Новый Блок управления как замена БУ «ОРИОН»
С целью модернизации системы управления установки индивидуального плазмохимического травления УТП.3-150/1-003, ООО «СОРЭНЖ» разработало и изготовило новый блок управления на замену использующемуся на установке БУ «ОРИОН».
НАЗНАЧЕНИЕ
Блок управления (БУ) предназначен для замены управляющего комплекса «ОРИОН-3» и обеспечивает управление установкой плазмохимического травления «УТП.3-150/1-003» во всех необходимых технологических режимах.
БУ позволяет:
