию встроенного ключа, возможна работа как на постоянном токе, так и в импульсном режиме. Блок оснащен системой быстрого дугогошения. Управление блоком питания может осуществляться локально или с удаленного компьютера по интерфейсу RS-485.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА:

  •  Напряжение питания  – 220В, 50Гц
  • Максимальная потребляемая мощность – 1.5кВт
  • Максимальная выходная мощность – 1кВт.
  • Диапазон регулирования выходного напряжения – 100 … 750В
  • Диапазон регулирования выходного среднего тока – 0.05 … 1.4А
  • Диапазон регулирования выходной средней мощности – 50 … 1000Вт
  • Амплитуда поджигающего импульса – 800В
  • Тип выходного напряжение – постоянное или импульсное униполярное
  • Диапазон регулирования частоты импульсов – 1 … 32кГц с дискретностью 1кГц
  • Диапазон регулирования скважности – 0 … 512мксек с дискретностью 2мксек
  • Режимы стабилизации – напряжения, тока, мощности
  • Точность стабилизации – не хуже 5%
  • Индикация – ЖК-дисплей
  • Охлаждение  –  принудительное, воздушное
  • Блокировочный вход  –  есть
  • Интерфейс – RS-485

Фрагмент видео с работой источника на резистивную мишень с заданной мощностью 250Вт (В верхней строке LCD-индикатора отображается фактическая мощность, во второй строке индикатора отображаются фактический ток и напряжение, в нижней — заданная мощность и параметры импульсного режима):