1. ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Новый блок управления к установке контактной фотолитографии ЭМ-576А

БУ "ЭМ-576А"

БУ «ЭМ-576А» разработан и произведен ООО «СОРЭНЖ»

Published: 01.05.2015 
Патент

ПАТЕНТ 149245

Осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода для установок фотолитографии при процессах производства микро и нано структур.

НАЗНАЧЕНИЕ
Для установок фотолитографии при процессах производства микроструктур в осветителях, в качестве источника ультрафиолетового излучения, использовалась дуговая шаровая лампа (например: ДРШ-350). Применение ламп данного типа влечет за собой комплекс проблем.  Для решения этих проблем ООО «Сорэнж»  разработало и запатентовало конструкцию осветителя на основе ультрафиолетового светодиода.

Published: 14.03.2015 

ЭМ-5026А

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026А

Установка совмещения и экспонирования "ЭМ-5026А" с модернизированной СУ

Установка контактной фотолитографии «ЭМ-5026А» с модернизированной СУ

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-5026А

Посмотреть техническое описание  на  установку совмещения и экспонирования  ЭМ-5026А с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке

Более подробно узнать про новый блок управления установки контактной фотолитографии  ЭМ-5026А можно здесь.

 

spacer

AL-6

AL-6

AL-6

AL-6  — Австрийская установка совмещения и фотолитографии.

Недостатком данной установки является возможность «потери» памяти вследствие выхода из строя батареи питания . А, так же замена некоторых модулей только парами (код прошитый в них должен совпадать)

Возможен ремонт Вашей установки нашими специалистами (после предварительного осмотра).

Помимо ремонта, мы готовы предложить Вам варианты перевода данной установки на современную систему управления.

Мы будем рады проконсультировать Вас по всем вопросам, связанными с установкой контактной фотолитографии «AL-6».


 

spacer

ЭМ-586

Установка двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Установка двухстороннего экспонирования ЭМ-586 с модернизированной системой управления

Установка двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Мы провели работу связанную с модернизацией установки двухстороннего экспонирования  ЭМ-586

Посмотреть техническое описание  на  установку совмещения и экспонирования  ЭМ-586 с модернизированной системой управления можно пройдя по ссылке

Более подробно узнать про новый блок управления установки контактной фотолитографии  ЭМ-586 можно здесь.

spacer

ЭМ-5006

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5006

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

ЭМ-5006

ЭМ-5006 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и подложке с целью переноса изображения фотошаблона на подложку способом экспонирования фоторезистивного слоя подложки.

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии ЭМ-5006 Вы можете по ссылке Буклет ЭМ-5006 (719K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-5006

spacer

AMK-2104

Установка совмещения и экспонирования  AMK-2104-16

АМК-2104

Установка контактной фотолитографии АМК-2104 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

AMK-2104

Установка контактной фотолитографии АМК-2104 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

AMK-2104

Установка контактной фотолитографии АМК-2104 модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии AMK-2104-16 Вы можете по ссылке АМК-2104 (670K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии AMK-2104-16.

spacer

БПЛ-500 предназначен для питания ламп типа ДРКС-500.

Основные технические характеристики:

БПЛ-500 (Блок питания лампы ДРШ-500)

БПЛ-500 (Блок питания лампы ДРШ-500

Published: 01.03.2015 

БПЛ-350 предназначен для питания ламп типа ДРШ-350.

БПЛ-350

Блок питания лампы ДРШ-350

Published: 01.03.2015 

ЭМ-576А

Установка совмещения и экспонирования  ЭМ-576А

"ЭМ-576А"

«ЭМ-576А» модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

"ЭМ-576А"

«ЭМ-576А» модернизированная ООО «СОРЭНЖ»

Скачать краткое описание установки контактной фотолитографии ЭМ-576А Вы можете по ссылке ЭМ-576А (684K, pdf)

Мы провели работу связанную с модернизацией установки контактной фотолитографии ЭМ-576А.

spacer