ОСВЕТИТЕЛИ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА ВТОРОГО ПОКОЛЕНИЯ

Осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода для установок фотолитографии при процессах производства микро и нано структур.

НАЗНАЧЕНИЕ
Второе поколение осветителей на основе ультрафиолетового светодиода предназначено для использования на установках контактной фотолитографии:

  • «ЭМ-576» и  «ЭМ-576A»
  • «ЭМ-5006» и  «ЭМ-5006A»
  • «ЭМ-5026» и  «ЭМ-5026A»
  • «MJB-3» и «MJB-4»
  • «АМК»

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

  •  Длина волны излучающего диода: Опционально 365нм или 400нм.
  • Плавная регулировка мощности излучения.
  • Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В,  <15мА) или кнопкой.
  • Охлаждение источника излучения и блока управления: встроенное, воздушное.
  • Защита по перегреву: термопредохранитель.
  • Индикация: включения, режим свечения, аварии по перегреву.
  • Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫМИ ОСОБЕННОСТЯМИ ОСВЕТИТЕЛЕЙ ВТОРОГО ПОКОЛЕНИЯ ЯВЛЯЮТСЯ:

  • Повышенная мощность излучения.
  • Улучшенный теплоотвод
spacer