1.2. Комплектующие

ОСВЕТИТЕЛИ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА ВТОРОГО ПОКОЛЕНИЯ

Осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода для установок фотолитографии при процессах производства микро и нано структур.

НАЗНАЧЕНИЕ
Второе поколение осветителей на основе ультрафиолетового светодиода предназначено для использования на установках контактной фотолитографии:

  • «ЭМ-576» и  «ЭМ-576A»
  • «ЭМ-5006» и  «ЭМ-5006A»
  • «ЭМ-5026» и  «ЭМ-5026A»
  • «MJB-3» и «MJB-4»
  • «АМК»

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

spacer

СВЕТОДИОДНЫЙ УФ ОСВЕТИТЕЛЬ КАК ЗАМЕНА ДРШ-350

Осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода для установок фотолитографии при процессах производства микро и нано структур.

НАЗНАЧЕНИЕ
Для установок фотолитографии при процессах производства микроструктур в осветителях, в качестве источника ультрафиолетового излучения, использовалась дуговая шаровая лампа (например: ДРШ-350). Применение ламп данного типа влечет за собой комплекс проблем.  Для решения этих проблем ООО «Сорэнж»  разработало и запатентовало конструкцию осветителя на основе ультрафиолетового светодиода.

Спектральная характеристика

Осветитель на основе УФ диода (замена «ДРШ-350»)

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ
1. Длина волны излучающего диода: 400нм.
2. Спектральная характеристика излучающего элемента:
3. Режим свечения: 75% или 100%
4. Плавная регулировка мощности излучения: в пределах 15%
5. Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В,  <15мА) или кнопкой. По предварительной договоренности, уровень сигнала может быть любой.
6. Охлаждение источника излучения и блока управления: встроенное, воздушное.
7. Защита по перегреву: термопредохранитель.
8. Индикация: включения, режим свечения, аварии по перегреву.
9. Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85…250В и частотой 50..60Гц.

spacer
spacer
БУ установкой контактной фотолитографии ЭМ-5026А.

Блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5026А.

Published: 01.05.2015 

Новый блок управления к установке двухсторонней фотолитографии ЭМ-586

БУ ЭМ-586

Блок управления установки контактной фотолитографии ЭМ-586

Published: 01.05.2015 

Блок управления установкой контактной фотолитографии ЭМ-5006.

БУ ЭМ-5006

БУ ЭМ-5006 разработан и произведен ООО «СОРЭНЖ»

Published: 01.05.2015 

Новый блок управления к установке контактной фотолитографии AMK-2104.16 (ГДР)

БУ AMK-2104-16

Новый блок управления установкой контактной фотолитографии AMK-2104-16 с расположенным на нем блоком управления светодиодным осветителем. Разработка и производство ООО «СОРЭНЖ»

Published: 01.05.2015 

Новый блок управления к установке контактной фотолитографии ЭМ-576А

БУ "ЭМ-576А"

БУ «ЭМ-576А» разработан и произведен ООО «СОРЭНЖ»

Published: 01.05.2015