УСТАНОВКА ЗАСВЕТКИ

Наша компания разработала, производит и готова поставить установку засветки фоторезиста с осветителем на основе ультрафиолетового светодиода® .

Установка засветки

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТАНОВКИ

Габариты (Ш*Г*В) 400x550x650 мм (указаны ориентировочно, т.к. частично зависят от выбранной конфигурации)
Вес не более 30 кг.
Питание 220В, 50Гц

Режим работы осветителя 0…180сек с шагом 0.1сек при воздушном охлаждении и непрерывно при водяном охлаждении.

Охлаждение:
1. Воздушное.
2. Водяное.
3. Водяное по замкнутому циклу.

Рабочее поле засветки Возможны варианты:
1. Без оптического конденсора.
2. С оптическим конденсором. Диаметр поля 60мм.
3. С оптическим конденсором. Диаметр поля 100мм.
4. С оптическим конденсором. Диаметр поля 150мм.

Рабочий стол Возможны варианты:
1. Без рабочего столика.
2. С рабочим столиком диаметром 110мм и вакуумной фиксацией подложки в трех независимых точках.
3. С рабочим столиком диаметром 160мм и вакуумной фиксацией подложки в пяти независимых точках.

Шаблонодержатель Возможны варианты:
1. Без шаблонодержателя.
2. С шаблонодержателем под шаблоны 76*76мм
3. С шаблонодержателем под шаблоны 102*102мм
4. С шаблонодержателем под шаблоны 127*127мм
5. С шаблонодержателем под шаблоны 153*153мм

Механизм контактирования подложки с шаблоном Возможны варианты:
1. Без механизма контактирования.
2. С механизмом подъема рабочего столика до положения «контакт»
3. С механизмом подъема рабочего столика до положения «контакт» и компенсацией клина подложки.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ
 Длина волны излучающего диода: 400нм. (опционально: 365нм или 430нм)
 Плавная регулировка мощности излучения.
 Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В, <15мА) или кнопкой.
 Охлаждение источника излучения: встроенное, воздушное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
 Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
 Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
 Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры), аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры), включения экспонирования, аварии.
 Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

spacer