ДЛЯ СКАЧИВАНИЯ

1

    БУКЛЕТ 1. Основное
2

    БУКЛЕТ 2. Модернизация установки совмещения и экспонирования АМК-2104
3

    БУКЛЕТ 3. Модернизация установок «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4»
4

    БУКЛЕТ 4. Модернизация установки «СД.ОМ-3/100»
5

    БУКЛЕТ 5. Модернизация установок вакуумного напыления «УВН-71», «УВН-73», «УВН-74», «УВН-75» и их модификаций
6

    БУКЛЕТ 6. Модернизация установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А» и ее модификаций.
7

    БУКЛЕТ 7. Модернизация установки совмещения и экспонирования «ЭМ-5006»
осв

    Осветитель системы экспонирования для установок контактной фотолитографии на основе УФ светодиода.